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铜铟镓硒薄膜太阳能电池的发展现状以及应用前景 被引量:31
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作者 庄大明 张弓 《真空》 CAS 北大核心 2004年第2期1-7,共7页
首先介绍了铜铟镓硒薄膜太阳能电池结构、性能特点以及目前在研究和生产过程中电池的制备方法和工艺;着重阐述了工业发达国家以及相应大公司在铜铟镓硒薄膜太阳能电池方面最新进展以及发展趋势,特别介绍了一些太阳能电池的实验室样品和... 首先介绍了铜铟镓硒薄膜太阳能电池结构、性能特点以及目前在研究和生产过程中电池的制备方法和工艺;着重阐述了工业发达国家以及相应大公司在铜铟镓硒薄膜太阳能电池方面最新进展以及发展趋势,特别介绍了一些太阳能电池的实验室样品和组件的最高光电转化效率。也对国内在此方面的研究做了简要介绍。文中最后探讨了我国发展铜铟镓硒太阳能电池的可行性和产业化前景。 展开更多
关键词 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 制备方法 光电转化效率 CIGS 电子束蒸发法 电镀法 磁控溅射法
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溅射沉积Cu膜生长的Monte Carlo模拟 被引量:14
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作者 刘祖黎 张雪锋 +1 位作者 姚凯伦 黄运米 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期83-87,114,共6页
在本文中,我们建立了一个较完整的基于动力学晶格蒙特卡罗方法的模拟薄膜生长的三维模型,利用该模型我们研究了溅射沉积条件下粒子的沉积角度、沉积速率以及入射能量对Cu膜生长的影响。模拟结果表明Cu膜表面粗糙度会随沉积角度和沉积速... 在本文中,我们建立了一个较完整的基于动力学晶格蒙特卡罗方法的模拟薄膜生长的三维模型,利用该模型我们研究了溅射沉积条件下粒子的沉积角度、沉积速率以及入射能量对Cu膜生长的影响。模拟结果表明Cu膜表面粗糙度会随沉积角度和沉积速率的增大而增大,而相对密度随之减小。模拟的薄膜的三维形貌显示,在薄膜的表面存在着柱状结构,这与实验是相符的。 展开更多
关键词 CARLO模拟 溅射沉积 蒙特卡罗方法 沉积速率 表面粗糙度 薄膜生长 三维模型 沉积条件 入射能量 模拟结果 相对密度 三维形貌 柱状结构 动力学 cu 增大 晶格 粒子
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铜铟镓硒薄膜太阳能电池的研究进展及发展前景 被引量:18
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作者 马光耀 康志君 谢元锋 《金属功能材料》 CAS 2009年第5期46-49,共4页
介绍了薄膜太阳能电池结构、性能特点以及目前在研究和生产过程中铜铟镓硒电池的制备方法;阐述了国内外在铜铟镓硒薄膜太阳能电池方面研究开发现状。最后探讨了铜铟镓硒太阳能电池存在的问题及今后研究方向。
关键词 铜铟镓硒 太阳能电池 薄膜
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Tribological properties and lubricating mechanisms of Cu nanoparticles in lubricant 被引量:17
4
作者 于鹤龙 许一 +3 位作者 史佩京 徐滨士 王晓丽 刘谦 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2008年第3期636-641,共6页
Wear and friction properties of surface modified Cu nanoparticles as 50CC oil additive were studied. The effect of temperature on tribological properties of Cu nanoparticles was investigated on a four-ball tester. The... Wear and friction properties of surface modified Cu nanoparticles as 50CC oil additive were studied. The effect of temperature on tribological properties of Cu nanoparticles was investigated on a four-ball tester. The morphologies, typical