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基于EHD微尺度3D打印喷射机理与规律研究 被引量:15
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作者 杨建军 张志远 +2 位作者 兰红波 彭子龙 王飞 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期401-407,共7页
基于电流体动力学(EHD)微尺度3D打印(电流体动力喷射打印或电喷印)的成形机理复杂,成形影响因素较多,首先对泰勒锥的受力状况进行了理论分析,然后用有限元数值模拟和实验方法进行验证,探索了该微尺度3D打印方法的喷射机理,并揭示了电压... 基于电流体动力学(EHD)微尺度3D打印(电流体动力喷射打印或电喷印)的成形机理复杂,成形影响因素较多,首先对泰勒锥的受力状况进行了理论分析,然后用有限元数值模拟和实验方法进行验证,探索了该微尺度3D打印方法的喷射机理,并揭示了电压、压力对锥射流喷射性能的影响规律。结果表明,电压越大,锥形越短;入口压力越大,锥形越长,同时也表明了在一定的电压和气压范围内喷印均可以正常进行,而不是特定的电压或气压,从而可以通过调节电压和气压改善锥射流及喷印质量。用光固化树脂材料进行的喷印实例中获得了较好的喷印质量。 展开更多
关键词 微纳尺度3D打印 电流体动力喷射打印 锥射流 喷射机理 影响规律
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电流体喷印相邻喷嘴射流干扰机理与抑制探讨 被引量:1
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作者 郑朋义 潘艳桥 +2 位作者 彭磊 聂慧 张峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期25-28,共4页
针对多喷嘴式电流体喷印系统中相邻喷嘴之间的带电射流干扰问题,建立电液耦合作用下的射流喷射的数值仿真模型。采用控制变量法揭示了相邻喷嘴锥射流产生干扰的原因及工作电压、供液流量和相邻间距对于射流干扰程度的影响规律。初步探... 针对多喷嘴式电流体喷印系统中相邻喷嘴之间的带电射流干扰问题,建立电液耦合作用下的射流喷射的数值仿真模型。采用控制变量法揭示了相邻喷嘴锥射流产生干扰的原因及工作电压、供液流量和相邻间距对于射流干扰程度的影响规律。初步探讨了一种基于环形气流辅助喷射的射流干扰抑制方法,建立了气—电—液多场耦合作用下的射流喷射的数值仿真模型。通过研究不同气流速度对于射流喷射的影响规律,结果表明:射流偏斜角随着电极电压的增大而增大,随喷嘴间距的增大而减小,随溶液流量的改变不明显。在合理的工艺条件下,射流能够垂直喷射到基底上。适当的辅助气流输入(5~25m/s)可有效抑制喷嘴锥射流因电致斥力产生的干扰。当气流速度超过临界阈值(25m/s)后,辅助气流对喷嘴锥射流容易带来额外的不稳定性和不可控性。 展开更多
关键词 电流体喷印 相邻喷嘴 射流干扰 环形气流 数值模拟
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基于电流体喷墨打印直写纳米银浆的柔性应变传感器及其应用 被引量:5
3
作者 刘志豪 潘艳桥 +2 位作者 冯延冬 汪卓 彭磊 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第3期406-412,共7页
柔性传感器在皮肤信号监测方面应用广泛,但传统印刷工艺难以满足其高精度定位、高黏度墨液印刷的制备要求。利用电流体喷墨打印工艺在高黏度材料制备方面的优势,使用纳米银浆制作用于人体皮肤信息采集的电阻式柔性应变传感器。探索电喷... 柔性传感器在皮肤信号监测方面应用广泛,但传统印刷工艺难以满足其高精度定位、高黏度墨液印刷的制备要求。利用电流体喷墨打印工艺在高黏度材料制备方面的优势,使用纳米银浆制作用于人体皮肤信息采集的电阻式柔性应变传感器。探索电喷印工艺参数对导电线宽的影响规律,使用内径0.16 mm的喷嘴以30 mm/s的打印速度移动制得宽度120μm的银线。通过实验得出打印速度和喷嘴内径对银线线条宽度和质量的影响规律,利用电流体喷墨打印工艺制备出基于聚二甲基硅氧烷柔性基底和纳米银浆敏感层的柔性应变传感器。利用自主研制的检测系统,测试并计算出传感器应变范围在3%内时灵敏度可达172.67。最后将传感器用于多个人体部位的姿态监测,证明其具有检测微小信号的能力。测试结果证明,电流体喷墨打印工艺可用于制备柔性应变传感器,制得的柔性应变传感器在智能穿戴设备上具有应用潜力。 展开更多
关键词 电流体喷墨打印 柔性应变传感器 纳米银浆 智能穿戴设备 聚二甲基硅氧烷
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面向微电磁线圈制备的硅表面电流体喷印行为研究
