钛合金表面离子束增强沉积的Cr和CrMo合金膜层及其性能 被引量：15

1

作者 唐长斌 刘道新 +3 位作者 朱晓东 田林海 文胜平 宗瑞磊 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期471-477,共7页

利用多功能离子束增强沉积(IBED)设备, 在Ti6Al4V钛合金表面制备Cr和CrMo合金膜层, 以提高钛合金表面的耐磨性能。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、辉光放电光谱仪和显微硬度计分析和测试了 IBED膜层的结构、形态、成分分布、硬度和... 利用多功能离子束增强沉积(IBED)设备, 在Ti6Al4V钛合金表面制备Cr和CrMo合金膜层, 以提高钛合金表面的耐磨性能。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、辉光放电光谱仪和显微硬度计分析和测试了 IBED膜层的结构、形态、成分分布、硬度和膜基结合强度的大小。利用球盘磨损试验机和电化学综合测试仪研究了IBED膜层的摩擦学性能和电化学腐蚀特性。结果表明, 利用IBED方法可以在难镀材料钛合金表面制备膜基结合强度高、结晶致密和晶粒尺寸达纳米级的高硬度Cr膜和CrMo合金膜层, 显著提高了钛合金表面的抗磨性能, 且膜层本身有很好的耐Cl-介质环境电化学腐蚀性能, 与钛合金基体之间有很好的接触腐蚀相容性。 展开更多

关键词 钛合金 离子束增强沉积 cr膜 crMo合金膜 磨损 腐蚀

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表面镀Cr膜锆合金的抗高温氧化性能研究 被引量：5

2

作者 张文 邱长军 +4 位作者 曾小安 王浩然 王晓婧 刘艳红 李怀林 《稀有金属与硬质合金》 CSCD 北大核心 2017年第6期71-75,共5页

采用多弧离子镀膜技术在锆合金表面制备了厚度约为12μm的Cr金属层,研究了镀Cr试样在1 200℃高温下的氧化行为及膜层与基体之间的结合力。SEM分析结果表明,多弧离子镀膜层厚度均匀,表面平整,膜基界面分明,但表面存在大量的微孔洞及大颗... 采用多弧离子镀膜技术在锆合金表面制备了厚度约为12μm的Cr金属层,研究了镀Cr试样在1 200℃高温下的氧化行为及膜层与基体之间的结合力。SEM分析结果表明,多弧离子镀膜层厚度均匀,表面平整,膜基界面分明,但表面存在大量的微孔洞及大颗粒。高温氧化实验结果表明,镀膜试样的抗高温氧化性能明显优于原始锆合金,在1 200℃下氧化2 400s后表面形成了大量的Cr_2O_3,其单位面积增重仅为原始锆合金的12%。划痕实验结果表明,镀膜试样可承受的临界载荷为18N,膜层与基体之间的结合性能良好。 展开更多

关键词 锆合金 cr膜 多弧离子镀 抗高温氧化性 膜基结合力

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WC直流磁控溅射法表面镀铬研究 被引量：2

3

作者 董志红 范洪远 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2005年第11期46-47,共2页

采用直流磁控溅射技术在WC微粒表面包覆一层Cr膜,通过光学显微镜和X射线衍射仪(XRD)观察分析Cr膜的厚度和粉末的成分,其结果表明:合理的工艺参数控制,可以获得厚3～5!m,均匀、完整的Cr膜,微粒中Cr的成分明显提高,这对WC微粒在高温工艺... 采用直流磁控溅射技术在WC微粒表面包覆一层Cr膜,通过光学显微镜和X射线衍射仪(XRD)观察分析Cr膜的厚度和粉末的成分,其结果表明:合理的工艺参数控制,可以获得厚3～5!m,均匀、完整的Cr膜,微粒中Cr的成分明显提高,这对WC微粒在高温工艺使用上,提高其磨损性能有很大的帮助。 展开更多

