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估算晶圆有效芯片数的椭圆公式
1
作者
石林初
《微电子技术》
2003年第5期5-8,共4页
IC生产线开发新品和核算成本时 ,需要估算晶圆上有效芯片数。靠经验公式估算通常有较大误差。作者曾提出一个精确的计算晶圆上有效芯片数的椭圆公式[1] ,适合于大规格晶圆和高成品率的生产线上应用。
关键词
有效芯片数
核算成本
椭圆公式
下载PDF
职称材料
题名
估算晶圆有效芯片数的椭圆公式
1
作者
石林初
机构
无锡华润微电子有限公司
出处
《微电子技术》
2003年第5期5-8,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目
批准号 :6 9776 0 2 4
文摘
IC生产线开发新品和核算成本时 ,需要估算晶圆上有效芯片数。靠经验公式估算通常有较大误差。作者曾提出一个精确的计算晶圆上有效芯片数的椭圆公式[1] ,适合于大规格晶圆和高成品率的生产线上应用。
关键词
有效芯片数
核算成本
椭圆公式
Keywords
effective
number
of
chips
Estimation
of
cost
Ellipse
formula
分类号
TN302 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
估算晶圆有效芯片数的椭圆公式
石林初
《微电子技术》
2003
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