4
作者 甘寅锴 邹龙雨 +1 位作者 王剑亮 余丙军 《中国科技论文》 CAS 2024年第10期1134-1141,共8页
针对硅衬底上的电流体喷印行为,探究了喷印参数与衬底属性对喷印过程及结果的影响,优化了喷印参数,并成功在硅衬底上制备了平面电磁线圈。研究结果表明:喷印参数对动力锥射流的形成及最终图案形貌具有显著影响;偏置电压影响墨滴累积量,... 针对硅衬底上的电流体喷印行为,探究了喷印参数与衬底属性对喷印过程及结果的影响,优化了喷印参数,并成功在硅衬底上制备了平面电磁线圈。研究结果表明:喷印参数对动力锥射流的形成及最终图案形貌具有显著影响;偏置电压影响墨滴累积量,幅值电压影响射流稳定性,喷印高度影响电场力,而喷印频率和占空比则影响沉积效率和线宽;衬底表面浸润性对墨水沉积线宽具有显著影响,线宽随接触角的降低而减小。此外,针对方形线圈转角处易出现的墨水堆积问题,提出了喷印路径的优化方案,即对方向线圈转角处进行圆角处理,有效提升了线圈结构的一致性。最终,基于上述研究在硅表面制备了形貌均匀、一致性良好的电磁感应线圈,该线圈在mT级磁场测试中展现出良好的线性度。 展开更多
关键词 电流体喷印 电磁感应线圈 单晶硅 喷印行为
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Electrohydrodynamic direct-writing of conductor–insulator–conductor multi-layer interconnection 被引量:1
5
作者 郑高峰 裴艳博 +2 位作者 王翔 郑建毅 孙道恒 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第6期401-406,共6页
A multi-layer interconnection structure is a basic component of electronic devices, and printing of the multi-layer interconnection structure is the key process in printed electronics. In this work, electrohydrodynami... A multi-layer interconnection structure is a basic component of electronic devices, and printing of the multi-layer interconnection structure is the key process in printed electronics. In this work, electrohydrodynamic direct-writing (EDW) is utilized to print the conductor-insulator--conductor multi-layer ~nterconne^ction structure. Silver ink is chosen to print the conductor pattern, and a polyvinylpyrrolidone (PVP) solution is util^zed to f^bricate the insulator layer between the bottom and top conductor patterns. The influences of EDW process parameters on the line width of the printed conductor and insulator patterns are studied systematically. The obtained ~es^l~s show that the line width of the printed structure increases with the increase of the flow rate, but decreases with the increase of applied voltage and PVP content in the solution. The average resistivity values of the bottom and top silver conductor tracks are determined to be 1.34 × 10-7 Ω.m and 1.39×10-7 Ω.m, respectively. The printed PVP layer between the two conductor tracks is well insulated, which can meet the insulation requirement of the electronic devices. This study offers an alternative, fast, and cost-effective method of fabricating conductor-insulator-conductor multi-layer interconnections in the electronic industry. 展开更多
