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高速钢镀氮化碳超硬涂层及其应用研究 被引量:5
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作者 吴大维 曾昭元 +3 位作者 刘传胜 张友珍 彭友贵 范湘军 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期279-283,共5页
本文采用DC 反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳-氮化钛复合膜,经X射线衍射分析,复合膜中存在a-C3N4和b-C3N4的硬质相。复合膜的显微硬度 HK=50.5—54.1GPa,它与高速钢基体的附着力,用划痕试验测得临界载荷Lc=40... 本文采用DC 反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳-氮化钛复合膜,经X射线衍射分析,复合膜中存在a-C3N4和b-C3N4的硬质相。复合膜的显微硬度 HK=50.5—54.1GPa,它与高速钢基体的附着力,用划痕试验测得临界载荷Lc=40—80N。多种刀具试用证实,该涂层具有很高的耐磨性,与未涂层和镀TiN的刀具相比,大幅度提高了刀具的耐用度。 展开更多
关键词 氮化碳 超硬薄膜 高速工具钢 涂层刀具 氮化钛 复合膜 电弧离子镀 dc反应磁控溅射
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高速钢刀具镀氮化碳超硬涂层研究
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作者 吴大雄 吴越侠 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第B12期39-43,共5页
本文采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳-氮化钛复合膜,经X射线衍射分析,复合膜中存在α-C3N4和β-C3N4的硬质相,复合膜的显微硬度HK=(50.5-54.1)GPa,它与高速钢基体的附着力,用划痕试验测... 本文采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳-氮化钛复合膜,经X射线衍射分析,复合膜中存在α-C3N4和β-C3N4的硬质相,复合膜的显微硬度HK=(50.5-54.1)GPa,它与高速钢基体的附着力,用划痕试验测得临界载荷Lc=(40-80)N,多种刀具试用证实,该涂层具有很高的耐磨性,与未涂层和镀TiN的刀具相比,大幅度提高了刀具的耐用度。 展开更多
关键词 超硬涂层 氮化碳 超硬薄膜 高速工具钢 涂层刀具 电弧离子镀 dc反应磁控溅射
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在不同氮分压下用dc反应性粒子磁控油射法制备TiN膜
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作者 卫冰 《等离子体应用技术快报》 1997年第12期7-9,共3页
关键词 氮化钛膜 氮分压 dc反应性粒子磁控溅射
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