关键词 直流磁控溅射 WC微粒 cr膜

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两种离子束方法制备Cr膜的分析研究

4

作者 王治安 代海洋 黄宁康 《微细加工技术》 EI 2007年第1期32-35,50,共5页

在室温下,采用离子束溅射同时经100 keV Ar+离子轰击的动态离子束混合技术和采用离子束溅射技术这两种方法制备Cr膜,并用XPS,SEM及AES对薄膜的结构、表面形貌、薄膜与基体附着力的影响等进行分析对比。结果表明,与离子束溅射技术制备的C... 在室温下,采用离子束溅射同时经100 keV Ar+离子轰击的动态离子束混合技术和采用离子束溅射技术这两种方法制备Cr膜,并用XPS,SEM及AES对薄膜的结构、表面形貌、薄膜与基体附着力的影响等进行分析对比。结果表明,与离子束溅射技术制备的Cr膜相比较,动态离子束混合技术制备的Cr膜表面平滑,膜致密呈无气隙的柱状结构,且薄膜元素与基体元素混合形成的组分过渡层较宽,因而有效地提高了Cr膜的附着力。 展开更多

关键词 动态离子束混合 cr膜 附着力

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磁场非平衡状态对磁控管放电特性及Cr膜微观结构的影响

5

作者 文晓斌 李显 蒋百灵 《西安理工大学学报》 CAS 北大核心 2010年第1期71-76,共6页

通过采用不同磁场强度的磁铁获得了3种不同非平衡态的磁控管,采用单靶溅射模式于单晶硅衬底上制备了Cr膜。研究了不同磁场非平衡状态下磁控管的伏安特性,并对不同非平衡状态下溅射空间的磁场分布进行了模拟;采用扫描电镜和X射线衍射仪... 通过采用不同磁场强度的磁铁获得了3种不同非平衡态的磁控管,采用单靶溅射模式于单晶硅衬底上制备了Cr膜。研究了不同磁场非平衡状态下磁控管的伏安特性,并对不同非平衡状态下溅射空间的磁场分布进行了模拟;采用扫描电镜和X射线衍射仪分别对所沉积Cr膜的微观组织和晶体结构进行了观察和分析。结果表明:随着磁场非平衡度的降低,靶表面磁场趋于内敛,磁场对等离子体的约束能力n值由6.05增至20.24。不同磁场非平衡状态下获得的Cr膜均为沿Cr(110)面择优生长的柱状晶结构,磁场非平衡度的增大有利于镀层颗粒的细化及表面质量的改善,但致密性变化趋势相反。 展开更多

关键词 磁控溅射 磁场非平衡度 cr膜 伏安特性 微观组织

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离子束辅助沉积镍铬合金膜研究

6

作者 王益军 严诚 +2 位作者 邓光绪 李军国 杨玲 《咸阳师范学院学报》 2007年第4期18-20,共3页

分析了电子束沉积镍铬合金膜沉积的主要缺点,提出离子辅助电子束法沉积镍铬合金膜的新方法。利用氩离子辅助在微通道板表面沉积了镍铬合金膜,对比和分析了使用氩离子辅助沉积和电子束沉积薄膜的性质(附着力、致密性、表面电阻等)。结果... 分析了电子束沉积镍铬合金膜沉积的主要缺点,提出离子辅助电子束法沉积镍铬合金膜的新方法。利用氩离子辅助在微通道板表面沉积了镍铬合金膜,对比和分析了使用氩离子辅助沉积和电子束沉积薄膜的性质(附着力、致密性、表面电阻等)。结果表明,使用250eV的氩离子源辅助沉积的镍铬合金膜附着力好、结构致密、表面电阻低。 展开更多

关键词 离子束辅助沉积 微通道板 Ni-cr膜 附着力

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基于高功率脉冲磁控溅射的Cr膜层研究进展

7

作者 丁啸云 张津 +2 位作者 田修波 吴忠振 连勇 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期56-69,共14页