关键词 electrohydrodynamic direct-writing multi-layer interconnection all inkjet printing jet printing
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面向绝缘基底的正负极一体化电流体喷墨打印头射流沉积行为 被引量:2
6
作者 冯延冬 潘艳桥 +2 位作者 刘志豪 彭磊 汪卓 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第3期435-442,共8页
针对常规电流体喷墨打印在绝缘基底上打印时易产生射流偏斜和卫星液滴等现象,研制了一种正负极一体化电流体喷墨打印头。先对正负极一体化电流体喷墨打印头进行数值模拟,再通过按需喷印的方式对影响射流形态和沉积行为的相关参数进行实... 针对常规电流体喷墨打印在绝缘基底上打印时易产生射流偏斜和卫星液滴等现象,研制了一种正负极一体化电流体喷墨打印头。先对正负极一体化电流体喷墨打印头进行数值模拟,再通过按需喷印的方式对影响射流形态和沉积行为的相关参数进行实验研究。结果发现,相比常规电流体喷墨打印结构,正负极一体化电流体喷墨打印头可减小空间电场对绝缘基底的影响。圆孔电极直径大于1 mm的正负极一体化电流体喷墨打印头结构具有聚焦射流和抑制卫星液滴的效果,该效果与圆孔电极直径呈负相关。此外,随着喷嘴与圆孔电极之间的距离增大,射流区域电场方向趋于更竖直。当间距大于0.6 mm时,正负极一体化电流体喷墨打印头能够有效抑制卫星液滴。工作电压幅值过小易导致液滴丢失,过大易使液滴变形。电压幅值在1.8 kV左右时,液滴平均直径约为210μm。 展开更多
关键词 电流体喷墨打印 正负极一体化 绝缘基底 射流沉积 卫星液滴
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电流体动力学喷印电压控制模式及其应用现状 被引量:4
7
作者 张礼兵 左春柽 +1 位作者 黄风立 吴婷 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第11期743-750,762,共9页
电流体动力学喷印技术是一种制备微纳米结构与器件的新型技术,该技术在多种功能器件的制备方面受到广泛关注。阐述了电流体动力学喷印技术的研究背景,通过分析得出电压控制问题是电流体动力学喷印技术中的一个重要问题。概述了目前电流... 电流体动力学喷印技术是一种制备微纳米结构与器件的新型技术,该技术在多种功能器件的制备方面受到广泛关注。阐述了电流体动力学喷印技术的研究背景,通过分析得出电压控制问题是电流体动力学喷印技术中的一个重要问题。概述了目前电流体动力学喷印技术的电压控制模式,主要包括直流高压、高压脉冲、直流电压叠加脉冲电压、交流电压和直流电压叠加交流电压五种控制模式,并对各种电压控制模式及其应用现状进行分析。最后,对电流体动力学喷印的电压控制模式中存在的问题以及未来发展的前景进行了总结和展望。 展开更多
关键词 电流体动力学 喷印技术 电压控制模式 微/纳图案化 微纳米制造
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面向电流监测的梯形磁感应微线圈设计
8
作者 冯起辉 邹龙雨 +4 位作者 李吉 辛明勇 古庭赟 徐长宝 余丙军 《电力大数据》 2024年第6期58-64,共7页
为实现高压输电线路电流的在线监测,该文设计并制备了一种梯形电磁传感微线圈。通过有限元软件分析对比方形和梯形线圈在高压导线磁场下的感应电动势变化,探讨了梯形斜边夹角对电磁性能的影响,确定了最优斜边夹角范围。利用电流体喷印... 为实现高压输电线路电流的在线监测,该文设计并制备了一种梯形电磁传感微线圈。通过有限元软件分析对比方形和梯形线圈在高压导线磁场下的感应电动势变化,探讨了梯形斜边夹角对电磁性能的影响,确定了最优斜边夹角范围。利用电流体喷印技术制造的梯形线圈和方形线圈进行了高压输电线磁场检测对比实验,结果显示梯形线圈的感应电动势明显高于方形线圈,且梯形斜边夹角在60°左右时感应性能最佳。研究成果为微线圈的设计与制造提供了理论依据和技术支持,有助于指导其在高压输电线路监测中的应用。 展开更多
关键词 高压输电线路 在线监测 电磁传感器 感应电动势 高压导线磁场 有限元分析 电流体喷印
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基于层叠式流道结构多喷嘴电喷头的供液性能研究
