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硅基微磁通门非晶Fe_(96)Nb_4铁芯薄膜的研究
被引量：
1
1
作者
梁晋涛
刘诗斌
张程煜
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期871-873,共3页
采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验。结果表明...
采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验。结果表明:随制备温度的升高,薄膜的缺陷明显减小,软磁性能显著改善。基片温度为630K时制作的硅基Fe96Nb4铁芯薄膜的性能适合用于微磁通门铁芯材料。
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关键词
fe
96
nb
4
铁芯薄膜
软磁
微磁通门
双铁芯磁探头
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职称材料
题名
硅基微磁通门非晶Fe_(96)Nb_4铁芯薄膜的研究
被引量：
1
1
作者
梁晋涛
刘诗斌
张程煜
机构
西北工业大学
桂林电子科技大学
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期871-873,共3页
基金
国家自然科学基金项目(60874101)
西安应用材料创新基金项目(XA-AM-200707)
西北工业大学基础基金(w018104)
文摘
采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验。结果表明:随制备温度的升高,薄膜的缺陷明显减小,软磁性能显著改善。基片温度为630K时制作的硅基Fe96Nb4铁芯薄膜的性能适合用于微磁通门铁芯材料。
关键词
fe
96
nb
4
铁芯薄膜
软磁
微磁通门
双铁芯磁探头
Keywords
fe
96
nb
4
core
thin
film
soft
magnetic
properties
micro-fluxgate
double-
core
s
fluxgate
sensor
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅基微磁通门非晶Fe_(96)Nb_4铁芯薄膜的研究
梁晋涛
刘诗斌
张程煜
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
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