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库水作用下的边(滑)坡稳定性分析 被引量:88
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作者 郑颖人 唐晓松 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1115-1121,共7页
水库蓄水后,将形成大量的涉水岸坡,当水位上升时,坡体中由于水的渗入,导致坡体浸水体积的增加,从而使滑面上的有效应力减少或抗滑阻力减少和部分滑带饱水后强度的降低;当水位下降时,由于坡体中浸润面下降的滞后效应,导致坡体内产生超孔... 水库蓄水后,将形成大量的涉水岸坡,当水位上升时,坡体中由于水的渗入,导致坡体浸水体积的增加,从而使滑面上的有效应力减少或抗滑阻力减少和部分滑带饱水后强度的降低;当水位下降时,由于坡体中浸润面下降的滞后效应,导致坡体内产生超孔隙水压力,也将对滑坡的稳定性产生影响。因此,关于库水作用下的边(滑)坡稳定性分析成为了一个重要的研究课题,就近几年针对该课题所取得的研究成果进行总结,重点研究了水位下降时坡体内浸润面位置解析解与数值解的对比分析以及根据经验概化确定浸润面位置进行稳定性分析所存在的误差。 展开更多
关键词 滞后效应 超孔隙水压力 稳定性分析 浸润面 经验概化
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CSAMT勘探中场区、记录规则、阴影及场源复印效应的解析研究 被引量:61
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作者 陈明生 闫述 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期951-958,共8页
由矢量位导出均匀大地表面上水平接地谐变电偶极子地下电磁场的闭合表达式,将地层波和地面波显式地区分开来,据此定义了与远区场和近区场对应的地面波区和地层波区.对长期困扰CSAMT勘探工作者的记录点问题、阴影和场源复印效应问题给出... 由矢量位导出均匀大地表面上水平接地谐变电偶极子地下电磁场的闭合表达式,将地层波和地面波显式地区分开来,据此定义了与远区场和近区场对应的地面波区和地层波区.对长期困扰CSAMT勘探工作者的记录点问题、阴影和场源复印效应问题给出了物理解释.由地层波与地面波之比给出了定量划分场区的方法,每一场分量最佳记录规则下的条件和判断是产生阴影和场源复印效应的前提.山西沁水盆地CSAMT勘探覆盖点的推断结果表明,阴影和场源复印效应是由地层波所携带的源与观测点之间、源下方真实地质情况的信息决定,是可以利用的. 展开更多
关键词 水平谐变电偶极源 闭合解表达式 场区 记录规则 阴影效应 场源复印效应 地层波 地面波
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双排桩尺寸效应的有限元分析 被引量:52
3
作者 陆培毅 杨靖 韩丽君 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期963-967,共5页
在双排桩支护结构中,尺寸效应(文中主要考虑桩距和开挖宽度)是一个需要考虑的重要因素.为此.采用有限元程序ABAQUS建立双排桩支护结构的有限元模型,以接触面的形式考虑了桩土的相互作用,分析了深基坑开挖中双排桩的桩距和开挖宽度等... 在双排桩支护结构中,尺寸效应(文中主要考虑桩距和开挖宽度)是一个需要考虑的重要因素.为此.采用有限元程序ABAQUS建立双排桩支护结构的有限元模型,以接触面的形式考虑了桩土的相互作用,分析了深基坑开挖中双排桩的桩距和开挖宽度等对双排桩支护结构的影响,并且比较了同等桩距条件下的双排桩和单排桩.研究结果表明,比较合理的桩距为(2~2.5)d(d为桩径),基坑的开挖宽度对支护结构内力和变形的影响不可忽略. 展开更多
关键词 双排桩 尺寸效应 接触面 桩土相互作用 修正剑桥模型
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杭州城市园林绿化对小气候的影响 被引量:48
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作者 鲍淳松 楼建华 +1 位作者 曾新宇 项志松 《浙江大学学报(农业与生命科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期415-418,共4页
