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一种PCB板曝光方法及装置的研究及应用
1
作者
刘幸
罗郁新
吴裕忠
《印制电路信息》
2023年第S01期15-22,共8页
文章针对不能采用DI机的自动系数直接拉伸或不平移set的分段固定系数拉伸的问题,研究发现导致外层拒曝和图形偏移的根本原因是基板涨缩与曝光资料系数不匹配,从而开发出了DI机自动平移+拉伸功能,实现了DI机测量基板涨缩后机器自动选择...
文章针对不能采用DI机的自动系数直接拉伸或不平移set的分段固定系数拉伸的问题,研究发现导致外层拒曝和图形偏移的根本原因是基板涨缩与曝光资料系数不匹配,从而开发出了DI机自动平移+拉伸功能,实现了DI机测量基板涨缩后机器自动选择并制作曝光资料,从根本上解决了外层拒曝和图形偏移问题,使拒曝率和图形偏移报废率分别降低了16.18%、2.18%。
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关键词
拒曝
图形偏移
系数不匹配
DI机自动平移+拉伸功能
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职称材料
题名
一种PCB板曝光方法及装置的研究及应用
1
作者
刘幸
罗郁新
吴裕忠
机构
广州美维电子有限公司
出处
《印制电路信息》
2023年第S01期15-22,共8页
文摘
文章针对不能采用DI机的自动系数直接拉伸或不平移set的分段固定系数拉伸的问题,研究发现导致外层拒曝和图形偏移的根本原因是基板涨缩与曝光资料系数不匹配,从而开发出了DI机自动平移+拉伸功能,实现了DI机测量基板涨缩后机器自动选择并制作曝光资料,从根本上解决了外层拒曝和图形偏移问题,使拒曝率和图形偏移报废率分别降低了16.18%、2.18%。
关键词
拒曝
图形偏移
系数不匹配
DI机自动平移+拉伸功能
Keywords
exposure
refusal
Blind
Via
Out
of
Annular
Ring
Substrate
Expansion
Coefficient
Mismatch
DI
Automatic
Translation(parallel
moving)and
Stretch
Function
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
一种PCB板曝光方法及装置的研究及应用
刘幸
罗郁新
吴裕忠
《印制电路信息》
2023
0
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