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RF磁控溅射制备N掺杂Cu_2O薄膜及光学特性研究 被引量:8
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作者 自兴发 杨雯 +2 位作者 杨培志 段良飞 张力元 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期1727-1731,共5页
利用射频(RF)磁控溅射沉积技术,采用Cu2O陶瓷靶作为溅射靶,在N2和Ar气的混合气氛下制备了Cu2O薄膜。通过改变衬底温度和N2流量,研究了RF磁控溅射沉积法对Cu2O薄膜的生长行为、物相结构、表面形貌及光学性能的影响。结果表明,衬底温度为... 利用射频(RF)磁控溅射沉积技术,采用Cu2O陶瓷靶作为溅射靶,在N2和Ar气的混合气氛下制备了Cu2O薄膜。通过改变衬底温度和N2流量,研究了RF磁控溅射沉积法对Cu2O薄膜的生长行为、物相结构、表面形貌及光学性能的影响。结果表明,衬底温度为300℃时,低N2流量(<12sccm)下沉积的薄膜结构为Cu2O和CuO的混合相,N2流量增大至12sccm时薄膜结构转变为单相的Cu2O;不同N2流量下制备的薄膜均呈现三维的结核生长模式,其表面粗糙度的均方根(RMS)值依赖于N2流量,低N2流量下薄膜表面粗糙度的RMS值随N2流量的增大而增大,高N2流量下,RMS值随N2流量的增大而减小,并在一定N2流量范围内趋于稳定;不同N2流量下制备的薄膜均在475nm附近出现发光峰,峰的相对强度随N2流量的增加而减弱,峰位随N2流量的增加出现蓝移,薄膜的光学带隙Eg约为(2.61±0.03)eV。 展开更多
关键词 cu2o薄膜 N2流量 衬底温度 光致发光(PL)谱
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FTO/TiO2/ZnO/Cu2O/Ag异质结电池的光电性能研究
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作者 袁斌霞 蔡晓东 +4 位作者 曹盛 王道累 朱瑞 韩清鹏 吴懋亮 《功能材料与器件学报》 CAS 2020年第1期52-57,共6页
由于氧化锌和氧化亚铜的材料安全无毒、制作成本低及环境友好等特点,ZnO/Cu2O异质结电池具有很广阔的发展前景。本文首先通过旋涂法制备了ZnO薄膜,然后以真空蒸镀法和热氧化法制备了Cu2O薄膜,采用SEM表征证明所得ZnO和Cu2O薄膜平整度较... 由于氧化锌和氧化亚铜的材料安全无毒、制作成本低及环境友好等特点,ZnO/Cu2O异质结电池具有很广阔的发展前景。本文首先通过旋涂法制备了ZnO薄膜,然后以真空蒸镀法和热氧化法制备了Cu2O薄膜,采用SEM表征证明所得ZnO和Cu2O薄膜平整度较高。最后使用真空蒸镀法制备Ag电极,组装完成了FTO/ZnO/Cu2O/Ag异质结电池。通过改变氧化亚铜的厚度来研究电池性能的变化规律,结果表明光电性能随着Cu2O的厚度增加而增加。为了进一步提高电池性能,加入了TiO2光吸收层,组装了FTO/TiO2/ZnO/Cu2O/Ag异质结电池。结果表明,TiO2光吸收层的加入提高了短路电流和开路电压。另外,该电池直接在空气中组装,组装工艺简单,具有推广价值。 展开更多
关键词 ZNo薄膜 cu2o薄膜 FTo/Zno/cu2o/Ag FTo/Tio2/Zno/cu2o/Ag 异质结电池
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通过氧化Cu膜制备Cu_2O薄膜 被引量:2
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作者 孙杰 高斐 +4 位作者 权乃承 晏春愉 张佳雯 郝培风 刘立慧 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期949-951,923,共4页
通过热蒸镀Cu膜并在空气中退火制备Cu2O薄膜,利用X射线衍射(XRD)、能量分散X射线谱(EDX)和原子力显微镜(AFM)研究了已沉积和不同温度退火薄膜的晶体结构、成份和表面形貌。结果表明,Cu膜在200℃退火30分钟可以得到具有单一成份的Cu2O薄... 通过热蒸镀Cu膜并在空气中退火制备Cu2O薄膜,利用X射线衍射(XRD)、能量分散X射线谱(EDX)和原子力显微镜(AFM)研究了已沉积和不同温度退火薄膜的晶体结构、成份和表面形貌。结果表明,Cu膜在200℃退火30分钟可以得到具有单一成份的Cu2O薄膜。四探针测量得到所制备的Cu2O薄膜电阻率为0.22Ωcm。用紫外可见光分光光度计(UV-vis)研究了Cu2O薄膜的光学特性,得出其光学带隙为2.4eV。 展开更多
关键词 cu2o薄膜 热蒸镀 cu 退火
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溅射功率对脉冲磁控溅射沉积Cu2O薄膜结构和光学性能的影响 被引量:2
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作者 自兴发 杨雯 +3 位作者 杨培志 彭柳军 邓双 宋肇宁 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期1003-1008,共6页