element distribution and chemical states of the worn surfaces were characterized by SEM, EDS and XPS, respectively. In order to further investigate the tribological mechanism of Cu nanoparticles, a nano-indentation tester was utilized to measure the micro mechanical properties of the worn surface. The results indicate that the higher the oil temperature applied, the better the tribological properties of Cu nanoparticles are. It can be inferred that a thin copper protective film with lower elastic modulus and hardness is formed on the worn surface, which results in the good tribological performances of Cu nanoparticles, especially when the oil temperature is higher. 展开更多
关键词 纳米颗粒 摩擦作用 润滑机械 薄膜 温度
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壳聚糖膜与Co(Ⅱ)、Ni(Ⅱ)、Cu(Ⅱ)复合物的IR光谱和XPS谱 被引量:10
5
作者 郝志峰 杨阳 +2 位作者 余坚 张耀芳 陈广新 《光谱实验室》 CAS CSCD 2003年第6期799-802,共4页
将壳聚糖制成膜后浸泡在含有金属离子 Cu( )、Co( )、Ni( )的溶液中制备得到相应的复合物。根据 IR光谱中官能团特征频率的位移和 XPS谱中元素结合能的变化 ,表明 Co( )、Ni( )、Cu( )与壳聚糖膜的吸附机理包括物理作用和化学吸附 ,其... 将壳聚糖制成膜后浸泡在含有金属离子 Cu( )、Co( )、Ni( )的溶液中制备得到相应的复合物。根据 IR光谱中官能团特征频率的位移和 XPS谱中元素结合能的变化 ,表明 Co( )、Ni( )、Cu( )与壳聚糖膜的吸附机理包括物理作用和化学吸附 ,其中化学吸附是通过壳聚糖表面部分 - NH2 提供孤对电子和金属离子形成了配位键。 展开更多
关键词 壳聚糖膜 Co(Ⅱ) Ni(Ⅱ) cu(Ⅱ) 复合物 IR光谱 XPS谱 红外光谱 X射线光电子能谱 金属离子 宫能团 特征频率 吸附机理 化学吸附
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铜表面BTA薄膜在强酸中耐蚀性的电化学阻抗研究 被引量:10
6
作者 王月 顾聪 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 1994年第4期311-317,共7页
用电化学阻抗法研究铜在强酸中添加BTA(苯并三唑)及铜表面预覆BTA薄膜后在强酸中的耐蚀行为和机理。研究表明:在强酸溶液中,BTA与二价铜离子形成不同配位数的Cu—BTA配合物,在硫酸中抑制阳极反应,在盐酸中抑制阴极... 用电化学阻抗法研究铜在强酸中添加BTA(苯并三唑)及铜表面预覆BTA薄膜后在强酸中的耐蚀行为和机理。研究表明:在强酸溶液中,BTA与二价铜离子形成不同配位数的Cu—BTA配合物,在硫酸中抑制阳极反应,在盐酸中抑制阴极反应。在铜表面预覆BTA薄膜,对铜有更好的防蚀保护性能。 展开更多
关键词 电化学阻抗 苯并三唑 涂覆 防腐 薄膜
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纳米压痕法测量Cu膜的硬度和弹性模量 被引量:9
7
作者 黎业生 汪伟 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1098-1102,共5页
利用纳米压痕技术对沉积在Si衬底上1μm厚Cu膜的硬度H和弹性模量E进行了测量.结果表明,由单一刚度测量(SSM)和连续刚度测量(CSM)2种方法测得的E值基本一致.然而由于Cu膜的室温蠕变行为显著,用SSM方法测得薄膜的H值显著小于用CSM方法测得... 利用纳米压痕技术对沉积在Si衬底上1μm厚Cu膜的硬度H和弹性模量E进行了测量.结果表明,由单一刚度测量(SSM)和连续刚度测量(CSM)2种方法测得的E值基本一致.然而由于Cu膜的室温蠕变行为显著,用SSM方法测得薄膜的H值显著小于用CSM方法测得的H值.对加载曲线进行分析表明,在压入深度为528—587 nm时薄膜硬度显示基体效应,压入深度与薄膜厚度的比值与有限元计算结果吻合较好. 展开更多