Cr膜层因其优异的耐高温、耐腐蚀和耐磨损性能,在航空航天、武器装备和核电能源等领域得到广泛应用。由于传统电镀硬铬技术具有一定的污染,人们一直致力于寻找一种无污染的高性能Cr膜层制备方式。具备清洁特性的物理气相沉积技术,尤其... Cr膜层因其优异的耐高温、耐腐蚀和耐磨损性能,在航空航天、武器装备和核电能源等领域得到广泛应用。由于传统电镀硬铬技术具有一定的污染,人们一直致力于寻找一种无污染的高性能Cr膜层制备方式。具备清洁特性的物理气相沉积技术,尤其是具有高离化率和高结合力特点的高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术现已成为膜层研究领域的热点。介绍HiPIMS-Cr靶的放电特性,指出在Cr膜沉积过程中获得高Cr离化率的条件;对比HiPIMS-Cr膜层与传统工艺(电镀硬铬、直流磁控沉积溅射、电弧混合溅射等)制备的Cr膜层在表面形貌、微观组织和力学性能等方面的差异,概述不同工艺组合对Cr膜层沉积速率的影响,探讨不同影响因素对HiPIMS-Cr膜层的微观组织、力学性能的影响及相关研究进展。最后对HiPIMS-Cr膜层制备及其应用研究的趋势进行展望。 展开更多

关键词 cr膜层 磁控溅射 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS) 组织 力学性能

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氨化温度对氨化Si基Ga_2O_3/Cr膜制备GaN纳米结构的影响 被引量：1

8

作者 王邹平 薛成山 +4 位作者 庄惠照 王英 张冬冬 黄英龙 郭永福 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期595-597,601,共4页

采用磁控溅射的方法在Si(111)衬底上溅射沉积Ga2O3/Cr膜,并通过氨化的方法在Si(111)衬底上成功合成了六方纤锌矿GaN纳米结构材料,研究了不同的氨化温度对合成GaN纳米材料的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子... 采用磁控溅射的方法在Si(111)衬底上溅射沉积Ga2O3/Cr膜,并通过氨化的方法在Si(111)衬底上成功合成了六方纤锌矿GaN纳米结构材料,研究了不同的氨化温度对合成GaN纳米材料的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、高分辨透射电子显微镜(HR-TEM)、傅里叶红外吸收(FTIR)光谱来检测样品的形态,结构和成分,并且讨论了GaN纳米结构的生长机理。研究结果表明,在Cr催化合成GaN纳米结构的过程中,氨化温度对其有重要影响,最佳温度是950℃。 展开更多

关键词 Ga2O3/cr膜 GAN纳米线 氨化温度 磁控溅射

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Co—Cr膜成分,微结构和垂直磁化间的关系

9

作者 武庆兰 潘国宏 《薄膜科学与技术》 1993年第4期271-276,共6页

关键词 Co-cr膜 微结构 垂直磁化膜

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CrN/Cr镀膜改性的H13钢摩擦学性能 被引量：5

10

作者 周庆刚 白新德 +4 位作者 徐健 马文军 王玉岭 任永岗 王殿儒 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期762-765,共4页

为提高AISIH13钢的硬度和耐磨性能,采用多弧离子镀(multi-arc)方法在H13钢表面沉积CrN/Cr双层膜。在600V直流负偏压下对样品表面进行氩离子轰击,随后沉积Cr中间层,采用3种不同的氮气分压,在200V直流负偏压下沉积CrN膜。SRV往复式摩擦磨... 为提高AISIH13钢的硬度和耐磨性能,采用多弧离子镀(multi-arc)方法在H13钢表面沉积CrN/Cr双层膜。在600V直流负偏压下对样品表面进行氩离子轰击,随后沉积Cr中间层,采用3种不同的氮气分压,在200V直流负偏压下沉积CrN膜。SRV往复式摩擦磨损实验及表面形貌分析显示,H13钢镀膜样品磨痕深度只有未镀膜样品的1/4,膜层的显微硬度可达HV=1684,高于未镀膜样品的HV=780。膜层的主要相成分是CrN、Cr2N和少量的Cr。 展开更多

