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题名百微米级微流道模具掩膜电解加工试验
被引量：3
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作者
户亚娜
王续跃
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机构
大连理工大学机械工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2019年第1期194-197,201,共5页
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基金
国家自然科学基金(51375073)
创新研究群体科学基金资助项目(51621064)
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文摘
为在304不锈钢上加工出符合技术要求的百微米级微流道图案,减小掩膜电解加工的杂散腐蚀现象,利用间隙可调的电解装置进行了系列试验研究。基于法拉第电解定律和静电场数学模型,应用Comsol软件静电场和动网格模块,模拟得到微流道沟槽的成型规律,并为电流密度、电解液浓度和加工时间的参数选取提供依据。通过实验,研究了微流道沟槽的几何形貌及杂散腐蚀程度的影响因素,进而优化了微流道沟槽的形状并提高了尺寸精度。试验结果表明:电流密度是影响杂散腐蚀的主要参数,采用9A/cm^2电流密度时杂散腐蚀小,侧向腐蚀系数EF为3.77;组合各参数,可以电解加工出平均尺寸为498.48μm,208.92μm的微流道沟槽,深度方向加工速度可达83.57μm/min,侧壁垂直且表面平整,将模具宽度和深度控制在(500±10)μm、(200±10)μm之间。满足微流道模具的技术要求。
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关键词
掩膜电解加工
百微米级微流道
杂散腐蚀
comsol模拟
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Keywords
electrochemical machining with mask
Hundred-Micro-Level Channel
Stray Corrosion
Simulation by Comsol
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TG662
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名钼栅网活动模板电解加工技术研究
被引量：2
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作者
李寒松
李龙文
高传平
王国乾
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机构
南京航空航天大学机电学院
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出处
《电加工与模具》
2015年第1期37-41,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51275233)
航空科学基金资助项目(2012ZE52068)
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文摘
随着科学技术和工业生产的发展,对于原材料的选用变得越来越严格,纯钼及钼合金材料以其优异的性能在微小群孔薄板结构中得到了广泛的应用。提出了一种活动模板电解加工的新方法,研究了电解液压力、电源占空比、电解液温度、电源脉冲频率和加工电压等参数对钼栅网加工结果的影响。研究表明:当电解液压力为0.6 MPa、电源占空比为20%、电解液温度为30℃、电源脉冲频率为600 Hz、加工电压为30 V时,加工出的群孔锥度小,且精度高。
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关键词
钼栅网
微小群孔
活动模板电解加工
锥度
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Keywords
molybdenum aperture plate
multiple micro holes
electrochemical machining with movable cathde mask
taper
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分类号
TG662
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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