利用脉冲磁控溅射制备技术,采用单质金属铜靶作为溅射靶,在氧气(O2)和氩气(Ar)的混合气氛下,在石英玻璃衬底上制备了Cu2O薄膜。研究了溅射功率对脉冲反应磁控溅射沉积法在室温下对生长Cu2O薄膜结构、表面形貌及光学性能的影响。结... 利用脉冲磁控溅射制备技术,采用单质金属铜靶作为溅射靶,在氧气(O2)和氩气(Ar)的混合气氛下,在石英玻璃衬底上制备了Cu2O薄膜。研究了溅射功率对脉冲反应磁控溅射沉积法在室温下对生长Cu2O薄膜结构、表面形貌及光学性能的影响。结果表明,在O2、Ar流量比(O2/Ar)为30∶80的气氛条件下,在60~90 W的溅射功率范围内可获得〈111〉取向的Cu2O薄膜;薄膜的表面粗糙度的均方根值随溅射功率的增加而增大;薄膜的光谱吸收范围为300~670 nm,不同溅射功率下制备的薄膜均在430 nm附近出现明显的带边吸收,其光学带隙(Eg)在2.15~2.53 eV之间变化。 展开更多
关键词 cu2o薄膜 溅射功率 表面粗糙度 光学带隙
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衬底温度对Cu_2O薄膜结构和性能的影响 被引量:2
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作者 董国波 张铭 +5 位作者 王玫 李英姿 李朝荣 李华 黄安平 严辉 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期457-460,467,共5页
采用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了Cu2O薄膜。系统研究了衬底温度对薄膜结构、光学和电学性能的影响。XRD的结果显示,在所有衬底温度条件下均可得到单相的Cu2O结构,而且随着衬底温度由500 K升至800 K,薄膜表现出(111)择优取向的... 采用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了Cu2O薄膜。系统研究了衬底温度对薄膜结构、光学和电学性能的影响。XRD的结果显示,在所有衬底温度条件下均可得到单相的Cu2O结构,而且随着衬底温度由500 K升至800 K,薄膜表现出(111)择优取向的生长特点。电学和光学测试结果表明,室温电导率和光学带隙随着衬底温度的升高而增加,800 K制备的薄膜的带隙值最高约为2.58 eV。 展开更多
关键词 cu2o薄膜 电导率 光学带隙 衬底温度
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氧化亚铜薄膜的研究进展 被引量:2
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作者 董国波 张铭 +2 位作者 兰伟 董培明 严辉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A04期1499-1501,共3页
氧化亚铜(Cu2O)具有优越的光电性质,是一种具有广泛用途的材料,而且它的制备方法很多。结合最近的研究进展综述了Cu2O薄膜的制备方法与基本性质,分析了Cu2O薄膜研究开发现状,展望了Cu2O薄膜在太阳能电池应用方面的前景。
关键词 cu2o薄膜 转化效率 电导率 P-N结
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氧氩比及基底温度对脉冲磁控溅射Cu2O薄膜结构和光学性能的影响 被引量:1
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作者 自兴发 杨雯 +3 位作者 杨培志 段良飞 张力元 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1802-1807,共6页
利用脉冲磁控溅射制备技术,采用单质金属铜靶作为溅射靶,在氧气(O2)和氩气(Ar)的混合气氛下在石英玻璃基底上制备Cu2O薄膜,研究了O2和Ar流量比(O2/Ar)及基底温度对沉积的Cu2O薄膜结构、表面形貌及光学性能的影响。结果表明:在O2/Ar为30... 利用脉冲磁控溅射制备技术,采用单质金属铜靶作为溅射靶,在氧气(O2)和氩气(Ar)的混合气氛下在石英玻璃基底上制备Cu2O薄膜,研究了O2和Ar流量比(O2/Ar)及基底温度对沉积的Cu2O薄膜结构、表面形貌及光学性能的影响。结果表明:在O2/Ar为30∶80的气氛条件下,基底温度在室温(RT)和100℃时均可获得单相的Cu2O<111>薄膜;薄膜表面致密、颗粒呈球状,粗糙度的均方根(RMS)值随基底温度增加而增大;薄膜的光谱吸收范围为300~650 nm,紫外区吸收较强,可见光区吸收强度较弱,吸收强度隨基底温度的增加而增强,光学带隙(E g)随基底温度的增加而减小。 展开更多
关键词 脉冲磁控溅射 cu2o薄膜 氧氩比 基底温度 光学特性
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pH值和热处理对氧化亚铜薄膜结构和光学性能的影响 被引量:1
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作者 杨静静 张雪 +3 位作者 张晨纯 李秋旭 汪琼 王龙成 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2014年第4期406-412,共7页
