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激光预处理技术及其应用 被引量:15
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作者 赵元安 胡国行 +4 位作者 刘晓凤 李大伟 朱美萍 易葵 邵建达 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2938-2947,共10页
回顾了国内在激光预处理技术研究方面取得的进展。综述了基于激光预处理技术提升基频介质膜、磷酸二氢钾/高掺氘磷酸二氢钾(KDP/DKDP)晶体等光学元件抗激光损伤性能的机理、效果和关键技术。针对高功率激光驱动器中关键光学元件激光负... 回顾了国内在激光预处理技术研究方面取得的进展。综述了基于激光预处理技术提升基频介质膜、磷酸二氢钾/高掺氘磷酸二氢钾(KDP/DKDP)晶体等光学元件抗激光损伤性能的机理、效果和关键技术。针对高功率激光驱动器中关键光学元件激光负载能力的提高,建立了大口径光学元件激光预处理平台,实现了基频介质膜元件的激光预处理工程化作业。比较了纳秒和亚纳秒脉冲宽度激光对DKDP晶体损伤性能的影响。基于亚纳秒激光预处理后,纳秒激光辐照至14.4J/cm2(5ns)尚未出现"本征"损伤的实验结果,提出了用于DKDP晶体的亚纳秒激光预处理方案,并指出亚纳秒激光预处理技术将成为高功率激光三倍频晶体抗激光损伤性能达标的关键技术。 展开更多
关键词 激光预处理 激光与物质相互作用 高功率激光 激光损伤阈值 介质膜 磷酸二氢钾(KDP)晶体 高掺氘磷酸二氢钾(DKDP)晶体
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氧化剂对聚吡咯复合材料介电性能的影响 被引量:11
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作者 刘元军 赵晓明 李卫斌 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期41-46,共6页
为了探究氧化剂对聚吡咯复合材料介电性能的影响,以吡咯为单体,采用原位聚合法制备了聚吡咯涂层复合材料。通过BDS50介电谱仪研究了氧化剂种类和氧化剂物质的量浓度对复合材料介电常数实部、虚部、损耗角正切、表面电阻的影响;采用Quant... 为了探究氧化剂对聚吡咯复合材料介电性能的影响,以吡咯为单体,采用原位聚合法制备了聚吡咯涂层复合材料。通过BDS50介电谱仪研究了氧化剂种类和氧化剂物质的量浓度对复合材料介电常数实部、虚部、损耗角正切、表面电阻的影响;采用Quanta200型环境扫描电子显微镜和Instron万能材料试验机研究了聚吡咯涂层复合材料的外观形貌和强度。结果表明:氧化剂种类、氧化剂浓度对聚吡咯涂层复合材料介电常数实部、虚部、损耗角正切、表面电阻影响较大;制备的聚吡咯涂层复合材料既具备良好的介电性能和导电性,又兼具良好的强度. 展开更多
关键词 吡咯 聚吡咯 氧化剂 介电性能 涂层 复合材料
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A Bilayer High-Temperature Dielectric Film with Superior Breakdown Strength and Energy Storage Density 被引量:4
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作者 Jiang-Bo Ping Qi-Kun Feng +4 位作者 Yong-Xin Zhang Xin-Jie Wang Lei Huang Shao-Long Zhong Zhi-Min Dang 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第9期479-491,共13页
The further electrification of various fields in production and daily life makes it a topic worthy of exploration to improve the performance of capacitors for a long time,including thin-film capacitors.The discharge e... The further electrification of various fields in production and daily life makes it a topic worthy of exploration to improve the performance of capacitors for a long time,including thin-film capacitors.The discharge energy density of thin-film capacitors that serves as one of the important types directly depends on electric field strength and the dielectric constant of the insulation material.However,it has long been a great challenge to improve the breakdown strength and dielectric constant simultaneously.Considering that boron nitride nanosheets(BNNS)possess superior insulation and thermal conductivity owing to wide band gap and 2-dimensional structure,a bilayer polymer film is prepared via coating BNNS by solution casting on surface of polyethylene terephthalate(PET)films.By revealing the bandgap and insulating behavior with UV absorption spectrum,leakage current,and