9
作者 聂慧 潘艳桥 +2 位作者 彭磊 郑朋义 张峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期25-28,32,共5页
在奇数多喷嘴电流体动力喷印系统中,针对流量泵供液时喷嘴阵列获得的流量不均匀影响打印质量的问题,提出在喷头内设置一种层叠式微流道辅助分流的解决办法。基于以上层叠式微流道,系统研究了导流单元几何形状、结构参数和流道并联排布... 在奇数多喷嘴电流体动力喷印系统中,针对流量泵供液时喷嘴阵列获得的流量不均匀影响打印质量的问题,提出在喷头内设置一种层叠式微流道辅助分流的解决办法。基于以上层叠式微流道,系统研究了导流单元几何形状、结构参数和流道并联排布形式对其分流效果的影响规律。结果表明:导流单元为正六边形的流道分配性能较好;增大“多孔”分形通道槽宽可提高供液均匀性;当主通道槽宽不大于0.6 mm时,流道供液均匀性随主通道槽宽增大而提高;并联总出口数为17的双层级流道供液均匀性较好。将层叠式微流道分流结构和实际喷头进行集成,验证了在喷印系统实际施加电场的工况条件下,流道依然能保持很好的供液均匀性,且出口最大不均匀度在6%以内。 展开更多
关键词 电流体动力喷印 层叠式微流道 奇数多喷嘴 流量分配均匀性
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基于电流体动力喷射的多层柔性电路垂直互联结构打印技术研究
10
作者 王丹阳 高振强 +4 位作者 靳茂鹏 郭恒瑞 白彦军 王飞 彭子龙 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2024年第11期37-44,共8页
柔性可拉伸电子器件在可穿戴电子产品和软体机器人等领域应用广泛。为了实现高度集成,不同层之间的电子器件需要通过垂直互联来连接在一起,因此,实现稳定的垂直互联至关重要。提出了一种可以通过电流体动力喷射直接打印低熔点液态金属... 柔性可拉伸电子器件在可穿戴电子产品和软体机器人等领域应用广泛。为了实现高度集成,不同层之间的电子器件需要通过垂直互联来连接在一起,因此,实现稳定的垂直互联至关重要。提出了一种可以通过电流体动力喷射直接打印低熔点液态金属立柱的方法,可以实现柔性电路的垂直互联。通过控制打印参数,可以打印出不同高度的金属立柱,以制作出不同高度的垂直互联。为了检测垂直互联结构的稳定性和可靠性,将制作的具有垂直互联通道的电路分别进行拉伸、弯曲检测,检测表明在数百次的弯曲和拉伸循环下,该电路具有稳定的电阻响应。制作了一个基于多层结构的带LED灯的无线感应线圈,以展示电流体动力喷射打印用于垂直互联的能力。 展开更多
关键词 垂直互联 多层柔性电路 电流体动力喷射打印 液态金属
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电流体喷印脉冲电压参数配置对沉积液滴体积的影响
11
作者 王鹏 张嘉容 +3 位作者 陈曦 冯天成 张诗雨 刘慧芳 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期158-164,共7页
为了精准控制电流体喷印液滴的最小体积并提高电流体喷印加工的分辨率,研究了电流体喷印的脉冲电压参数配置规律。首先,基于流体力学和电动力学基本原理,分析了喷印过程中泰勒锥的受力情况,并基于此建立了锥射流的体积分数仿真模型,探... 为了精准控制电流体喷印液滴的最小体积并提高电流体喷印加工的分辨率,研究了电流体喷印的脉冲电压参数配置规律。首先,基于流体力学和电动力学基本原理,分析了喷印过程中泰勒锥的受力情况,并基于此建立了锥射流的体积分数仿真模型,探究了初始脉冲电压参数窗口。然后,搭建了电流体喷印平台,通过实验分析发现沉积液滴体积随脉冲电压幅值增大而减小,随脉冲频率的变化不明显,随着脉冲占空比增大,液滴体积先增大后减小。对比了参数配置前后液滴阵列的沉积液滴体积,参数配置前沉积液滴体积为40.89~45.25 nL,参数配置后平均液滴沉积体积为39.54 nL,验证了脉冲电压参数配置规律的有效性,可为节约生产过程中的材料和人工成本,进一步提高微纳电子产品的使用寿命提供参考。 展开更多
关键词 电流体动力学 电流体喷印 沉积液滴体积 脉冲电压 占空比 脉冲频率
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柔性衬底的电流体喷射按需打印研究 被引量:3
12
作者 钱江红 杜致远 +2 位作者 杜召亮 赵奎鹏 王大志 《机电工程技术》 2020年第9期40-41,49,共3页