进行了园林绿化对气温和相对湿度的影响研究 ,结果表明 ,在杭州的夏季 ,经过园林绿化后 ,气温能降低 0 .7℃、最高可降 2 .3℃、相对湿度提高 4 %、最高可达 15 % ;冬季阴雨天气时没有降温作用 .没有绿化的主街是个热源 ,经过绿化的小... 进行了园林绿化对气温和相对湿度的影响研究 ,结果表明 ,在杭州的夏季 ,经过园林绿化后 ,气温能降低 0 .7℃、最高可降 2 .3℃、相对湿度提高 4 %、最高可达 15 % ;冬季阴雨天气时没有降温作用 .没有绿化的主街是个热源 ,经过绿化的小区比主街低 0 .6℃ .良好的行道树具有降温作用 ,能降低 0 .5~ 1℃ ,相对湿度提高 4 % .不同的植物类型降温作用有差别 ,总的说来 ,树冠高大、枝叶浓密的降温作用大 ,乔木的降温作用大于草坪 .植物表面的温度低于人工下垫面 ,夏季可降低 4~ 8℃ . 展开更多
关键词 气温 相对湿度 绿化 行道树 降温作用 表面温度 杭州 城市 园林绿化 小气候
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微电子机械系统和流体流动 被引量:51
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作者 Ho.,CM 方新 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 1998年第2期250-272,共23页
出现于80年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器.这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域.另一方面... 出现于80年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器.这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域.另一方面,由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大,在流体流经这些微小机械器件时,表面效应占据了主导地位.为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项.由于它们非常小,气体流动具有很大的Knudsen数,所以边界条件也应加以修正.总之,微电子机械系统(MEMS)不但是一项实用技术,也为流动机理的基础研究提出了许多挑战. 展开更多
关键词 流动控制 微电子机械系统 微转换器 尺寸效应
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缓倾角层状岩体失稳的尖点突变模型研究 被引量:47
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作者 刘军 秦四清 张倬元 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期42-44,共3页
应用突变理论对某层状岩体滑坡进行了研究 ,用弹性力学理论综合考虑地下水因素建立了尖点突变模型 ,分析了滑坡的形成机制 ,认为地下水主要是通过物理化学作用软化了滑面带岩体 ,使滑面带岩体刚度比降低 ,从而使岩体突发失稳 ,地下水的... 应用突变理论对某层状岩体滑坡进行了研究 ,用弹性力学理论综合考虑地下水因素建立了尖点突变模型 ,分析了滑坡的形成机制 ,认为地下水主要是通过物理化学作用软化了滑面带岩体 ,使滑面带岩体刚度比降低 ,从而使岩体突发失稳 ,地下水的力学作用表现为一种触发因素。并进一步根据突变理论提出了防治建议。 展开更多
关键词 突发失稳 地下水作用 滑面带 刚度比 岩体 尖点突变模型
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Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论 被引量:28
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作者 赵亚溥 王立森 孙克豪 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2000年第4期529-537,共9页
微电子机械系统(MEMS)等领域的飞速发展,促使我们迈进了一个表面效应在许多现象 中占主导地位的研究领域.本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论. 通过对两个无量纲数——Tabor数μ(以及其相... 微电子机械系统(MEMS)等领域的飞速发展,促使我们迈进了一个表面效应在许多现象 中占主导地位的研究领域.本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论. 通过对两个无量纲数——Tabor数μ(以及其相应形式)和粘着数θ的分析,以及考虑它们对于粘 着力的影响,指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应,随着特征尺度的减小,粘着弹性接触中 的表面效应愈加明显. 展开更多