关键词 纳米压痕 cu 硬度 弹性模量
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AlCrTaTiZrMo高熵合金氮化物扩散阻挡层的制备与表征 被引量:9
8
作者 李荣斌 李旻旭 +2 位作者 蒋春霞 李炳毅 李倩倩 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期125-129,166,共6页
目的制备15 nm的(AlCrTaTiZrMo)N六元高熵合金氮化物薄膜,并对其扩散阻挡性能进行表征。方法使用直流磁控溅射设备在单晶硅上沉积(Al Cr Ta Ti Zr Mo)N高熵合金氮化物薄膜,然后在薄膜上沉积150 nm的Cu,形成Cu/(AlCrTaTiZrMo)N/Si结构。... 目的制备15 nm的(AlCrTaTiZrMo)N六元高熵合金氮化物薄膜,并对其扩散阻挡性能进行表征。方法使用直流磁控溅射设备在单晶硅上沉积(Al Cr Ta Ti Zr Mo)N高熵合金氮化物薄膜,然后在薄膜上沉积150 nm的Cu,形成Cu/(AlCrTaTiZrMo)N/Si结构。在600℃下,对该结构进行不同时间的退火处理,使用X射线衍射仪(XRD)、四探针测试仪(FPP)、原子力显微镜(AFM)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)研究薄膜成分及退火时间对薄膜组织结构、表面形貌、方块电阻的影响,研究其扩散阻挡性。结果高熵合金氮化物薄膜与基体Si和Cu的结合性较好。沉积态高熵合金氮化物薄膜为非晶结构,表面光滑平整,方块电阻阻值较低。在600℃下经1h退火后,薄膜仍为非晶结构,表面发生粗化。随着退火时间增加,5h退火后,结构中出现少量纳米晶,大部分仍为非晶,表面粗糙度增加。退火7 h后,结构没有发生变化,仍为非晶包裹纳米晶结构,Cu表面生成部分岛状物,方块电阻阻值仍然较低,且无Cu-Si化合物生成,证明(AlCrTaTiZrMo)N高熵合金氮化物薄膜在长时间退火处理后,仍能保持良好的铜扩散阻挡性。结论 15nm的(AlCrTaTiZrMo)N高熵合金氮化物薄膜在600℃下退火7h后,其非晶包裹纳米晶的结构能有效阻挡Cu的扩散,表现出了优异的热稳定性与扩散阻挡性。 展开更多
关键词 高熵合金 磁控溅射 扩散阻挡层 cu互连 退火 薄膜
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ZnS:Ag和ZnS:Cu的薄膜电致发光特性 被引量:4
9
作者 衣立新 侯延冰 +4 位作者 王晓峰 徐征 何大伟 王永生 徐叙瑢 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 2000年第6期570-572,575,共4页
:本文研究了 Zn S:Ag和 Zn S:Cu的电致发光性质。用磁控溅射镀膜机和电子束镀膜机 ,分别制备了以 Zn S:Ag和 Zn S:Cu为发光层的夹层结构薄膜电致发光器件 ,测量了电致发光光谱 ,研究了发光强度随电压、频率变化规律。结果表明 ,利用 Zn ... :本文研究了 Zn S:Ag和 Zn S:Cu的电致发光性质。用磁控溅射镀膜机和电子束镀膜机 ,分别制备了以 Zn S:Ag和 Zn S:Cu为发光层的夹层结构薄膜电致发光器件 ,测量了电致发光光谱 ,研究了发光强度随电压、频率变化规律。结果表明 ,利用 Zn S:Ag和 Zn S:Cu均可获得蓝色电致发光。 展开更多
关键词 平板显示 电致发光 薄膜 ZNS AG cu 硫化锌
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磁控溅射Cu膜的织构与残余应力 被引量:8
10
作者 赵海阔 雒向东 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期150-152,164,共4页
用磁控溅射工艺在不同沉积温度制备200 nm与2μm厚的Cu膜,并用X射线衍射仪(XRD)与光学相移方法测量薄膜织构与残余应力。结果表明,对于200 nm厚Cu膜,随着沉积温度T增加,晶粒取向组成几乎保持不变,薄膜具有较低拉应力且不断减小;而对于2... 用磁控溅射工艺在不同沉积温度制备200 nm与2μm厚的Cu膜,并用X射线衍射仪(XRD)与光学相移方法测量薄膜织构与残余应力。结果表明,对于200 nm厚Cu膜,随着沉积温度T增加,晶粒取向组成几乎保持不变,薄膜具有较低拉应力且不断减小;而对于2μm厚Cu膜,随着T增加,Cu〈111〉/Cu〈200〉晶粒取向组成比值急剧减小,薄膜具有较大的拉应力且不断减小。根据表面能、应变能及缺陷形成等机制对薄膜残余应力与织构的演化特征进行了分析。 展开更多
关键词 铜膜 织构 残余应力 沉积温度
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纳米Cu/多糖复合抗菌膜的制备与表征及其对冬枣黑斑病的防治效果 被引量:1