finite element calculation,it is manifested that nanocoating contributes to enhance the bandgap of polymer films,thereby suppressing the charge injection by redirecting their transport from electrodes.Worthy to note that an ultrahigh breakdown field strength(~736 MV m^(−1)),an excellent discharge energy density(~8.77 J cm^(−3))and a prominent charge-discharge efficiency(~96.51%)are achieved concurrently,which is ascribed to the contribution of BNNS ultrathin layer.In addition,the modified PET films also have superior comprehensive performance at high temperatures(~120°C).The materials and methods here selected are easily accessible and facile,which are suitable for large-scale roll-to-roll process production,and are of certain significance to explore the methods about film modification suitable for commercial promotion. 展开更多
关键词 Film capacitor dielectric property Boron nitride nanosheets Surface coating Energy storage characteristics
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用等离子化学气相沉积工艺制备Al_2O_3薄膜 被引量:4
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作者 赵玉文 Suhr,H 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期102-106,共5页
以乙酰丙酮铝Al(acac)_3为前驱体用等离子化学气相沉积工艺在玻璃、石英、Si(100)和Ni等底材上沉积出了Al_2O_3薄膜。所获得的沉积膜或者无碳、透明、致密(平均3.8g·cm ̄(-3)),或为透明致... 以乙酰丙酮铝Al(acac)_3为前驱体用等离子化学气相沉积工艺在玻璃、石英、Si(100)和Ni等底材上沉积出了Al_2O_3薄膜。所获得的沉积膜或者无碳、透明、致密(平均3.8g·cm ̄(-3)),或为透明致密的硬质(硬度H_K达2370)涂层。研究了各种实验参数对沉积速率、薄膜组成及膜层硬度的影响,认为偏压是最具影响的参数。 展开更多
关键词 氧化铝 薄膜 等离子 化学气相沉积
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Optical and mechanical properties of hollow-core fibers with cobweb cladding structure 被引量:6
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作者 陈明阳 于荣金 +1 位作者 田振国 白象忠 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第2期63-65,共3页
This paper explores the possibility of realizing a hollow-core optical fiber, whose cladding is composed of cylindrical alternating layers of air and high-index material with supporting structure. The optical properti... This paper explores the possibility of realizing a hollow-core optical fiber, whose cladding is composed of cylindrical alternating layers of air and high-index material with supporting structure. The optical properties and the design criteria of the proposed fiber are evaluated by the compact two-dimensional (2D) finite-difference time-domain (FDTD) method. In particular, the influence of the number and width of supporting strips on the leakage loss of the fiber is investigated. Furthermore, the mechanical performances of the fiber are estimated by finite-element method, confirming that hollow-core fibers with a reasonable size and number of supporting strips are reliable. 展开更多
关键词 AIR Cladding (coating) dielectric materials Finite difference method Mechanical properties MULTILAYERS Optical properties Supports Time domain analysis Two dimensional