关键词 TABor数 粘着数 微电子机械系统 微尺度粘着弹性接触理论
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红外光学系统无热化设计与变焦距镜头的关系 被引量:28
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作者 吴晓靖 孙赤全 孟军和 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2002年第3期249-252,共4页
建立了红外光学系统无热化设计与变焦距镜头的关系 ,即可把红外光学系统无热化设计过程看成是广义变焦过程。介绍了设计广义变焦距镜头的过程 ,并进行了相关的理论推导。设计广义变焦距镜头的过程可分为以下四个步骤 :(1)在常温下满足... 建立了红外光学系统无热化设计与变焦距镜头的关系 ,即可把红外光学系统无热化设计过程看成是广义变焦过程。介绍了设计广义变焦距镜头的过程 ,并进行了相关的理论推导。设计广义变焦距镜头的过程可分为以下四个步骤 :(1)在常温下满足像质要求的系统内设定变焦位置 ;(2 )建立不同温度状态下的玻璃库 ;(3)建立不同变焦位置的联系 ;(4)温度分析与加入消除热效应因素。 展开更多
关键词 红外光学系统 热效应 无热化 变焦距 非球面
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机械微型化所面临的科学难题—尺度效应 被引量:23
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作者 魏悦广 《世界科技研究与发展》 CSCD 2000年第2期57-61,共5页
随着机械的微型化 ,人们所面临的科学问题—尺度效应的主要特征为 :(1 )微构件本身材料的物理特性的变化 ;(2 )在传统理论中常常被忽略了的表面力此时将起主导作用 ;(3)某些微观尺度短程力所具有的长程作用效应及其所引起的表面效应将... 随着机械的微型化 ,人们所面临的科学问题—尺度效应的主要特征为 :(1 )微构件本身材料的物理特性的变化 ;(2 )在传统理论中常常被忽略了的表面力此时将起主导作用 ;(3)某些微观尺度短程力所具有的长程作用效应及其所引起的表面效应将在微构件尺度起重要作用 ;(4)微摩擦与微润滑机制对微机械尺度的依赖性以及传热与燃烧对微机械尺度的制约 ,等等。对这些现象的预测超出了传统理论的范畴。本文将对由微机械尺度效应所引发的上述科学问题作简要阐述。作为微机械尺度效应固体力学研究的一个开端 。 展开更多
关键词 微机械 微构件 尺度效应 微尺度力学 机械微型化
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纤维增强聚合物基复合材料的界面性能 被引量:23
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作者 杨景锋 王齐华 +1 位作者 杨丽君 赵普 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期6-10,共5页
针对纤维增强聚合物基复合材料的界面性能,系统阐述了其界面层的结构和作用机理,详细介绍了界面结晶效应对力学性能的影响及界面性能的表征方法,最后论述了几种有效的纤维表面改性方法及改性效果。
关键词 纤维 界面性能 界面层 结晶效应 表面改性
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荷叶表面纳米结构与浸润性的关系 被引量:32
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作者 王景明 王轲 +1 位作者 郑咏梅 江雷 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1596-1599,共4页
通过烘烤、化学萃取及物理剥除等方法改变荷叶表面的纳米结构和化学组成,在环境扫描电镜(ESEM)和全反射红外光谱(ATR)对样品的微观形貌和化学组成进行表征的基础上,为消除其它外界因素影响样品的真实微观形貌,进一步采用原子力显微镜(A... 通过烘烤、化学萃取及物理剥除等方法改变荷叶表面的纳米结构和化学组成,在环境扫描电镜(ESEM)和全反射红外光谱(ATR)对样品的微观形貌和化学组成进行表征的基础上,为消除其它外界因素影响样品的真实微观形貌,进一步采用原子力显微镜(AFM)进行了表征.通过测量不同处理方法所得样品的表观接触角表征了样品的浸润性质.结果表明,荷叶表面的蜡质是产生表面疏水性的根本原因,其微米级结构放大了其疏水性,而纳米结构是导致其表面高接触角、低滚动角,即"荷叶效应"的关键原因. 展开更多
