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题名单晶炉保温与热屏优化的数值模拟与改造
被引量：6
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作者
耿博耘
刘锋
韩焕鹏
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机构
中国电子科技集团第四十六研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2014年第8期20-24,共5页
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基金
天津市青年基金项目(12JCQNJC01700):低缺陷
高均匀性直拉硅热场和工艺优化模拟的研究
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文摘
改进CG6000型单晶炉的热场,增加下保温碳毡和上保温罩,改一段式导流筒为三段式导流筒。通过CGsim模拟软件的晶体生长模拟,对比了改进前与改进后的热场,模拟分析指出改进后热场加热功率降低,熔体温场改善,晶体﹑熔体轴向的温度梯度均升高,拉晶速率提升。通过单晶生长实验,验证了热场功率的降低和等径拉速的提高,改善在等径生长的后期更为明显。
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关键词
直拉单晶炉改造
三段式导流筒
保温碳毡
保温罩
数值模拟
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Keywords
czochralski crystal furnace improvement
Three sections heat shield
Insulation carbon
Insulation cover
Numerical simulation
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分类号
TF806.9
[冶金工程—有色金属冶金]
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