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键合参数对Ag-5Au键合合金线无空气焊球及键合强度影响研究 被引量：2
1
作者 曹军 徐旭 +3 位作者 张俊超 宋克兴 周延军 花涵 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期10168-10172,共5页
利用自动焊线机、推拉力测试仪、扫描电镜等研究了烧球电流、烧球时间、超声功率和键合压力对Ag-5Au键合合金线FAB(Free Air Ball)特性及键合强度的影响。研究结果表明当烧球时间为750μs,烧球电流为2600 mA时FAB球形成椭圆形,烧球电流... 利用自动焊线机、推拉力测试仪、扫描电镜等研究了烧球电流、烧球时间、超声功率和键合压力对Ag-5Au键合合金线FAB(Free Air Ball)特性及键合强度的影响。研究结果表明当烧球时间为750μs,烧球电流为2600 mA时FAB球形成椭圆形,烧球电流为2800 mA时FAB出现高尔夫球;烧球电流为2700 mA,烧球时间为700μs时FAB偏小,烧球时间为800μs时FAB偏大;当烧球时间为750μs烧球电流为2700 mA时FAB形貌良好。当超声功率为85 mW键合压力为65 g时造成焊盘的损坏;超声功率为50 mW键合压力为35 g时出现假焊;超声功率为60 mW键合压力为45 g时键合强度良好。 展开更多
关键词 Ag-5Au键合合金线 烧球参数 超声功率 键合压力 键合强度
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