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基于FIB/SEM双束系统的原位、实时观测三点弯曲薄膜测试方法
被引量：
1
1
作者
刘兴光
张凯锋
周晖
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第11期351-357,共7页
目的需要直接测量薄膜的极限形变这一关键参数,来评价某种薄膜在一定服役载荷下的某种基体表面是否能胜任。方法借助聚焦离子束显微镜/扫描电子显微镜(FIB/SEM)双束显微分析测试系统,提出了一种在微米尺度下、原位进行三点弯曲薄膜测试...
目的需要直接测量薄膜的极限形变这一关键参数,来评价某种薄膜在一定服役载荷下的某种基体表面是否能胜任。方法借助聚焦离子束显微镜/扫描电子显微镜(FIB/SEM)双束显微分析测试系统,提出了一种在微米尺度下、原位进行三点弯曲薄膜测试的方法,同时可以进行实时观测与分析记录。之后,使用磁控溅射技术制备了具有强择优晶体生长取向的CrN薄膜和Cr/CrN多层薄膜,并使用上述三点弯曲测试方法对这两种薄膜进行了弯曲测试。结果CrN薄膜的极限形变量为(1.8±0.1)%,且其在原位三点弯曲试验中断裂前的变形类型为纯弹性形变,而不是塑性形变或者弹性/塑性混合形变。而Cr/CrN多层薄膜的极限形变达到了9.1%,是纯CrN薄膜的5倍,且对“预裂纹”等缺陷不敏感。结论将此测试方法与在微米尺度使用FIB测量薄膜残余应力的方法相结合,将可以有效地评估多种薄膜的形变能力及形变特性。所获得的薄膜相关性能数据,对于针对不同基体、不同使用工况(如不同的表面受力状态、变形状态等)的薄膜体系或结构的选择与设计,具有很好的指导意义。
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关键词
原位
三点弯曲
FIB/SEM双束系统
crn
薄膜
cr
/
crn
多层
薄膜
极限形变
下载PDF
职称材料
题名
基于FIB/SEM双束系统的原位、实时观测三点弯曲薄膜测试方法
被引量：
1
1
作者
刘兴光
张凯锋
周晖
机构
兰州空间技术物理研究所
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第11期351-357,共7页
基金
军委装发部装备预研领域基金(重点)(61409230603,61409220205)
重点实验室基金(HTKJ2018KL510003)。
文摘
目的需要直接测量薄膜的极限形变这一关键参数,来评价某种薄膜在一定服役载荷下的某种基体表面是否能胜任。方法借助聚焦离子束显微镜/扫描电子显微镜(FIB/SEM)双束显微分析测试系统,提出了一种在微米尺度下、原位进行三点弯曲薄膜测试的方法,同时可以进行实时观测与分析记录。之后,使用磁控溅射技术制备了具有强择优晶体生长取向的CrN薄膜和Cr/CrN多层薄膜,并使用上述三点弯曲测试方法对这两种薄膜进行了弯曲测试。结果CrN薄膜的极限形变量为(1.8±0.1)%,且其在原位三点弯曲试验中断裂前的变形类型为纯弹性形变,而不是塑性形变或者弹性/塑性混合形变。而Cr/CrN多层薄膜的极限形变达到了9.1%,是纯CrN薄膜的5倍,且对“预裂纹”等缺陷不敏感。结论将此测试方法与在微米尺度使用FIB测量薄膜残余应力的方法相结合,将可以有效地评估多种薄膜的形变能力及形变特性。所获得的薄膜相关性能数据,对于针对不同基体、不同使用工况(如不同的表面受力状态、变形状态等)的薄膜体系或结构的选择与设计,具有很好的指导意义。
关键词
原位
三点弯曲
FIB/SEM双束系统
crn
薄膜
cr
/
crn
多层
薄膜
极限形变
Keywords
in-situ
three-point bending
SEM/FIB dual-beam system
crn
films
cr
/
crn
multilayer films
cr
itical strain
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于FIB/SEM双束系统的原位、实时观测三点弯曲薄膜测试方法
刘兴光
张凯锋
周晖
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
1
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职称材料
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