11
作者 徐悦 陈海艺 +2 位作者 周梦含 刘艺璇 郭红莲 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期125-133,共9页
本研究以明胶和海藻酸钠为成膜基质,采用共混法将绿色合成的纳米Cu掺入多糖膜液,采用流延法制备纳米Cu/多糖复合膜。通过场发射扫描电子显微镜、傅里叶变换红外光谱仪、热重分析仪、紫外-可见近红外分光光谱仪、质构仪以及电感耦合等离... 本研究以明胶和海藻酸钠为成膜基质,采用共混法将绿色合成的纳米Cu掺入多糖膜液,采用流延法制备纳米Cu/多糖复合膜。通过场发射扫描电子显微镜、傅里叶变换红外光谱仪、热重分析仪、紫外-可见近红外分光光谱仪、质构仪以及电感耦合等离子体质谱仪表征纳米Cu及纳米Cu/多糖复合膜的结构,探究薄膜的透光性、理化性能。测定膜的抗真菌活性,并应用到冬枣黑斑病防治,及测定薄膜Cu^(2+)迁移量。结果显示,绿色合成纳米Cu粒径约为44 nm,明胶/海藻酸钠薄膜可作为纳米Cu的优良载体。并且复合膜具有良好的热稳定性、阻隔性和机械性能。此外探究不同质量浓度纳米Cu/多糖复合膜对链格孢菌、镰刀孢菌及灰霉的抑菌性能,最高抑菌率分别为87.80%、77.73%、81.96%,具有良好的抗真菌效果及广谱性。其中对链格孢菌生物量的半抑制浓度为0.25 g/L,在贮藏10 d时,该质量浓度纳米Cu/多糖复合膜对感染黑斑病冬枣的防治效果为52.53%,发病率可有效降低53.16%,且Cu^(2+)迁移量为0.018 7 μg/mL。综上,本实验制备出了一种具有抗真菌活性生物可降解包装膜,为纳米Cu的应用提供了新思路,可为新型抗真菌保鲜材料开发提供理论依据。 展开更多
关键词 纳米cu 复合膜 抗真菌 冬枣 生物防治
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Corrosion Behaviours of Copper Alloy in Solutions Containing Na_2SO_4 and NaCl with Different Concentrations 被引量:6
12
作者 A.A.El-Meligi 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第6期549-551,共3页
Potentiodynamic polarisation, potential-time measurements, X-ray diffraction (XRD) and infrared spectroscopy (IR) have been used to investigate the effect of different concentrations of Na2SO4 in the absence and prese... Potentiodynamic polarisation, potential-time measurements, X-ray diffraction (XRD) and infrared spectroscopy (IR) have been used to investigate the effect of different concentrations of Na2SO4 in the absence and presence of NaCI, on the corrosion of Cu-alloy. The electrochemical measurements showed that the increase of Na2SO4 concentration led to increase the corrosion current density of Cu alloy and vice versa. The presence of NaCI shifted the potential to more cathodic potential, which had a great influence on the protectiveness of the Cu oxide layer formed on the surface in presence of Na2SO4. The spectrometric measurements indicated the constituents of the film formed on the alloy surface were mainly Cu2O, in addition to the oxides, NiO and Fe2O3, which were traced by XRD analysis. 展开更多
关键词 cu-alloy Polarisation X-ray diffraction NA2SO4 NACL Oxide film
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Cu对Zr-2.5Nb合金在500℃/10.3 MPa过热蒸汽中腐蚀行为的影响 被引量:7