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陶瓷天线罩防潮保护涂层的研究 被引量:5
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作者 魏美玲 赵小玻 +2 位作者 程之强 滕祥红 高杰 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期56-59,共4页
采用有机硅树脂和有机氟树脂为原料,制备了具有优良的力学性能、介电性能、耐环境性能及基体增强作用的陶瓷天线罩防潮涂层,分析了材料体系、组成、结构与各项性能之间的关系,结果表明,该涂层是理想的天线罩涂层。
关键词 陶瓷天线罩 力学性能 介电性能 耐环境性能 涂层
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正脉冲电压下水中流注放电特性的研究 被引量:5
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作者 朱太云 王秀环 +2 位作者 张乔根 杨兰均 贾江波 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期96-100,共5页
采用介质涂覆的球-板电极结构,研究了不同电导率、气压和脉冲电压幅值条件下水中流注放电的特性.结果表明,水的电导率和脉冲电压幅值对水中流注速度、图像亮度等有较大影响.不同电导率条件下,气压由0.1 MPa降至0.0065 MPa对水中超音速... 采用介质涂覆的球-板电极结构,研究了不同电导率、气压和脉冲电压幅值条件下水中流注放电的特性.结果表明,水的电导率和脉冲电压幅值对水中流注速度、图像亮度等有较大影响.不同电导率条件下,气压由0.1 MPa降至0.0065 MPa对水中超音速流注发展平均速度并无明显影响.在低气压时,纯净水中间隙为10%击穿电压(U10)降低,约为一个大气压条件下的80%,而在高电导率的水中,U10几乎不受气压影响.由放电图像和放电电流波形分析可知,在低电导率的水中,流注发展是不连续的分步发展,在每一步的发展中形成一个或多个微小的气泡. 展开更多
关键词 水中流注放电 介质涂覆 流注速度 脉冲电压
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0Cr18Ni9不锈钢基板的BAS系微晶玻璃介质层的研制 被引量:5
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作者 芦玉峰 楼淼 +3 位作者 邓利蓉 刘振兴 张传禹 堵永国 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2216-2219,共4页
通过开展BAS微晶玻璃成分优化研究,研制了0Cr18Ni9不锈钢基板的大功率厚膜电路介质层。在BAS系玻璃中加入适量MgO和CaO,在降低烧结温度的同时提高了析晶温度,抑制了晶体相的析出,有助于介质层的烧结致密化。利用成分优化后的BAS系玻璃... 通过开展BAS微晶玻璃成分优化研究,研制了0Cr18Ni9不锈钢基板的大功率厚膜电路介质层。在BAS系玻璃中加入适量MgO和CaO,在降低烧结温度的同时提高了析晶温度,抑制了晶体相的析出,有助于介质层的烧结致密化。利用成分优化后的BAS系玻璃制备的介质层与不锈钢基板结合强度高,具有优良的抗机械冲击能力。最佳配方的介质浆料经过3个烧结周期,制得介质层膜厚>100μm,击穿电压>2.1kV,泄漏电流<0.01mA。部分成果已经用于合作单位的工业化生产。 展开更多
关键词 微晶玻璃 钡长石 介质层 0Cr18Ni9不锈钢 基板 烧结
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等离子喷涂石墨/氧化铝复合涂层微观结构及介电性能研究 被引量:4
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作者 杨勋 朱冬梅 +1 位作者 周万城 罗发 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2012年第18期103-105,共3页
以石墨为吸收剂,氧化铝为填料,聚乙烯醇为粘结剂,利用喷雾干燥法制备了石墨/氧化铝粉末,通过等离子喷涂工艺制备了石墨/氧化铝复合涂层,分析了涂层的相组成和微观结构,讨论了石墨含量对涂层微观结构和介电性能的影响。结果表明:喷涂后... 以石墨为吸收剂,氧化铝为填料,聚乙烯醇为粘结剂,利用喷雾干燥法制备了石墨/氧化铝粉末,通过等离子喷涂工艺制备了石墨/氧化铝复合涂层,分析了涂层的相组成和微观结构,讨论了石墨含量对涂层微观结构和介电性能的影响。结果表明:喷涂后的涂层中有新相AlN(氮化铝)生成。涂层的密度和孔隙率与石墨含量有关,随着石墨含量的增加,涂层的密度逐渐减小,而孔隙率逐渐增加。介电性能测试表明,涂层的介电常数和介电损耗均随石墨含量地增加而增大。 展开更多
关键词 等离子喷涂 石墨/氧化铝 介电性能 复合涂层
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GIS中导电颗粒与电极碰撞系数的测量与分析 被引量:4
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作者 律方成 齐玉娟 +2 位作者 汪佛池 刘宏宇 曹东亮 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期7-13,共7页
在气体绝缘封闭组合电器(GIS)中,导电颗粒的运动是随机的,但是这种随机性取决于碰撞系数和颗粒接近同轴导体时的入射角。为了准确获得GIS中导电颗粒与电极的碰撞系数以指导颗粒运动特性的研究,笔者基于运动学原理搭建了导电颗粒与铜板... 在气体绝缘封闭组合电器(GIS)中,导电颗粒的运动是随机的,但是这种随机性取决于碰撞系数和颗粒接近同轴导体时的入射角。为了准确获得GIS中导电颗粒与电极的碰撞系数以指导颗粒运动特性的研究,笔者基于运动学原理搭建了导电颗粒与铜板发生碰撞时的碰撞系数测量平台,采用单因素试验的方法,分别研究了导电颗粒的半径、碰撞速度、涂层材料及厚度4个因素对碰撞系数的影响规律,并进行了回归分析。实验结果表明:导电颗粒的半径对碰撞系数无明显影响;随着碰撞速度的增大,导电颗粒的法向碰撞系数呈负指数幂规律下降,切向碰撞系数先减小后增大;涂覆一定厚度的硅橡胶和环氧树脂涂层后,能够增大导电颗粒的法向碰撞系数,且随着厚度的增加,法向碰撞系数基本呈现逐渐增加并趋于饱和的规律。 展开更多