关键词 H13钢 摩擦学 硬度 耐磨性能 多弧离子镀方法 crN/cr双层膜 镀膜改性 表面形貌

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电镀Cd层在海洋大气环境中的腐蚀行为研究 被引量：11

11

作者 李明 李敏伟 +1 位作者 马英 傅耘 《装备环境工程》 CAS 2013年第1期33-37,共5页

通过自然暴露试验,研究了航空钢结构常用的电镀Cd层在我国南部热带海洋大气环境中的腐蚀行为。采用扫描电子显微镜(SEM)观察了电镀Cd层的表面微观结构和腐蚀形貌;采用电化学交流阻抗谱(EIS)表征了电镀Cd层在腐蚀介质中的表面细微结构及... 通过自然暴露试验,研究了航空钢结构常用的电镀Cd层在我国南部热带海洋大气环境中的腐蚀行为。采用扫描电子显微镜(SEM)观察了电镀Cd层的表面微观结构和腐蚀形貌;采用电化学交流阻抗谱(EIS)表征了电镀Cd层在腐蚀介质中的表面细微结构及其在自然暴露过程中的变化规律,分析了镀Cd层在海洋大气环境中的腐蚀过程和腐蚀机理。研究发现,电镀Cd层在海洋大气环境中的腐蚀主要包括含Cr钝化膜的局部破损和镀层本身的腐蚀两个方面,电镀Cd层的腐蚀产物膜能够有效抑制腐蚀扩展。相对于近海户外大气环境,海洋平台户外的高湿度和高盐分大气环境对含Cr钝化膜的穿透性更强,对镀Cd层的腐蚀更加严重。 展开更多

关键词 电镀Cd层 海洋大气 含cr钝化膜 腐蚀产物膜 交流阻抗谱

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不锈钢双极板电弧离子镀Cr_(1-x)N_x薄膜改性研究 被引量：9

12

作者 吴博 李红凯 +3 位作者 林国强 付宇 候明 衣宝廉 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1125-1129,共5页

用电弧离子镀方法在质子交换膜燃料电池(PEMFC)不锈钢双极板表面沉积一系列Cr_(1-x)N_x(x=0.28—0.50)改性薄膜,对薄膜的成分、相组成以及改性双极板的导电、耐蚀等性能进行了分析测试.结果表明,双极板的导电与耐蚀性能因沉积Cr_(1-x)N_... 用电弧离子镀方法在质子交换膜燃料电池(PEMFC)不锈钢双极板表面沉积一系列Cr_(1-x)N_x(x=0.28—0.50)改性薄膜,对薄膜的成分、相组成以及改性双极板的导电、耐蚀等性能进行了分析测试.结果表明,双极板的导电与耐蚀性能因沉积Cr_(1-x)N_x薄膜而显著提高,并且与薄膜的成分和相组成密切相关:当x值从0.28增加到0.50,薄膜由Cr+Cr_2N转变为Cr_2N,再转变为Cr_2N+CrN,最终变为CrN;当薄膜由单相组成时,双极板既导电又耐蚀、综合性能最好,与原始不锈钢相比,导电性能提高2个数量级以上,而耐蚀性能提高近3个数量级. 展开更多

关键词 质子交换膜燃料电池 cr-N膜 不锈钢双极板 电弧离子镀 接触电阻 耐蚀性能

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LY12铝合金表面多弧离子镀(Ti,Cr)N膜 被引量：4

13

作者 周兰英 李晋珩 郎平 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期286-289,共4页

研究在铝合金表面多弧离子镀(Ti,Cr)N膜的工艺可行性.利用正交试验确定最佳工艺参数,讨论靶材成分、沉积时间、偏压、氮气压力和弧电流对膜层性能和质量的影响,并对该膜层的耐蚀性能和摩擦学性能进行了研究.结果表明,铝合金表面可以沉积... 研究在铝合金表面多弧离子镀(Ti,Cr)N膜的工艺可行性.利用正交试验确定最佳工艺参数,讨论靶材成分、沉积时间、偏压、氮气压力和弧电流对膜层性能和质量的影响,并对该膜层的耐蚀性能和摩擦学性能进行了研究.结果表明,铝合金表面可以沉积(Ti,Cr)N膜.当靶材成分为w(Ti)=80%,w(Cr)=20%,沉积时间为30min,偏压为200V,氮气压力为3.0Pa,弧电流为75A时,可得到膜基结合力为44N,膜厚为1.77μm的(Ti,Cr)N膜. 展开更多