13
作者 李强 梁雪 +3 位作者 彭剑超 余康 姚美意 周邦新 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期877-881,共5页
添加微量合金元素Cu的Zr-2.5Nb-xCu(x=0.2,0.5,质量分数,%)合金样品,经β相水淬、冷轧变形及580℃,50 h和620℃,2 h退火处理,在静态高压釜中进行500℃/10.3 MPa的过热蒸汽腐蚀实验.利用SEM和TEM研究了氧化膜截面的显微组织.结果表明,添... 添加微量合金元素Cu的Zr-2.5Nb-xCu(x=0.2,0.5,质量分数,%)合金样品,经β相水淬、冷轧变形及580℃,50 h和620℃,2 h退火处理,在静态高压釜中进行500℃/10.3 MPa的过热蒸汽腐蚀实验.利用SEM和TEM研究了氧化膜截面的显微组织.结果表明,添加少量Cu可以提高Zr-2.5Nb合金的耐腐蚀性能;合金的耐腐蚀性能与氧化膜中的柱状晶的生长及形态有关,添加合金元素Cu有利于提高锆合金氧化膜中柱状晶比例.并使柱状晶尺寸增大且排列有序,从而提高锆合金的耐腐蚀性能. 展开更多
关键词 Zr-2.5Nb合金 cu 腐蚀 氧化膜 显微组织
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熔石英表面铜膜污染物诱导损伤实验研究 被引量:7
14
作者 苗心向 袁晓东 +3 位作者 王海军 吕海兵 王成程 郑万国 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1483-1486,共4页
在熔石英元件表面溅射一层厚度小于10 nm的金属铜膜污染物,并测试元件的透过率。测试355 nm熔石英元件的激光损伤阈值,并用光学显微镜观测损伤形态。实验结果表明:污染后的熔石英元件的损伤阈值降低20%左右,元件表面的金属污染物薄膜经... 在熔石英元件表面溅射一层厚度小于10 nm的金属铜膜污染物,并测试元件的透过率。测试355 nm熔石英元件的激光损伤阈值,并用光学显微镜观测损伤形态。实验结果表明:污染后的熔石英元件的损伤阈值降低20%左右,元件表面的金属污染物薄膜经强激光辐照,在熔石英表面形成很多坑状微损伤,分布不均的热应力导致表面起伏,并有明显的烧蚀现象,导致基底损伤阈值下降。建立的光吸收和热沉积传输模型初步解释污染物膜层导致熔石英元件损伤的机理。 展开更多
关键词 熔石英 污染物 铜膜 表面损伤 损伤形貌 激光诱导损伤阈值
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磁控溅射300nm铜膜的电学性能研究 被引量:6
15
作者 雒向东 吴学勇 赵海阔 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期826-829,共4页
采用射频磁控溅射方法,在不同的基片温度Ts和偏压Us条件下淀积300 nm厚的Cu膜,用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、四点探针电阻测试仪,研究了薄膜的表面形貌和电阻率。结果表明:Cu膜的表面粗糙度和电阻率随工艺参数的改变而变化。随... 采用射频磁控溅射方法,在不同的基片温度Ts和偏压Us条件下淀积300 nm厚的Cu膜,用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、四点探针电阻测试仪,研究了薄膜的表面形貌和电阻率。结果表明:Cu膜的表面粗糙度和电阻率随工艺参数的改变而变化。随着Ts的升高,薄膜表面粗糙度Rrms与电阻率ρ均经历了先减小再增加的过程,在Ts<373 K时,表面扩散导致薄膜表面平滑,而当Ts>373 K时,晶粒长大诱导表面粗化;当Ts<673 K时,ρ随着Ts的增加而不断减小,但是,当Ts>673 K时,晶粒发生团聚而造成其几何形态和分布方式改变,进而导致ρ异常增加。随着Us的增加,Rrms呈现出先降低再增加的趋势,而ρ则逐渐递减。 展开更多
关键词 磁控溅射 铜膜 电阻率
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集成电路Cu金属化中的扩散阻挡层 被引量:4
16
作者 李幼真 周继承 陈海波 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期17-20,共4页
阐述了集成电路Cu互连中的技术难题,重点讨论了Cu的扩散问题,综述了扩散阻挡层的研究发展进程,重点介绍了当今研究较多的难熔金属、难熔金属氮化物及其三元结构阻挡层的最新进展情况。研究表明,阻挡层的阻挡性能与制备工艺、薄膜组分及... 阐述了集成电路Cu互连中的技术难题,重点讨论了Cu的扩散问题,综述了扩散阻挡层的研究发展进程,重点介绍了当今研究较多的难熔金属、难熔金属氮化物及其三元结构阻挡层的最新进展情况。研究表明,阻挡层的阻挡性能与制备工艺、薄膜组分及微观结构密切相关,其失效机制多为高温下阻挡层晶化所产生的晶界为Cu扩散提供了快速通道,掺入Si或其它原子的难熔金属氮化物由于其较高的晶化温度和良好的阻挡性能正成为研究热点。 展开更多
