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半导体材料加工设备的新秀——多线切割机 被引量：15
1
作者 王琮 《电子工业专用设备》 2004年第4期63-65,共3页
对多线切割机各个部分的作用、原理及整机性能作了简要介绍。
关键词 多线切割机 导线轮 载荷传感器 工作台 定向偏转糸统 智能控制 砂浆 半导体材料 加工设备
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