在三电极电化学池中,以ITO透明导电玻璃作为工作电极,在硫酸铜-乳酸钠体系中采用恒电位电化学沉积法制备Cu2O薄膜,并讨论pH值和热处理对Cu2O薄膜结构和光学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD),场发射扫描电镜(FESEM)和紫外-可见光光谱仪(... 在三电极电化学池中,以ITO透明导电玻璃作为工作电极,在硫酸铜-乳酸钠体系中采用恒电位电化学沉积法制备Cu2O薄膜,并讨论pH值和热处理对Cu2O薄膜结构和光学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD),场发射扫描电镜(FESEM)和紫外-可见光光谱仪(UV-vis)表征Cu2O薄膜物相结构、表面形貌以及光学性能。结果表明:沉积溶液的pH值和热处理均可提高Cu2O薄膜结晶性能,随着pH值的增加Cu2O薄膜的禁带宽度降低,热处理对Cu2O薄膜的禁带宽度影响不大。 展开更多
关键词 电化学沉积法法 cu2o薄膜 PH值 热处理 禁带宽度
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电沉积制备Cu_2O薄膜及其在光催化中的应用进展
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作者 姜震 王浩人 +1 位作者 陈丽铎 姬磊 《化学工程师》 CAS 2016年第1期50-54,共5页
制备Cu_2O薄膜的手段多种多样,其中电化学技术制备纳米Cu_2O具有制备流程短、能耗低、容易制备面积较大的薄膜等优点而备受关注。众所周知,催化剂的形貌与其催化性能有着密切的联系。因此,控制Cu_2O的形貌合成对提高其光催化性能具有深... 制备Cu_2O薄膜的手段多种多样,其中电化学技术制备纳米Cu_2O具有制备流程短、能耗低、容易制备面积较大的薄膜等优点而备受关注。众所周知,催化剂的形貌与其催化性能有着密切的联系。因此,控制Cu_2O的形貌合成对提高其光催化性能具有深远的意义。本文综述了采用电化学法制备纳米氧化亚铜的工艺条件、影响因素、形成机理对Cu_2O薄膜形貌的调控作用及其对光催化性能的影响,并指出现阶段研究存在的不足和以后的研究方向与趋势。 展开更多
关键词 cu2o薄膜 电沉积 光催化 形貌 机理
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n型氧化亚铜薄膜的制备及其光电化学特性 被引量:1
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作者 赵翀 文圆 +2 位作者 邹苑庄 文思逸 胡飞 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期26-31,共6页
采用三电极系统在硫酸铜-乳酸体系中电化学沉积法制备Cu2O薄膜,控制电沉积溶液的温度和pH得到n型Cu2O薄膜,并通过光电流(I-t)测试、莫特-肖特基(M-s)曲线测试薄膜的光电性能。结果表明当pH值为8.5~10时,成功地制备出了n型Cu2O薄膜,且当... 采用三电极系统在硫酸铜-乳酸体系中电化学沉积法制备Cu2O薄膜,控制电沉积溶液的温度和pH得到n型Cu2O薄膜,并通过光电流(I-t)测试、莫特-肖特基(M-s)曲线测试薄膜的光电性能。结果表明当pH值为8.5~10时,成功地制备出了n型Cu2O薄膜,且当电解液的pH值为8.5,温度为60℃时,n型Cu2O薄膜光电性能最佳。对Cu2O薄膜进行退火处理,有助于改善氧化亚铜薄膜的光电性能。在此基础上,我们对n型Cu2O薄膜进行不同离子掺杂。离子的掺杂能继续提高Cu2O薄膜的光电性能。其中当Cl-为40 mM条件下,Cu2O薄膜的光电化学性能最佳。 展开更多
关键词 n型cu2o薄膜 光电化学性能 离子掺杂
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电沉积法制备微纳米Cu2_O薄膜与催化降解亚甲基蓝研究 被引量:1
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作者 徐玲 张峰君 +3 位作者 徐海燕 吴世彪 王峰 李静 《安徽建筑工业学院学报(自然科学版)》 2012年第2期68-70,共3页
以硫酸铜和NaOH为原料、乳酸为络合剂,通过电沉积法在导电玻璃片上成功制备了微纳米Cu2O薄膜。采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计对其Cu2O薄膜结构及形貌进行了表征。在碘钨灯照射下和外加H2O2环境下,采用光度分... 以硫酸铜和NaOH为原料、乳酸为络合剂,通过电沉积法在导电玻璃片上成功制备了微纳米Cu2O薄膜。采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见分光光度计对其Cu2O薄膜结构及形貌进行了表征。在碘钨灯照射下和外加H2O2环境下,采用光度分析法考察了Cu2O薄膜对亚甲基蓝的催化降解情况。结果表明:不同电沉积时间的Cu2O薄膜的降解效果均较好,且在碘钨灯照射下3h的降解率达到97%以上。 展开更多
关键词 电沉积 氧化亚铜薄膜 光催化 降解 亚甲基蓝
