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磁控溅射制备CrMoAlN梯度薄膜的抗高温氧化性能
被引量：
1
1
作者
王宇星
楼白杨
+1 位作者
潘健
张侠
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第7期1403-1410,共8页
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积CrMoAlN梯度薄膜,并在静态空气中进行600、700、800、900℃的高温氧化实验。采用XRD、SEM、XPS、纳米压痕和划痕实验等研究,结果表明:CrMoAlN薄膜呈现与CrN相似的面心立方结构,...
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积CrMoAlN梯度薄膜,并在静态空气中进行600、700、800、900℃的高温氧化实验。采用XRD、SEM、XPS、纳米压痕和划痕实验等研究,结果表明:CrMoAlN薄膜呈现与CrN相似的面心立方结构,主要以CrN、AlN和γ-Mo_2N形态存在。经800℃氧化2 h后,CrMoAlN薄膜基本保持常温时的晶体结构与力学性能。随着氧化温度继续升高,薄膜表层的MoO3加速挥发,破坏由Cr_2O_3和Al_2O_3组成的致密氧化层,薄膜表面出现细小孔隙,薄膜氧化程度加剧。经900℃氧化2 h后,CrMoAlN薄膜的力学性能和膜/基结合强度均出现明显下降。
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关键词
Cr
MO
Al
n
梯度薄膜
磁控溅射
微观结构
高温氧化
下载PDF
职称材料
题名
磁控溅射制备CrMoAlN梯度薄膜的抗高温氧化性能
被引量：
1
1
作者
王宇星
楼白杨
潘健
张侠
机构
浙江工业大学材料科学与工程学院
出处
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第7期1403-1410,共8页
基金
浙江省自然基金资助项目(LY15E050017)~~
文摘
采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积CrMoAlN梯度薄膜,并在静态空气中进行600、700、800、900℃的高温氧化实验。采用XRD、SEM、XPS、纳米压痕和划痕实验等研究,结果表明:CrMoAlN薄膜呈现与CrN相似的面心立方结构,主要以CrN、AlN和γ-Mo_2N形态存在。经800℃氧化2 h后,CrMoAlN薄膜基本保持常温时的晶体结构与力学性能。随着氧化温度继续升高,薄膜表层的MoO3加速挥发,破坏由Cr_2O_3和Al_2O_3组成的致密氧化层,薄膜表面出现细小孔隙,薄膜氧化程度加剧。经900℃氧化2 h后,CrMoAlN薄膜的力学性能和膜/基结合强度均出现明显下降。
关键词
Cr
MO
Al
n
梯度薄膜
磁控溅射
微观结构
高温氧化
Keywords
crmoa
1
n
gradient
coating
mag
n
etro
n
sputteri
n
g
microstructure
high
temperature
oxidatio
n
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射制备CrMoAlN梯度薄膜的抗高温氧化性能
王宇星
楼白杨
潘健
张侠
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
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