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题名间歇生长模式高甲烷浓度制备纳米金刚石膜
被引量：2
- 1
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作者
姜宏伟
彭鸿雁
陈玉强
祁文涛
王军
曲晏宏
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机构
牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室
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出处
《材料导报（纳米与新材料专辑）》
EI
2010年第1期67-70,共4页
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基金
黑龙江省教育厅2009科学技术研究面上项目(11541377)
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文摘
采用直流热阴极PCVD技术,经过生长温度的周期性调整,达到清除多余游离碳和刻蚀非金刚石相的目的,实现了在高甲烷浓度条件下制备纳米金刚石膜。金刚石膜的生长过程分为沉积阶段和刻蚀去除阶段,沉积时间为15min,刻蚀时间为5min,生长周期为20min,总的沉积时间为6h。采用拉曼光谱仪、SEM和XRD分析仪对样品进行了分析,结果显示样品具有纳米金刚石膜的基本特征。研究表明,在高甲烷浓度条件下,直流热阴极PCVD间歇生长模式可有效去除生长腔内的游离碳成分,实现正常放电激励,维持正常生长,制备出纳米金刚石膜。
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关键词
直流热阴极pcvd
高甲烷浓度
纳米金刚石膜
间歇式
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Keywords
dc hot-cathode pcvd, high methane concentration, nanocrystalline diamond film, intermittent deposition mode
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分类号
O613.71
[理学—无机化学]
TQ163
[理学—化学]
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题名不同氩气与氢气流量比对硼掺杂纳米金刚石膜的影响
被引量：1
- 2
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作者
姜兆炎
彭鸿雁
姜宏伟
尹龙承
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机构
牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2011年第5期91-94,共4页
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基金
黑龙江省自然科学基金项目(E200823)
黑龙江省科技攻关项目(GC06A213)
+1 种基金
黑龙江省教育厅重点科技项目(11551z016)
哈尔滨工业大学城市水资源与水环境国家重点实验室开放基金资助课题(QA200805)
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文摘
采用直流热阴极PCVD方法,以B(OCH3)3作为硼源,通过改变氩气与氢气流量比,在p型Si衬底上沉积了硼掺杂纳米金刚石膜。研究了不同氩气与氢气流量比对掺硼金刚石膜生长的影响。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、霍尔系统等对样品的形貌、结构和导电性能进行了表征。结果表明,随着氩气与氢气流量比的增加,膜的晶粒尺寸由微米级向纳米级转变,并且膜中非晶碳成分增多,膜的导电性能变好。
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关键词
直流热阴极pcvd
氩气
硼掺杂
纳米金刚石膜
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Keywords
dc hot-cathode pcvd
Ar
boron-doped
nanocrystalline diamond film
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名人工干预二次形核研究
- 3
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作者
姜宏伟
孔德贵
刘力
张艳萍
祁文涛
王军
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机构
牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室
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出处
《真空》
CAS
2013年第3期79-83,共5页
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基金
黑龙江省教育厅2009科学技术研究面上项目(项目编号:11541377)
牡丹江市科技攻关项目(项目编号:G2009g1023)
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文摘
采用直流热阴极PCVD技术,在CH4-H2气氛常规制备微米晶金刚石膜的参数条件下,通过人工干预实现二次形核,制备纳米晶金刚石膜。金刚石膜周期性生长过程分为沉积阶段和干预阶段,沉积阶段时间为20 min,干预阶段将沉积温度降低到600℃,时间为1 min,然后恢复到生长温度,一个生长周期为21 min,总的沉积时间为6 h。实验分为高、低气压和高、低温度的四种组合,并与连续生长模式进行了对比。采用拉曼光谱仪、SEM对样品进行了分析,除高气压和高温度条件外,其它三组实验的金刚石膜的1332 cm-1拉曼峰展宽明显、金刚石膜晶粒小于100 nm,样品都具有纳米晶特征。结果表明直流热阴极PCVD技术的人工干预方法,可以导致金刚石膜生长过程的二次形核行为发生,制备出纳米金刚石膜。
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关键词
人工干预二次形核
纳米金刚石膜
直流热阴极pcvd
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Keywords
second nucleation
manual intervetion
nanocrystalline diamond .film
dc hot-cathode pcvd
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分类号
O613.71
[理学—无机化学]
TQ163
[理学—化学]
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