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CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构
被引量：
6
1
作者
林松盛
代明江
+5 位作者
朱霞高
李洪武
侯惠君
林凯生
况敏
戴达煌
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期259-264,共6页
采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分...
采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分析证实,所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN结构相吻合;在梯度过渡中,不同层之间界面体现为渐变过渡过程;沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26.31GPa,膜/基结合力大于80N,摩擦因数低至0.113,力学性能优良。
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关键词
crtialcn
薄膜
磁控溅射
离子束辅助
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职称材料
磁控溅射法制备CrTiAlCN镀层中主要元素的化学态
被引量：
3
2
作者
胡鹏飞
蒋百灵
李洪涛
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期41-44,共4页
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅(111)衬底上沉积了CrTiAlCN镀层,研究了不同C靶电流CrTiAlCN物相组成,并分析了镀层中主要元素的化学态。X射线衍射分析表明,当C靶电流IC从0增大到2.4 A时,镀层由晶态向非晶态转变;X射线光电...
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅(111)衬底上沉积了CrTiAlCN镀层,研究了不同C靶电流CrTiAlCN物相组成,并分析了镀层中主要元素的化学态。X射线衍射分析表明,当C靶电流IC从0增大到2.4 A时,镀层由晶态向非晶态转变;X射线光电子能谱分析表明,碳元素主要以C-C、C-Cr和C-Ti键形式存在;N元素是主要以CrN、Cr2N和TiN的形式存在;Cr元素主要以CrN、Cr2N及CrCx的形式存在。
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关键词
磁控溅射
crtialcn
镀层
X射线衍射
X射线光电子能谱
碳键
原文传递
题名
CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构
被引量：
6
1
作者
林松盛
代明江
朱霞高
李洪武
侯惠君
林凯生
况敏
戴达煌
机构
广州有色金属研究院材料表面工程研究所
出处
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期259-264,共6页
基金
广东省技术创新基金资助项目(200503027)
文摘
采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分析证实,所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN结构相吻合;在梯度过渡中,不同层之间界面体现为渐变过渡过程;沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26.31GPa,膜/基结合力大于80N,摩擦因数低至0.113,力学性能优良。
关键词
crtialcn
薄膜
磁控溅射
离子束辅助
Keywords
crtialcn
thin films
unbalanced magnetron sputtering
ion beam assistance
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
磁控溅射法制备CrTiAlCN镀层中主要元素的化学态
被引量：
3
2
作者
胡鹏飞
蒋百灵
李洪涛
机构
西安理工大学材料科学与工程学院
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期41-44,共4页
基金
国家"863"科技攻关项目(2005AA33H010)
文摘
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅(111)衬底上沉积了CrTiAlCN镀层,研究了不同C靶电流CrTiAlCN物相组成,并分析了镀层中主要元素的化学态。X射线衍射分析表明,当C靶电流IC从0增大到2.4 A时,镀层由晶态向非晶态转变;X射线光电子能谱分析表明,碳元素主要以C-C、C-Cr和C-Ti键形式存在;N元素是主要以CrN、Cr2N和TiN的形式存在;Cr元素主要以CrN、Cr2N及CrCx的形式存在。
关键词
磁控溅射
crtialcn
镀层
X射线衍射
X射线光电子能谱
碳键
Keywords
magnetron sputtering
crtialcn
coating
XRD
XPS
carbon bond
分类号
TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]
原文传递
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出处
发文年
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1
CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构
林松盛
代明江
朱霞高
李洪武
侯惠君
林凯生
况敏
戴达煌
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
6
下载PDF
职称材料
2
磁控溅射法制备CrTiAlCN镀层中主要元素的化学态
胡鹏飞
蒋百灵
李洪涛
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
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