关键词 荷叶效应 表面浸润性 纳米结构 原子力显微镜
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有机硅助剂对氯虫苯甲酰胺防治稻纵卷叶螟的增效作用研究 被引量:25
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作者 徐广春 徐德进 +3 位作者 徐鹿 王聪博 曹坳程 顾中言 《农药学学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期285-292,共8页
为探索有机硅助剂Silwet408对杀虫剂药液理化性能的影响及药液雾滴在稻叶上的行为与对稻纵卷叶螟Cnaphalocrocis medinalis Guenée防效的内在关系,在室内条件下研究了在200 g/L氯虫苯甲酰胺悬浮剂稀释液中添加助剂Silwet408后表面... 为探索有机硅助剂Silwet408对杀虫剂药液理化性能的影响及药液雾滴在稻叶上的行为与对稻纵卷叶螟Cnaphalocrocis medinalis Guenée防效的内在关系,在室内条件下研究了在200 g/L氯虫苯甲酰胺悬浮剂稀释液中添加助剂Silwet408后表面张力、黏度、pH值以及在稻叶上最大持留量的变化,借助OCG法对叶片的表面特性进行表征,围绕叶片倾角分析了单个雾滴在稻叶上的黏附行为,并进行了田间药效试验。结果表明:水稻叶片正、反面表观表面自由能分别为31.48 mJ/m^2和34.19 mJ/m^2;倒二叶和倒三叶的叶角较小,分别为(11.09±2.74)°和(19.98±5.67)°,表明水稻为高倾角叶片形态,不利于雾滴在稻叶上的黏附。200 g/L氯虫苯甲酰胺悬浮剂4000倍和5000倍稀释液的表面张力分别为(44.64±1.04)mN/m和(46.14±0.62)mN/m,均大于稻叶的表观表面自由能,其药液的单个雾滴在79°和70°的倾角稻叶上均呈滚落状态;添加125 mg/L的Silwet408后,药液的表面张力小于稻叶的表观表面自由能,单个雾滴能够黏附在倾角稻叶上并润湿,同时药液在稻叶上的最大持留量也呈极显著增加;200 g/L氯虫苯甲酰胺悬浮剂5000倍稀释液的pH值和黏度在添加Silwet408前后变化不大。田间试验结果表明,添加125 mg/L的Silwet408后,200 g/L氯虫苯甲酰胺悬浮剂5000倍稀释液对稻纵卷叶螟药后14 d的保叶效果和杀虫效果均显著提高。综合研究结果表明,在200 g/L氯虫苯甲酰胺悬浮剂5000倍稀释液中添加125 mg/L的Silwet408可使喷雾药液与水稻植株特性相匹配,进而提高氯虫苯甲酰胺对稻纵卷叶螟的防治效果。 展开更多
关键词 有机硅助剂 Silwet408 氯虫苯甲酰胺 稻纵卷叶螟 增效作用 表面张力 表面自由能
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爆破地震作用的沟槽效应 被引量:23
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作者 郭学彬 肖正学 +1 位作者 张志呈 陈晓林 《爆破器材》 CAS 北大核心 1999年第3期4-7,共4页
通过土介质中爆破地震作用的沟槽效应测试,得出爆破地震波经过沟槽时质点振动具有分区特性的结论,并对爆破震动原理、频率特征、波型作用权重进行了详细讨论,深化了对沟槽隔震作用机理的认识。
关键词 沟槽效应 爆破 地震作用 隔震 地震波
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交流电压下聚合物材料表面的电荷分布特性 被引量:23
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作者 穆海宝 张冠军 +1 位作者 铃木祥太 田中康宽 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第31期130-136,共7页