关键词 扩散阻挡层 cu金属化 热稳定性 薄膜
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合金元素对耐酸钢耐蚀行为及表面缺陷的影响
17
作者 贾丽慧 侯明山 +2 位作者 张军国 汪云辉 信晓兵 《河北冶金》 2024年第2期22-26,共5页
耐酸钢具有比碳钢更强的耐酸性能,比耐酸不锈钢更低的合金成本,与涂镀产品相比又减少了电镀/热镀工序,在实际应用中体现出较大的应用价值。本文系统地介绍了合金元素对耐硫酸露点腐蚀钢耐蚀行为、表面质量的影响,对耐蚀钢实际生产中热... 耐酸钢具有比碳钢更强的耐酸性能,比耐酸不锈钢更低的合金成本,与涂镀产品相比又减少了电镀/热镀工序,在实际应用中体现出较大的应用价值。本文系统地介绍了合金元素对耐硫酸露点腐蚀钢耐蚀行为、表面质量的影响,对耐蚀钢实际生产中热轧表面缺陷产生原因进行了分析,并提出了有效改进措施。Cu、Sb、Sn、Cr元素的添加在耐硫酸腐蚀方面起着决定性作用,但是,Cu、Sb的选择性氧化会引起一系列表面质量问题,如“铜脆”和氧化铁皮色差,是工业生产的难题。研究发现,Ti能够以鳞片状富集在锈层内部,通过添加钛元素提高晶界密度;优化连铸工艺,避免铸坯在第三脆性区矫直开裂;缩短铸坯在加热炉时间、铸坯加热快速通过铜熔点区间和降低精除鳞温度等措施,在提高强度、有效消除“铜脆”缺陷的同时,还可以有效避免晶间腐蚀。在此基础上,探讨了微合金钛在耐酸钢中的作用及低成本耐酸钢的应用前景。认为,以Sn、Ti替代Sb,实现绿色环保生产,避免耐酸钢在使用过程中的全生命周期污染是新一代耐酸钢发展的趋势。 展开更多
关键词 合金 耐酸钢 cu TI 表面缺陷 钝化膜 铜脆
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EFFECT OF Ar PRESSURE ON STRUCTURAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF Cu FILMS DEPOSITED ON GLASS BY DC MAGNETRON SPUTTERING 被引量:4
18
作者 P. Wu F.P. Wang +2 位作者 L.Q. Pan Y. Tian H. Qiu 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第1期39-44,共6页
Cu films with thickness of 630-1300nm were deposited on glass substrates without heating by DC magnetron sputtering in pure Ar gas. Ar pressure was controlled to 0.5, 1.0 and 1.5Pa respectively. The target voltage was... Cu films with thickness of 630-1300nm were deposited on glass substrates without heating by DC magnetron sputtering in pure Ar gas. Ar pressure was controlled to 0.5, 1.0 and 1.5Pa respectively. The target voltage was fixed at 500V but the target current increased from 200 to 1150mA with Ar pressure increasing. X-ray diffraction, scanning electron microscopy and atomic force microscopy were used to observe the structural characterization of the films. The resistivity of the films was measured using four-point probe technique. At all the Ar pressures, the Cu films have mixture crystalline orientations of [111], [200] and [220] in the direction of the film growth. The film deposited at lower pressure shows more [111] orientation while that deposited at higher pressure has more [220] orientation. The amount of larger grains in the film prepared at 0.5Pa Ar pressure is slightly less than that prepared at 1.0Pa and 1.5Pa Ar pressures. The resistivities of the films prepared at three different Ar pressures represent few differences, about 3-4 times of that of bulk material. Besides the deposition rate increases with Ar pressure because of the increase in target current. The contribution of the bombardment of energetic reflected Argon atoms to these phenomena is discussed. 展开更多
关键词 cu film DC magnetron sputtering deposition Ar pressure structure reststivity
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叠层型Cu沉积TiO_2复合薄膜的制备及光学性能 被引量:6
19
作者 白爱英 梁伟 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期510-514,共5页
真空蒸镀法结合溶胶凝胶法成功地制备Cu-TiO23层复合结构薄膜。运用XRD,SEM,UV-vis等手段进行结构表征和光吸收性能测试。通过模拟可见光下制备样品对亚甲基蓝溶液降解率的变化,评定其光催化活性。结果表明:该法制备的复合结构薄膜,在... 真空蒸镀法结合溶胶凝胶法成功地制备Cu-TiO23层复合结构薄膜。运用XRD,SEM,UV-vis等手段进行结构表征和光吸收性能测试。通过模拟可见光下制备样品对亚甲基蓝溶液降解率的变化,评定其光催化活性。结果表明:该法制备的复合结构薄膜,在未热处理时真空蒸镀的金属层为单质Cu。在723 K热处理后,沉积的Cu被氧化主要以Cu2O的形式存在,而TiO2为单一的锐钛矿晶型。823 K保温2.0 h热处理后Cu2O进一步被氧化为CuO,同时出现了少量金红石型TiO2。由于Cu2O与CuO均为窄带隙的半导体,在可见光照射下会发生电子由价带向导带的跃迁,因此复合薄膜表现出明显的可见光吸收性能。降解实验的结果则表明:不同温度热处理后的复合薄膜均表现出较高的光催化活性,特别是723 K热处理后的复合薄膜样品可见光催化活性最好,在可见光照射5.0 h后对亚甲基蓝溶液降解率接近100%。分析其原因认为,p型的Cu2O和CuO与n型TiO2半导体接触后,在其界面形成了纳米异质结的结合,其p-n结的内建电场抑制了光生载流子的再复合,提高了量子产率,因此使复合薄膜表现出较高的光催化性能。 展开更多
关键词 铜沉积 复合薄膜 异质结 可见光催化活性
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离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究 被引量:4
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作者 范平 邵建达 +2 位作者 易葵 齐红基 范正修 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期943-947,共5页
利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率,运用哈德雷方程,并考虑基片后表面的影响,对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算。结果表明,在同一波长情况下,膜厚小于100 nm的纳米Cu膜光学常数随膜... 利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率,运用哈德雷方程,并考虑基片后表面的影响,对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算。结果表明,在同一波长情况下,膜厚小于100 nm的纳米Cu膜光学常数随膜厚变化明显;膜厚大于100 nm后,Cu膜的光学常数趋于一定值。Cu膜不连续时的光学常数与连续膜时的光学常数随波长变化规律不同;不同厚度的连续膜的光学常数随波长变化规律相同,但大小随膜厚变化而变化。 展开更多
关键词 薄膜光学 光学常数 铜膜 离子束溅射
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