关键词 LY12铝合金 多弧离子镀 (Ti cr)N膜层

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Ni-Cr桥膜换能元直流激励下作用规律研究

14

作者 王科伟 段卜仁 +3 位作者 姜晓斌 李彤 黄金红 关文超 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期21-26,共6页

为了研究直流激励下Ni-Cr桥膜换能元的作用规律,采用磁控溅射法制备了一种多层复合结构的Ni-Cr桥膜换能元,并通过电压探头、光电传感器和红外热像仪获得了不同电流输入时换能元电压、光信号和表面温度随时间变化的特征曲线。结果表明:... 为了研究直流激励下Ni-Cr桥膜换能元的作用规律,采用磁控溅射法制备了一种多层复合结构的Ni-Cr桥膜换能元,并通过电压探头、光电传感器和红外热像仪获得了不同电流输入时换能元电压、光信号和表面温度随时间变化的特征曲线。结果表明:在低电流(I≤2.5A)输入下,Ni-Cr桥膜换能元的作用规律类似传统桥丝/桥带换能元的热传导作用规律;当输入电流增大至3.0A时,Ni-Cr桥膜换能元的作用规律转变为微对流作用规律;当Ni-Cr桥膜换能元并联热敏电阻后,热敏电阻的分流作用有效抑制了换能元温度的升高,提升了安全电流,但同时也抑制了桥区等离子体的形成,因而无法实现热传导向微对流作用规律的转换。 展开更多

关键词 Ni-cr桥膜 换能元 直流激励 热敏电阻 热传导 微对流

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氮气流量对(Ti,Al,Si,Cr)N超硬薄膜的结构与性能的影响 被引量：3

15

作者 王芳 黄维刚 赵海波 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期65-68,共4页

采用等离子增强磁控溅射技术(PEMC)在YG8硬质合金表面制备了(Ti,Al,Si,Cr)N超硬膜,研究了N2流量对膜层结构、成分、形态特征与性能的影响。结果表明,所得薄膜为面心立方结构,随N2流量增加,薄膜的晶体学取向由(111)晶面向(200)晶面转变... 采用等离子增强磁控溅射技术(PEMC)在YG8硬质合金表面制备了(Ti,Al,Si,Cr)N超硬膜,研究了N2流量对膜层结构、成分、形态特征与性能的影响。结果表明,所得薄膜为面心立方结构,随N2流量增加,薄膜的晶体学取向由(111)晶面向(200)晶面转变。薄膜表面呈现柱状晶形态,N2流量为70 sccm(标况mL/min)时,柱状晶尺寸最小,粗糙度最低。所得薄膜的硬度随N2流量的增加先增大后减小,N2流量为70 sccm时,达到最大值35.70 GPa。 展开更多

关键词 磁控溅射 (Ti AL SI cr)N膜 超硬膜 N2 流量

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利用遗传算法定量分析Ni/Cr多层膜俄歇深度谱 被引量：2

16

作者 李静 谭张华 +6 位作者 刘星星 陈颖琳 李豪文 杨浩 王昌林 王江涌 徐从康 《真空》 CAS 2021年第4期6-11,共6页

在MRI模型框架下,将遗传算法与卷积及TV-Tikhonov正则化反卷积方法结合,对Ni/Cr多层膜样品在旋转和非旋转条件下测量的俄歇(AES)深度谱进行了定量分析,确定了膜层间的界面粗糙度,重构的原始膜层结构与高分辨透射电镜测量的结果非常好的... 在MRI模型框架下,将遗传算法与卷积及TV-Tikhonov正则化反卷积方法结合,对Ni/Cr多层膜样品在旋转和非旋转条件下测量的俄歇(AES)深度谱进行了定量分析,确定了膜层间的界面粗糙度,重构的原始膜层结构与高分辨透射电镜测量的结果非常好的吻合。 展开更多

关键词 Ni/cr多层膜 深度剖析定量分析 MRI模型 遗传算法 TV-Tikhonov正则化方法 卷积 反卷积

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退火处理对Ni-Cr合金桥膜的影响 被引量：1

17

作者 彭志明 卢斌 +1 位作者 解瑞珍 申依林 《火工品》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期5-8,共4页