仿真分析了金属喷针和石英喷针在柔性衬底上的电流体射流行为,采用电流体喷射按需打印的工艺,以热固化胶为打印材料,研究了工艺参数对打印微结构的影响。研究发现,打印过程的稳定性与工作距离、电压、流量等因素有关,打印液滴的尺寸与... 仿真分析了金属喷针和石英喷针在柔性衬底上的电流体射流行为,采用电流体喷射按需打印的工艺,以热固化胶为打印材料,研究了工艺参数对打印微结构的影响。研究发现,打印过程的稳定性与工作距离、电压、流量等因素有关,打印液滴的尺寸与所施加的电压大小成反比。利用优化后的打印参数,实现了柔性衬底PET上微图案的电流体喷射打印。 展开更多
关键词 电流体喷射 柔性衬底 按需打印
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基于电喷印集成制造阵列化嵌金属电极柔性微流体管道 被引量:1
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作者 吕孝峰 郭洪吉 +4 位作者 孙丽娜 杨婷 邹旿昊 仲亚 于海波 《中国科学:技术科学》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期525-535,共11页
微流控芯片在生物、化学、医学等领域受到了研究者们的广泛关注,尤其是含有金属电极的微流体管道在毛细电泳、电化学微量检测、生物医学工程和柔性电子领域具有广泛的需求前景.文章提出了一种简单按需制备阵列化嵌金属电极柔性微流体管... 微流控芯片在生物、化学、医学等领域受到了研究者们的广泛关注,尤其是含有金属电极的微流体管道在毛细电泳、电化学微量检测、生物医学工程和柔性电子领域具有广泛的需求前景.文章提出了一种简单按需制备阵列化嵌金属电极柔性微流体管道的方法.该方法基于电喷印直写技术并结合翻模和湿法刻蚀工艺,实现了嵌金属电极柔性微流体管道阵列的制备.首先,通过在线性转动接收基底上叠加直写聚乙烯醇(PVA)纤维,制备了可嵌入聚二甲基硅氧烷(PDMS)的表面光滑的线性凸起微结构(线宽为10~100μm,高宽比可大于1:2),并以此作为模板,实现了阵列化柔性微流体沟道的制造;其次,通过在平动接收基底上直写光刻胶作为保护层,并结合湿法刻蚀工艺,实现了在含有微流体沟道阵列的柔性基底上金属图案化导电电极(线宽低至5μm)的灵活制造;最后,对通入不同浓度盐溶液的微流体管道进行电学测试,验证了其管道的导通性和金属电极的导电性.结果表明:基于电喷印的集成制造流程可以灵活、简单、高效、低成本的按需加工阵列化嵌金属电极柔性微流体管道,有望应用在生物医学工程和柔性电子等领域. 展开更多
关键词 电喷印 柔性微流体管道 无掩膜制造 柔性图案化金属电极
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方波脉冲电压下电喷印技术的实验研究 被引量:2
14
作者 张志远 杨建军 《机械工程师》 2016年第4期29-31,共3页
基于电流体动力学原理的电喷印技术是一种用于制造微纳尺度三维结构的喷印技术,可以在喷头不易堵塞的基础上实现亚微米和纳米级分辨率的高精度图案化,对电喷印施加脉冲电压可以实现按需喷印。通过实验得出方波脉冲电压对于喷印的影响规... 基于电流体动力学原理的电喷印技术是一种用于制造微纳尺度三维结构的喷印技术,可以在喷头不易堵塞的基础上实现亚微米和纳米级分辨率的高精度图案化,对电喷印施加脉冲电压可以实现按需喷印。通过实验得出方波脉冲电压对于喷印的影响规律,其中频率越大,沉积液滴直径越小;频率不变,电压幅值或入口压力增大都会使沉积液滴直径增大;而增大电压或气压值,可以提高液滴最大释放频率。最终获得了频率为300 Hz和平均直径为52.3μm的液滴,确立了较为理想的喷印工艺条件。 展开更多
关键词 电流体动力学 电喷印 按需喷印 脉冲电压
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高分辨率熔融金属电流体喷印直写工艺 被引量:1
15
作者 汪卓 潘艳桥 +2 位作者 刘志豪 彭磊 冯延冬 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第2期286-291,共6页
固态金属材料以其高导电性和低成本等特点在柔性电子器件的制造中具有巨大的应用潜力,但现有熔融金属微制造工艺的制造精度有限。为了提高熔融金属在导电结构制备中的分辨率,研发了一种熔融金属电流体喷印直写打印方法。对该方法的基本... 固态金属材料以其高导电性和低成本等特点在柔性电子器件的制造中具有巨大的应用潜力,但现有熔融金属微制造工艺的制造精度有限。为了提高熔融金属在导电结构制备中的分辨率,研发了一种熔融金属电流体喷印直写打印方法。对该方法的基本原理进行阐述。利用自主研发的熔融金属电流体喷印喷头装置,以金属锡为原料进行实验,对打印工艺参数进行了研究。探究了脉冲峰值电压、喷嘴高度、打印速度对锡线成型质量的影响规律,研究结果表明:当脉冲峰值电压4.0 kV,喷嘴高度0.20 mm,打印速度2.0 mm/s时,锡线成型质量最好,能实现线宽约为50μm的锡线制备。最后,结合优化的工艺参数在聚酰亚胺(PI)薄膜上制作了高分辨率导电图案,验证了该方法的可行性,为熔融金属材料在柔性电子器件制造中的应用提供了新途径。 展开更多