采用Pockels电光效应原理,对大气条件交流电压下聚合物绝缘材料的表面电荷分布进行了研究。实验以聚苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate,PET)和聚偏氟乙烯(polyvinylidene fluoride,PVDF)为样品,在针板电极上施加幅值5kV、频... 采用Pockels电光效应原理,对大气条件交流电压下聚合物绝缘材料的表面电荷分布进行了研究。实验以聚苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate,PET)和聚偏氟乙烯(polyvinylidene fluoride,PVDF)为样品,在针板电极上施加幅值5kV、频率20Hz的正弦交流电压,施加电压分别从正半波开始和从负半波开始,采用高速CCD摄像机纪录1个周期内2种聚合物材料在沿面放电过程中表面电荷分布的变化。实验结果表明,材料表面电荷分布的极性效应非常明显,负电荷分布半径要小于正电荷分布。材料特性也显著影响电荷分布,随着施加电压的升高,PET表面正流注通道逐步延伸,呈弯曲状分支分布,而PVDF表面正流注通道的形成明显要快,并呈现规则的轮辐状分布。分析认为,这与不同材料的禁带宽度、表面层电离能、介电常数和厚度等的差异都有很大关系。 展开更多
关键词 电光效应 表面电荷 聚苯二甲酸乙二醇酯 聚偏氟乙烯 表面电场
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纳米金属粉末研究进展 被引量:13
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作者 李宇农 何建军 龙小兵 《粉末冶金工业》 CAS 2004年第1期34-39,共6页
纳米金属粒子作为一种新型功能材料以其独特的性质 ,在现代工业中占有举足轻重的地位 ,因而受到人们的青睐。本文综述了近年来纳米金属粒子研究发展情况 ,包括纳米金属粒子的基本效应、表征、应用、制备、表面改性等方面 。
关键词 金属粉末 纳米粉末 表面改性 表征 制备 研究进展 功能材料
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浮选组合药剂协同效应定量研究 被引量:23
16
作者 王纪镇 印万忠 +2 位作者 刘明宝 王余莲 钟文兴 《金属矿山》 CAS 北大核心 2013年第5期62-66,共5页
应用浮选药剂理论和表面活性剂的物理化学性质,探索了浮选组合药剂的协同效应。以油酸和不同碳链长度的羧酸类捕收剂、油酸钠和不同饱和度的羧酸类捕收剂、乳化剂和油酸钠、磺酸盐类捕收剂和油酸钠、羧酸类捕收剂和苯甲羟肟酸等组合药... 应用浮选药剂理论和表面活性剂的物理化学性质,探索了浮选组合药剂的协同效应。以油酸和不同碳链长度的羧酸类捕收剂、油酸钠和不同饱和度的羧酸类捕收剂、乳化剂和油酸钠、磺酸盐类捕收剂和油酸钠、羧酸类捕收剂和苯甲羟肟酸等组合药剂为例,通过计算药剂结构参数和疏水链-疏水链之间相互作用,结合文献数据,发现2种药剂结构参数相差越大,组合后溶液的表面张力下降越大;疏水链之间相互作用较强的2种捕收剂,选择性好的与捕收能力强的组合,浮选效果一般较好。该研究结果对组合浮选药剂协同效应的定量研究具有理论参考意义。 展开更多
关键词 组合药剂 协同效应 结构性能 表面张力 浮选
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非均匀地表蒸散遥感研究综述 被引量:22
17
作者 周倜 彭志晴 +1 位作者 辛晓洲 李福根 《遥感学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第2期257-277,共21页
本文评述了目前常用的遥感估算地表蒸散方法,包括地表能量平衡模型、Penman-Monteith类模型、温度—植被指数特征空间方法、Priestley-Taylor类模型和其他方法。然而使用这些方法估算地表蒸散时会面临严重的尺度效应,而产生尺度效应的... 本文评述了目前常用的遥感估算地表蒸散方法,包括地表能量平衡模型、Penman-Monteith类模型、温度—植被指数特征空间方法、Priestley-Taylor类模型和其他方法。然而使用这些方法估算地表蒸散时会面临严重的尺度效应,而产生尺度效应的根本原因之一是地表异质性,在分析了非均匀下垫面对水热通量遥感反演造成的影响后,介绍了面积加权、校正因子补偿与温度降尺度3种尺度误差纠正方法;并从地面观测实验的角度简述了非均匀下垫面水热通量真实性检验的研究;最后探讨了将来建立更具时空代表性的非均匀下垫面地表蒸散遥感估算模型可能会面临的一些挑战。 展开更多
关键词 遥感 蒸散 模型 尺度效应 非均匀下垫面 地面实验
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页岩气藏多重介质耦合流动模型 被引量:20
18
作者 苏玉亮 盛广龙 +2 位作者 王文东 闫怡 张璇 《天然气工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期52-59,共8页
