期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
相位错动强度叠加光刻法
被引量：
1
1
作者
喻洪麟
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997年第8期707-709,共3页
本文提出一种新的光栅相位错动强度叠加光刻法．研制出了高质量的圆光栅，该方法同样适用于各种计量光栅的研制．
关键词
光栅刻划
相位错动
强度叠加
计量光栅
下载PDF
职称材料
题名
相位错动强度叠加光刻法
被引量：
1
1
作者
喻洪麟
机构
重庆大学光电精密机械研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997年第8期707-709,共3页
基金
国家自然科学基金
863计划基金
文摘
本文提出一种新的光栅相位错动强度叠加光刻法．研制出了高质量的圆光栅，该方法同样适用于各种计量光栅的研制．
关键词
光栅刻划
相位错动
强度叠加
计量光栅
Keywords
Grating
photolithography
Phase
dislocation
strength
superimposure
cylindric
honeycomb
lens
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
相位错动强度叠加光刻法
喻洪麟
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1997
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