关键词 熔融金属 电流体喷印 直写 柔性电子器件 微图案
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银微结构的电流体喷射按需打印研究
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作者 杜召亮 王大志 +5 位作者 路良坤 刘畅 张结 梁世文 杨勇 王立鼎 《机电工程技术》 2022年第11期1-3,20,共4页
基于电流体喷射打印技术,采用自主研发的电流体喷射打印平台,以2000 cps黏度的纳米银墨水为打印材料,以厚度为0.5 mm的柔性材料PET为打印衬底,通过实验开展相关技术研究,探明了电流体喷射打印过程中锥射流的形成过程及控制机理,并采用... 基于电流体喷射打印技术,采用自主研发的电流体喷射打印平台,以2000 cps黏度的纳米银墨水为打印材料,以厚度为0.5 mm的柔性材料PET为打印衬底,通过实验开展相关技术研究,探明了电流体喷射打印过程中锥射流的形成过程及控制机理,并采用单因素控制变量方法研究了关键工艺参数对打印线形结构的影响规律。研究结果表明,电喷打印过程中的锥射流的形成与所施加的电场有关,且电场强度大小直接影响到锥射流的稳定性以及微结构制造质量;此外,在一定范围内,随着所施加电压的增大,打印线形结构的线宽变得越来越小,随着打印速度的增加,线形结构的线宽亦变得越来越小,即打印线形结构的线宽与施加电压大小和打印速度均成反比;最后利用优化后的工艺参数在PET柔性衬底上完成了线宽约为100μm的图案化银微结构的电流体喷射按需打印制造。 展开更多
关键词 电流体喷射打印 银微结构 锥射流
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电喷印喷头位移参数对三维成型精度的影响
17
作者 高凡 《机械设计与制造》 北大核心 2021年第3期122-126,131,共6页
电喷印技术是一种新型的微结构成型技术,其由于具有成型精度高、制造成本低、设备结构简单、打印材料广泛等特点,备受业界关注。而基于液态成形的电喷印技术对于三维图形的打印方法,对其实际图形及打印质量难以直接观测,因而快速有效的... 电喷印技术是一种新型的微结构成型技术,其由于具有成型精度高、制造成本低、设备结构简单、打印材料广泛等特点,备受业界关注。而基于液态成形的电喷印技术对于三维图形的打印方法,对其实际图形及打印质量难以直接观测,因而快速有效的控制打印三维图形的精度和质量面临重大挑战。本研究提出了一种通过合理设置打印线间距和层间距,以控制打印三维图形的精度和表面质量的有效控制方法。同时,建立了线间距、层间距等工艺参数与最佳成型质量的理论模型,以打印线横截面层高作为评价指标,通过实验探究了喷头逐线逐面打印移动距离对三维图形沉积形貌的影响。研究结果分析、揭示了电喷印技术中上述工艺参数对三维图形的影响及其规律,并进行了三维实体成形试验。基于接触角、喷射流量等因素对线间距和层高的影响的模拟仿真,为基于电喷印技术的三维成型工艺提供指导意义。 展开更多
关键词 电喷印 三维结构 工艺参数 最优线间距 模拟分析
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微型PZT厚膜超声电机定子的制备及分析
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作者 宗浩然 王大志 +3 位作者 赵奎鹏 袁钰恒 梁世文 杨勇 《机电工程技术》 2022年第12期14-17,共4页
基于电流体喷印工艺制备了微型PZT厚膜超声电机定子。搭建了电流体喷印实验平台,利用电流体喷印工艺,以锆钛酸铅(PZT)复合悬浮液为喷印材料,在钛合金弹性体上沉积了厚度为50μm的环形PZT厚膜并在700℃下进行高温退火结晶,利用磁控溅射... 基于电流体喷印工艺制备了微型PZT厚膜超声电机定子。搭建了电流体喷印实验平台,利用电流体喷印工艺,以锆钛酸铅(PZT)复合悬浮液为喷印材料,在钛合金弹性体上沉积了厚度为50μm的环形PZT厚膜并在700℃下进行高温退火结晶,利用磁控溅射技术在PZT厚膜上制备了厚度为50/200 nm的Ti/Pt分区上电极并进行极化,获得了外径为4.3 mm、厚度为0.6 mm的微型PZT厚膜超声电机定子。测试和分析了PZT厚膜和定子的性能,采用扫描电镜观察了PZT厚膜的截面和表面微观形貌,采用拉伸法分析了PZT厚膜与弹性体的结合力,采用激光多普勒测振仪对定子进行振动性能测试。实验结果表明,定子工作模态的谐振频率为82.3 kHz,在10 V激励电压下,表面测试点振幅为212 nm,并且振幅与激励电压幅值呈线性正相关,定子具有良好的振幅响应控制性。 展开更多
关键词 超声电机定子 PZT厚膜 电流体喷印
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基于微电铸与键合工艺的纳米尖端电射流打印头的制备
