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提拉单晶炉自动引晶技术的研究 被引量：2
1
作者 何晔 佘建军 +6 位作者 付昌禄 李金 宋晓佳 武欢 李海林 母江东 邓力 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第1期97-99,共3页
该文从人工引晶工艺流程入手,结合提拉法单晶炉已有技术和温度测控技术,使用计算机编程技术和传感器测量技术完成人工引晶的各项步骤,实现了提拉法单晶炉引晶技术的全自动化,从而实现真正意义上的全自动单晶炉。
关键词 提拉法单晶炉 引晶 提拉法(CZ) 红外测温 上称重
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水环式真空泵在直拉单晶炉上的应用
2
作者 施政 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期18-19,31,共3页
分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的整体性能。
关键词 直拉单晶炉 真空系统 水环式真空泵
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