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气体流速对SiO2/S涂层中试制备的影响 被引量:3
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作者 王志远 徐宏 +2 位作者 栾小建 李伟 周建新 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期254-258,共5页
为了抑制乙烯裂解炉管内表面结焦,在实验室小试的基础上,对SiO/S涂层进行了中试制备研究。并分析了不同气体流速对涂层形貌和结构的影响,优化了涂层中试制备工艺。采用扫描电子显微镜和Raman光谱对涂层形貌、成分和结构进行了表征。... 为了抑制乙烯裂解炉管内表面结焦,在实验室小试的基础上,对SiO/S涂层进行了中试制备研究。并分析了不同气体流速对涂层形貌和结构的影响,优化了涂层中试制备工艺。采用扫描电子显微镜和Raman光谱对涂层形貌、成分和结构进行了表征。对优化后涂层的热冲击性能进行了考核。结果表明:随着气体流速的增加,炉管出VI涂层粒子逐渐变小,结合也更加致密。同时,涂层厚度及Si—O—S结构逐渐增加。当气体流速为30~40m/s时,炉管出口涂层厚度为8~10μm,粒子结合致密。涂层经过16次热冲击试验后仍未剥落,可以满足抑制炉管结焦使用要求。 展开更多
关键词 乙烯 裂解 涂层 中试
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