采用磁控溅射方法制备了厚度小于1μm的Ni-Cr桥膜(w_(Ni):80%,w_(Cr):20%),研究了退火处理对不同厚度桥膜的电阻和电阻温度系数的影响。结果表明:当桥膜厚度较大时,退火导致电阻温度系数明显增大;当桥膜厚度较小时,退火对电阻温度系数... 采用磁控溅射方法制备了厚度小于1μm的Ni-Cr桥膜(w_(Ni):80%,w_(Cr):20%),研究了退火处理对不同厚度桥膜的电阻和电阻温度系数的影响。结果表明:当桥膜厚度较大时,退火导致电阻温度系数明显增大;当桥膜厚度较小时,退火对电阻温度系数影响不大。 展开更多

关键词 Ni-cr桥膜 退火 电阻 电阻温度系数

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具有高耐蚀性和导电性的掺Cr类金刚石非晶碳的化学式解析 被引量：1

18

作者 吴爱民 王同 +2 位作者 王清 林国强 董闯 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期1-10,38,共11页

Cr掺杂的类金刚石非晶碳具有良好的导电性和耐腐蚀性,这对于燃料电池金属双极板涂层改性特别重要。使用团簇加连接原子模型对其非晶结构进行了详细解析,在该模型中,良好的玻璃形成材料由覆盖特征性最近邻团簇加上几个下一壳层原子的结... Cr掺杂的类金刚石非晶碳具有良好的导电性和耐腐蚀性,这对于燃料电池金属双极板涂层改性特别重要。使用团簇加连接原子模型对其非晶结构进行了详细解析,在该模型中,良好的玻璃形成材料由覆盖特征性最近邻团簇加上几个下一壳层原子的结构单元来表述。根据文献,在Cr掺杂的类金刚石非晶碳中占优势的团簇是Cr中心和C壳层的[Cr-C4]四面体团簇,然后将该团簇与适当的连接原子匹配,以满足电子轨道饱和原理。由此推导出了两个最优组成式,即[Cr-C4]CrC3(22.2%Cr)和[Cr-C4]Cr3C2(40%Cr),它们显示出良好的非晶态结构稳定性。实验结果显示,所提出的这两组化学组成的涂层材料兼具低电阻率(低至10-4Ω·cm)和优异的耐腐蚀性(腐蚀电流密度~10^-2μA/cm^2)。在sp2键含量和渗流理论的框架内讨论了导电和耐蚀的协同行为。这项工作验证了团簇加连接原子模型在具有高耐腐蚀性和高导电性的涂层材料成分设计中的可行性。 展开更多

关键词 金属双极板涂层 cr掺杂DLC膜 团簇加连接原子模型 电阻率

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电子元件、组件

19

《中国无线电电子学文摘》 1996年第4期42-49,共8页

关键词 电子元件 数字电位器 磁电阻 保护装置 铁磁共振 电子技术应用 浪涌吸收 cr多层膜 畴壁 中国科技大学

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扩散阻挡层与离子束轰击能量对Cu-Cr合金膜结合强度的影响

20

作者 宋忠孝 鞠新华 +1 位作者 徐可为 范多旺 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期4-6,共3页

用离子束辅助磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法分别在TiN、CrN扩散阻挡层上沉积了Cu-Cr合金膜.用滚动接触疲劳实验评价结合强度,结果发现:扩散阻挡层可明显提高结合强度;CrN上的Cu-Cr膜的结合强度最高;高能离子轰击得到的Cu-Cr合金膜... 用离子束辅助磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法分别在TiN、CrN扩散阻挡层上沉积了Cu-Cr合金膜.用滚动接触疲劳实验评价结合强度,结果发现:扩散阻挡层可明显提高结合强度;CrN上的Cu-Cr膜的结合强度最高;高能离子轰击得到的Cu-Cr合金膜具有更宽的过渡层而具有更高的结合强度. 展开更多

关键词 扩散阻挡层 Cu-cr合金膜 离子束辅助沉积

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