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Cl掺杂对氧化亚铜薄膜载流子浓度及寿命的影响 被引量:4
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作者 文思逸 邹苑庄 +1 位作者 胡飞 文圆 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3361-3364,共4页
采用三电极体系在硫酸铜-乳酸体系中电化学沉积法制备Cl∶Cu_2O薄膜,通过光电流(I-t)测试、莫特-肖特基(M-s)曲线测试、光电压衰减测试(V-t),研究Cl离子掺杂对氧化亚铜薄膜性能产生的影响。结果表明当p H值为8.5时,可以获得n型氧化亚铜... 采用三电极体系在硫酸铜-乳酸体系中电化学沉积法制备Cl∶Cu_2O薄膜,通过光电流(I-t)测试、莫特-肖特基(M-s)曲线测试、光电压衰减测试(V-t),研究Cl离子掺杂对氧化亚铜薄膜性能产生的影响。结果表明当p H值为8.5时,可以获得n型氧化亚铜。随着CuCl_2的加入,氧化亚铜薄膜的光电流密度先上升后下降。莫特-肖特基曲线测试的载流子浓度与光电流密度的趋势一致,当Cu Cl2为40 mmol/L时达到最高值,光电流密度为0.11 m A/cm2(较纯氧化亚铜提高了247.6%),载流子浓度为3.58×10^(19)cm^(-3)(较纯氧化亚铜的载流子浓度提高了2457%)。将光电压衰减测试结果进行拟合后发现在40 mmol/L Cu Cl_2溶液中得到的薄膜,其载流子的半衰期提高到了8.92 s,说明较纯氧化亚铜薄膜的光稳定性大大提高了。 展开更多
关键词 电化学掺杂 cu2o薄膜 载流子浓度 光稳定性 载流子寿命
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Cu/Al_2O_3复合薄膜的制备及其抗氧化性能 被引量:2
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作者 盛澄成 徐阳 +1 位作者 魏取福 乔辉 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期596-599,606,共5页
本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu/Al_2O_3复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线能谱仪(EDX)和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试,并与相同工艺条件下制备的纯C... 本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu/Al_2O_3复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线能谱仪(EDX)和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试,并与相同工艺条件下制备的纯Cu薄膜进行了对比分析。结果表明:与纯Cu薄膜结构的不稳定性相比,由于复合薄膜表层Al_2O_3薄膜的结构稳定性和致密性,Cu/Al_2O_3复合薄膜在保证高屏蔽性能的前提下,具有整体结构的稳定性,表现出了良好的抗氧化性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 cu/Al2o3复合薄膜 屏蔽效能 抗氧化性能
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H_(2)O_(2)热处理对Cu_(2)O薄膜结构及性能的影响
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作者 宋瑛 刘文峥 +3 位作者 毛永强 徐连升 牛珂 杨绍斌 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期129-134,共6页
采用电化学沉积法制备了Cu2O薄膜并对薄膜表面进行了不同温度的H2O2热处理。利用扫描电镜、X射线衍射仪、紫外-可见光透射谱仪和俄歇能谱仪研究了H2O2热处理对Cu2O薄膜的结构及光电性能的影响。结果表明:经过60℃的H2O2热处理10 min的... 采用电化学沉积法制备了Cu2O薄膜并对薄膜表面进行了不同温度的H2O2热处理。利用扫描电镜、X射线衍射仪、紫外-可见光透射谱仪和俄歇能谱仪研究了H2O2热处理对Cu2O薄膜的结构及光电性能的影响。结果表明:经过60℃的H2O2热处理10 min的样品其结晶性变好,薄膜表面被氧化,禁带宽度值从2.36 eV减小至2.27 eV,表明薄膜光吸收率增强,可提高太阳能电池光电转换效率。随着H2O2热处理时间的增加,薄膜表面均匀性和致密性降低,表明金字塔形貌逐渐被破坏。经过90℃的H2O2热处理10 min后样品的表面粗糙且存在微小的孔,随着处理时间的增加样品表面存在不规则隆起并产生凹坑和细孔,表明过高温度和过长时间的H2O2热处理会严重腐蚀Cu2O薄膜表面,破坏其结构。 展开更多
关键词 cu_(2)o薄膜 H_(2)o_(2)热处理 禁带宽度 光吸收
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