为准确掌握页岩气流动规律以及精准评价水力压裂效果,需要建立页岩气藏多重介质耦合流动模型。为此,基于页岩气藏干酪根、无机基质及裂缝物性特征,综合考虑微纳米尺度气体黏性滑脱、努森扩散、吸附解吸、表面扩散等运移规律,通过表观渗... 为准确掌握页岩气流动规律以及精准评价水力压裂效果,需要建立页岩气藏多重介质耦合流动模型。为此,基于页岩气藏干酪根、无机基质及裂缝物性特征,综合考虑微纳米尺度气体黏性滑脱、努森扩散、吸附解吸、表面扩散等运移规律,通过表观渗透率来综合表征页岩气藏多尺度介质渗流机理。在此基础上,考虑储层压裂改造特征及跨尺度流体传质机理,建立页岩气藏多重介质耦合流动模型,应用Laplace变换和Stehfest数值反演,得到了定产和定压情况下封闭边界单裂缝井底无因次拟压力和产量半解析解。在模型正确性验证的基础上,结合矿场参数对模型进行实例分析。结果表明:①干酪根是页岩气藏重要的烃源介质,干酪根含量每增加10%,对页岩气累积产量的贡献度增加12%左右;②无机基质滑脱效应及努森扩散在对生产中期气体流速产生较大影响的同时也增大了孔隙压力衰竭速度。基于所建流动模型研究了页岩气藏分段压裂水平井流动规律,结果表明:不考虑井筒存储及表皮效应时,储层有线性流、双线性流、"双窜流"、无机基质稳态流、拟边界流、"三线性"流、封闭边界流7个流动阶段。 展开更多
关键词 页岩气藏 干酪根 滑脱效应 努森扩散 吸附 解吸 表面扩散 表观渗透率 耦合流动模型
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页岩气藏表观渗透率和综合渗流模型建立 被引量:20
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作者 张烈辉 单保超 +2 位作者 赵玉龙 郭晶晶 唐洪明 《岩性油气藏》 CSCD 北大核心 2017年第6期108-118,共11页
页岩储层结构复杂,多尺度效应明显,存在黏性流动、滑脱效应、Knudsen扩散以及表面扩散等多重运移机制。利用Knudsen数划分流态,绘制了考虑真实气体效应的流态图版。考虑多重运移机制,建立了页岩气藏表观渗透率模型;在此基础上综合考虑... 页岩储层结构复杂,多尺度效应明显,存在黏性流动、滑脱效应、Knudsen扩散以及表面扩散等多重运移机制。利用Knudsen数划分流态,绘制了考虑真实气体效应的流态图版。考虑多重运移机制,建立了页岩气藏表观渗透率模型;在此基础上综合考虑吸附解吸以及溶解气扩散影响,建立了页岩气藏多重介质不稳定渗流数学模型,明确了不同运移机制对页岩气藏非稳态产能的影响。结果表明:不同运移机制之间既相互联系又相互制约;Knudsen扩散和表面扩散均通过改变表观渗透率大小,对生产中期阶段的气体流动能力产生重要影响;溶解气和吸附气均是页岩气的重要赋存形式,是开发过程中自由气的补充,对气井生产中晚期非稳态产能具有显著影响;溶解气与吸附气能够增加气藏的累产气量,减缓气藏压力的下降速度。 展开更多
关键词 页岩气 表观渗透率 滑脱效应 Knudsen扩散 表面扩散 吸附解吸 溶解气
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蓝宝石衬底材料CMP抛光工艺研究 被引量:18
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作者 赵之雯 牛新环 +2 位作者 檀柏梅 袁育杰 刘玉岭 《微纳电子技术》 CAS 2006年第1期16-19,46,共5页
介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,阐述了蓝宝石衬底的应用发展前景以及加工工艺中存在的问题,总结了影响CMP工艺的多种因素,并系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数及其影响因素,提出了优化方案,采用大粒径、低分散度的磨料,... 介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,阐述了蓝宝石衬底的应用发展前景以及加工工艺中存在的问题,总结了影响CMP工艺的多种因素,并系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数及其影响因素,提出了优化方案,采用大粒径、低分散度的磨料,加入有机碱及活性剂,能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率。 展开更多
关键词 蓝宝石 化学机械抛光 影响因素 表面状态
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