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质谱测量与分析系统的性能测试
被引量：
2
1
作者
曹曾
黄向玫
+4 位作者
蔡潇
许正华
田培红
崔成和
高霄雁
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期135-140,共6页
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果...
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果满足动态流导法真空校准的技术要求,为氘、氦混合气体的测量与分析提供了条件。
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关键词
极限真空
漏气率
线性关系
动态流导法
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职称材料
题名
质谱测量与分析系统的性能测试
被引量：
2
1
作者
曹曾
黄向玫
蔡潇
许正华
田培红
崔成和
高霄雁
机构
核工业西南物理研究院
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期135-140,共6页
基金
国家磁约束核聚变能研究专项(2010GB108002)
文摘
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果满足动态流导法真空校准的技术要求,为氘、氦混合气体的测量与分析提供了条件。
关键词
极限真空
漏气率
线性关系
动态流导法
Keywords
Ultimate
vacuum
Leak
rate
Linear
dependence
dynamic
flow
conductance
分类号
TL628 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
质谱测量与分析系统的性能测试
曹曾
黄向玫
蔡潇
许正华
田培红
崔成和
高霄雁
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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