关键词 GIS 导电颗粒 碰撞系数 涂层
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电磁混合介质覆盖对行波散射的抑制 被引量:4
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作者 林炽森 倪维立 《应用科学学报》 CAS CSCD 1995年第2期163-168,共6页
该文应用极化电磁流的概念分析电磁混合介质覆盖体的散射,研究介质的电磁特性与行波散射之间的内在关系,计算表明薄层的有耗磁介质覆盖对行波散射有较好的抑制作用。
关键词 行波 介质覆盖 电磁混合 飞行体 雷达 散射
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溶液法制备蒽醌类衍生物介电层及其在有机场效应晶体管中的应用
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作者 王旭冉 任春兴 +4 位作者 曹龙 刘省珍 冯宇光 张伟民 吴倜 《印刷与数字媒体技术研究》 CAS 北大核心 2023年第5期92-99,114,共9页
如何获得高性能、稳定传输的n型半导体材料是柔性电子器件领域研究的重点。本研究设计合成了两种13,13,14,14-四氰基-5,11-二噻吩并蒽醌二甲烷衍生物(M-C0和M-C10)。根据电化学表征计算得到M-C0和M-C10的LUMO能级分别为–4.01eV和–3.95... 如何获得高性能、稳定传输的n型半导体材料是柔性电子器件领域研究的重点。本研究设计合成了两种13,13,14,14-四氰基-5,11-二噻吩并蒽醌二甲烷衍生物(M-C0和M-C10)。根据电化学表征计算得到M-C0和M-C10的LUMO能级分别为–4.01eV和–3.95eV,HOMO能级分别为–6.62eV和–6.45eV。较低的HOMO能级(<-5.4eV)保证该类化合物具有良好的空气稳定性。其中,M-C10引入癸烷基取代基,材料具有很好的溶解性,溶液法涂布制备有机场效应晶体管的介电层,可替代完美修饰的十八烷基三氯硅烷(OTS)介电层,使以酞菁铜为有机半导体层的场效应晶体管的性能提高近两个数量级,空穴迁移率达到2.4×10^(-2)cm^(2)V^(-1)s^(-1),且在制备工艺方面,溶液涂布操作简单,易重复,适用于大面积柔性器件。 展开更多
关键词 蒽醌类衍生物 介电层 溶液涂布 有机场效应晶体管
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Analysis and combined optimization of the cladding layer in out coupling-improved top emitting OLEDs 被引量:1
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作者 杨立功 吴鹏 +1 位作者 黄弼勤 顾培夫 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第5期299-301,共3页
Within the associated framework of metal-dielectric films optics and the dual-metal-mirror microcavity structure, the effect of a cladding dielectric layer on the light outcoupling efficiency of the top emitting orgai... Within the associated framework of metal-dielectric films optics and the dual-metal-mirror microcavity structure, the effect of a cladding dielectric layer on the light outcoupling efficiency of the top emitting orgainic light-emitting devices (OLEDs) is analyzed. A combined evaluation followed by detailed design and optimization is proposed and described in detail. The analysis shows that this cladding layer affects the device’s outcoupling efficiency with three different extents as the thickness of the metal layer in the multilayer cathode varying. The simulation results give a reasonable agreement with former experiment results. 展开更多
关键词 Cladding (coating) dielectric films Optical multilayers Optimization
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掺杂和包覆H_3BO_3对BZN陶瓷烧结和介电性能的影响 被引量:2
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作者 金彪 汪潇 杨留栓 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1243-1246,1262,共5页
以Bi2O3、ZnO和Nb2O5粉末为原料,通过固相反应合成了以(Bi1.5Zn0.5)(Zn0.5Nb1.5)O7(BZN)为主晶相的陶瓷。分别以液相包覆法和固相混合法引入助烧剂B2O3降低BZN的烧结温度。研究了B2O3对BZN陶瓷的烧结和介电性能的影响。结果表明,液相包... 以Bi2O3、ZnO和Nb2O5粉末为原料,通过固相反应合成了以(Bi1.5Zn0.5)(Zn0.5Nb1.5)O7(BZN)为主晶相的陶瓷。分别以液相包覆法和固相混合法引入助烧剂B2O3降低BZN的烧结温度。研究了B2O3对BZN陶瓷的烧结和介电性能的影响。结果表明,液相包覆B2O3后,BZN陶瓷的烧结温度从1100℃降至900℃。H3BO3溶液的浓度为0.9 mol/L,900℃烧结3 h所制BZN陶瓷的介电性能良好:εr=150,Q×f=228,τf=-362 ppm/℃。 展开更多