19
作者 辛文文 王华安 +3 位作者 朱龙 宿世界 李晓建 梁军生 《机电工程技术》 2022年第10期72-74,94,共4页
描述了一种结合微电铸与键合工艺的纳米尖端聚焦电射流打印头的设计及制备方法,并对所制备的打印头进行打印测试。首先通过单晶硅自停止腐蚀工艺制备硅模板,然后通过电铸工艺制备出纳米尖端,最后通过键合及湿法减薄工艺制备出硅-玻璃-... 描述了一种结合微电铸与键合工艺的纳米尖端聚焦电射流打印头的设计及制备方法,并对所制备的打印头进行打印测试。首先通过单晶硅自停止腐蚀工艺制备硅模板,然后通过电铸工艺制备出纳米尖端,最后通过键合及湿法减薄工艺制备出硅-玻璃-纳米镍尖一体化打印头并对纳米打印头进行了打印测试。结果表明,结合微电铸与键合工艺制备的纳米尖端曲率半径可达84.4 nm,使用NOA61(300 mPa·s)紫外固化胶作为打印溶液可打印出平均直径为838 nm的点阵,解决了传统电射流打印百纳米级喷嘴易堵塞及墨水黏度限制在90 mPa·s的问题。 展开更多
关键词 各向异性刻蚀 微电铸 键合 电射流打印
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Fabrication of micro/nano-structures by electrohydrodynamic jet technique 被引量:3
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作者 Dazhi WANG Xiaojun ZHAO +4 位作者 Yigao LIN Tongqun REN Junsheng LIANG Chong LIU Liding WANG 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2017年第4期477-489,共13页
Electrohydrodynamicjet (E-Jet) is an approach to the fabrication of micro/nano-structures by the use of electrical forces. In this process, the liquid is subjected to electrical and mechanical forces to form a liqui... Electrohydrodynamicjet (E-Jet) is an approach to the fabrication of micro/nano-structures by the use of electrical forces. In this process, the liquid is subjected to electrical and mechanical forces to form a liquid jet, which is further disintegrated into droplets. The major advantage of the E-Jet technique is that the sizes of the jet formed can be at the nanoscale far smaller than the nozzle size, which can realize high printing resolution with less risk of nozzle blockage. The E-Jet technique, which mainly includes E-Jet deposition and E-Jet printing, has a wide range of applications in the fabrication ofmicro/nano-structures for micro/nano-electromechanical system devices. This tech- nique is also considered a micro/nano-fabrication method with a great potential for commercial use. This study mainly reviews the E-Jet deposition/printing fundamentals, fabrication process, and applications. 展开更多
关键词 electrohydrodynamic jet deposition electro-hydrodynamic jet printing micro/nano-structures film
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