关键词 微波介质陶瓷 低温烧结 介电性能 液相烧结 液相包覆
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NiCrAlY含量对NiCrAlY/Al_2O_3涂层机械性能及介电性能的影响 被引量:2
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作者 武志红 周万城 +1 位作者 罗发 朱冬梅 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期261-266,共6页
采用大气等离子喷涂技术,以镍基合金(NiCrAlY合金)粉为吸收剂、氧化铝(Al2O3)为基体,制备出NiCrAlY/Al2O3(NA)复合涂层。分析了复合涂层的相组成及显微结构,研究了NiCrAlY含量变化对复合涂层的机械性能及介电性能的影响。结果表明:喷涂... 采用大气等离子喷涂技术,以镍基合金(NiCrAlY合金)粉为吸收剂、氧化铝(Al2O3)为基体,制备出NiCrAlY/Al2O3(NA)复合涂层。分析了复合涂层的相组成及显微结构,研究了NiCrAlY含量变化对复合涂层的机械性能及介电性能的影响。结果表明:喷涂后的涂层中出现了刚玉、铬刚玉等非金属相及唯一的金属相Ni。随着NiCrAlY含量的增加,复合涂层的抗弯强度、断裂韧性逐渐增强;在8.2~12.4GHz频率范围内,涂层的介电常数实部与虚部值都随着NiCrAlY含量的变化而明显变化,且在NiCrAlY含量为25%时达到最高值,这主要与喷涂过程中分离出金属Ni的含量、冷却后的形状及分布状态有关。 展开更多
关键词 镍基合金 氧化铝 介电常数 等离子喷涂 复合涂层
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大气等离子喷涂Al_(2)O_(3)/ZnO/TiO_(2)涂层微波介电性能的研究 被引量:1
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作者 郑广芝 王敏 +3 位作者 袁建辉 王昕 张晨 江绍亮 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期1128-1133,共6页
采用高焓大气等离子喷涂技术,以纳米级ZnO、Al_(2)O_(3)和TiO_(2)为原料,通过固相反应制得以ZnAl_(2)O_(4)为主相的陶瓷粉末,加入粘结剂聚乙烯醇(PVA),通过喷雾造粒的方法制备复合吸波陶瓷涂层(简称为AZT涂层)。分析了AZT涂层的微观结... 采用高焓大气等离子喷涂技术,以纳米级ZnO、Al_(2)O_(3)和TiO_(2)为原料,通过固相反应制得以ZnAl_(2)O_(4)为主相的陶瓷粉末,加入粘结剂聚乙烯醇(PVA),通过喷雾造粒的方法制备复合吸波陶瓷涂层(简称为AZT涂层)。分析了AZT涂层的微观结构和相组成,探究了喷涂功率对AZT涂层微波介电性能的影响。结果表明,AZT涂层对比粉末有了较大变化,ZnAl_(2)O_(4)在高温等离子火焰中发生部分分解,TiO_(2)以非计量化学比形式析出。介电性能测试表明,随着喷涂功率的增加,涂层介电常数ε′下降,损耗角正切值tanδ在0.11~0.15之间变化,呈现着先增加后下降的趋势。在功率为60 kW时,介电常数达到最低的6.38,损耗角正切值达到最低的0.11。 展开更多
关键词 微波性能 ZnAl_(2)O_(4) 介电常数 复合涂层
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水中脉冲放电产生过氧化氢及其影响因素 被引量:2
17
作者 朱太云 张乔根 +1 位作者 杨兰均 贾江波 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期675-678,共4页
采用介质涂覆的球-筒电极结构,用以脉冲电压条件下在水中产生放电,通过比色法检测放电产生的过氧化氢,研究了不同电压脉冲幅值、脉冲宽度(储能电容的大小)、水的电导率以及脉冲频率对过氧化氢产生速率的影响,实验结果表明过氧化氢的产... 采用介质涂覆的球-筒电极结构,用以脉冲电压条件下在水中产生放电,通过比色法检测放电产生的过氧化氢,研究了不同电压脉冲幅值、脉冲宽度(储能电容的大小)、水的电导率以及脉冲频率对过氧化氢产生速率的影响,实验结果表明过氧化氢的产率随电压脉冲幅值的增大而增大。当电压脉冲幅值足够高时,水中放电由流注放电形式转换为电弧放电形式,此时过氧化氢产率也大幅提高,而在相同电压条件下,随水的电导率的增大,过氧化氢的产率减小。在相同电压下,脉冲频率的增大,导致放电平均功率增大,水中放电产生过氧化氢的浓度提高。在3.3 W功率时,120 min后水中过氧化氢浓度达到0.2 mmol/L,从而证明了所用电极结构的优越性。 展开更多
关键词 水中放电 介质涂覆 脉冲功率 过氧化氢
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The Effects of Antiretroviral Drugs on the Absorbance Characteristics of HIV-Infected Blood
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作者 Okwuchukwu Ani Sam Omenyi Chinonso Achebe 《Journal of Biomedical Science and Engineering》 2015年第9期571-581,共11页
In the twenty first century research works, there may be a need to achieve a more reliable research result through a synergy between engineers and biological researchers. The peak absorbance data for various interacti... In the twenty first century research works, there may be a need to achieve a more reliable research result through a synergy between engineers and biological researchers. The peak absorbance data for various interacting systems were measured. These were used to show that the antiretroviral drug has the effect of increasing the peak absorbance values of both the uninfected and infected blood components, i.e., the drugs are made able to increase the light absorption capacity of the blood cells. For drug 2 that contains three components including Efavirenz, the drug effect on lymphocytes was increased by about 38% for patients that had been on antiretroviral drug treatment. Mathematical models were proposed and used in determining the coating effectiveness of antiretroviral drugs in the presence and absence of HIV. The use of the findings of this work by pharmaceutical industries may help in the search for more effective antiretroviral drugs for the treatment of HIV patients. 展开更多
关键词 ABSORBANCE TRANSMITTANCE dielectric Constant Human IMMUNODEFICIENCY Virus ANTIRETROVIRAL Drug coating Effectiveness LYMPHOCYTE Wavelength
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The investigation of DARC etch back in DRAM capacitor oxide mask opening 被引量:1
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作者 Jianqiu Hou Zengwen Hu +5 位作者 Kuowen Lai Yule Sun Bo Shao Chunyang Wang Xinran Liu Karson Liu 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2021年第7期88-92,共5页
Opening the silicon oxide mask of a capacitor in dynamic random access memory is a critical process on a capacitive coupled plasma(CCP)etch tool.Three steps,dielectric anti-reflective coating(DARC)etch back,silicon ox... Opening the silicon oxide mask of a capacitor in dynamic random access memory is a critical process on a capacitive coupled plasma(CCP)etch tool.Three steps,dielectric anti-reflective coating(DARC)etch back,silicon oxide etch and strip,are contained.To acquire good performance,such as low leakage current and high capacitance,for further fabricating capacitors,we should firstly optimize DARC etch back.We developed some experiments,focusing on etch time and chemistry,to evalu-ate the profile of a silicon oxide mask,DARC remain and critical dimension.The result shows that etch back time should be con-trolled in the range from 50 to 60 s,based on the current equipment and condition.It will make B/T ratio higher than 70%mean-while resolve the DARC remain issue.We also found that CH_(2)F_(2) flow should be~15 sccm to avoid reversed CD trend and keep in-line CD. 展开更多
关键词 dynamic random access memory(DRAM) oxide mask open of capacitor capacitive coupled plasma(CCP)etch dielectric anti-reflective coating(DARC) etch back(EB)
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