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退火温度对钴铁氧体薄膜结构和性能的影响 被引量：3
1
作者 于桂洋 石敏 +7 位作者 蒋云志 苏海林 左如忠 许育东 伍光 王丽 庞志成 陈云帮 《金属功能材料》 CAS 2011年第2期37-41,共5页
采用溶胶-凝胶法结合匀胶旋涂工艺在复合基片(Pt/Ti/SiO2/Si)上制备了钴铁氧体(CoFe2O4)薄膜,利用XRD、SEM、VSM分析了薄膜的微结构以及磁性能,研究了不同退火温度对钴铁氧体薄膜的结构和磁性能的影响。结果表明,钴铁氧体在500℃时开始... 采用溶胶-凝胶法结合匀胶旋涂工艺在复合基片(Pt/Ti/SiO2/Si)上制备了钴铁氧体(CoFe2O4)薄膜,利用XRD、SEM、VSM分析了薄膜的微结构以及磁性能,研究了不同退火温度对钴铁氧体薄膜的结构和磁性能的影响。结果表明,钴铁氧体在500℃时开始形成尖晶石相。随着退火温度的增高,钴铁氧体晶粒逐渐长大,饱和磁化强度和矫顽力逐渐增强,到600℃时,尖晶石相已经非常明显,晶粒尺寸大小均一,饱和磁化强度和矫顽力分别为427.48 emu.cm-3和1224.11 Oe,当退火温度提高到700℃时,晶粒进一步长大,但是薄膜中出现反铁磁相α-Fe2O3,而且薄膜表面出现了气孔和晶粒大小不均匀等缺陷,导致饱和磁化强度和矫顽力下降。 展开更多
关键词 cofe2o4薄膜 退火温度 微结构 磁性
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射频溅射法制备的CoFe_2O_4薄膜结构及磁性能 被引量：2
2
作者 于永杰 杨成韬 +2 位作者 王磊 陈强 张亚磊 《磁性材料及器件》 CSCD 北大核心 2009年第6期19-21,54,共4页
采用射频溅射法在Si(001)基片上制备了CoFe2O4(CFO)薄膜,分别采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、振动样品磁强计(VSM)进行测试和分析。结果表明,随着退火温度的升高,晶粒逐渐增大,在600℃左右退火,晶粒长大受到抑制;Ms和Hc随退... 采用射频溅射法在Si(001)基片上制备了CoFe2O4(CFO)薄膜,分别采用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、振动样品磁强计(VSM)进行测试和分析。结果表明,随着退火温度的升高,晶粒逐渐增大,在600℃左右退火,晶粒长大受到抑制;Ms和Hc随退火温度的升高都是先增大后减小;薄膜晶粒大小和膜内晶格应力导致垂直膜面方向矫顽力大于平面方向矫顽力。在600℃退火,Hc⊥/Hc∥值达到了2.72,表明制备的CFO薄膜具有高度垂直各向异性。 展开更多
关键词 cofe2o4薄膜 退火 结构 磁性能
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溶胶-凝胶法制备钴铁氧体薄膜及温度对其磁性的影响 被引量：2
3
作者 严富学 赵高扬 刘和光 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期420-424,共5页
采用溶胶-凝胶法在单晶硅上制备了钴铁氧体薄膜。在不同温度下对样品进行了退火处理,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计(VSM)等分析了样品的物相组成、晶粒大小、表面形貌、样品厚度及... 采用溶胶-凝胶法在单晶硅上制备了钴铁氧体薄膜。在不同温度下对样品进行了退火处理,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和振动样品磁强计(VSM)等分析了样品的物相组成、晶粒大小、表面形貌、样品厚度及不同温度下的磁性能。结果表明:制备出的CoFe2O4薄膜为尖晶石结构,表面比较致密,平均晶粒尺寸20～50 nm。在173～400 K范围内,随着温度的升高,钴铁氧体薄膜的矫顽磁场逐步减小,而磁矩是先增加后减少,并对产生的原因进行了分析。 展开更多
关键词 cofe2o4薄膜 铁氧体 溶胶-凝胶法 磁性能
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电化学法制备的CoFe_2O_4薄膜
4
作者 付若鸿 钟智勇 +2 位作者 吴卫波 查杰 张怀武 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2008年第5期26-28,共3页
首先在硫酸盐溶液中由电镀法制备CoFe2合金薄膜,然后采用阳极氧化法在碱性溶液中氧化CoFe2合金薄膜制备CoFe2O4薄膜,再在空气气氛中、600℃退火3h。用原子分光光度计(AAS)法测量合金中Co2+、Fe2+的含量。由质量法测定铁钴合金薄膜的厚度... 首先在硫酸盐溶液中由电镀法制备CoFe2合金薄膜,然后采用阳极氧化法在碱性溶液中氧化CoFe2合金薄膜制备CoFe2O4薄膜,再在空气气氛中、600℃退火3h。用原子分光光度计(AAS)法测量合金中Co2+、Fe2+的含量。由质量法测定铁钴合金薄膜的厚度,研究了电镀CoFe2合金薄膜的工艺条件(电压、时间、温度)对CoFe2薄膜厚度的影响。分别用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(AFM)和振动样品磁强计(VSM)观测薄膜的相成分、表面形貌和磁性能。结果表明,制备的CoFe2O4薄膜具有尖晶石结构,退火促进了CoFe2O4薄膜的结晶,降低了饱和磁化强度,但增大了矫顽力。 展开更多
关键词 cofe2o4薄膜 电镀 薄膜结构 磁性能
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退火对溶胶-凝胶法CoFe_2O_4薄膜结构与磁性的影响
5
作者 解群眺 杨成韬 张亚磊 《磁性材料及器件》 CSCD 北大核心 2009年第6期28-30,43,共4页
采用溶胶-凝胶法在Si(001)基片上制备了CoFe2O4(CFO)薄膜,对样品进行不同温度的快速退火处理,并采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、振动样品磁强计(VSM)对薄膜进行微结构与磁性能分析。结果表明,薄膜退火温度在450℃及以上时生成... 采用溶胶-凝胶法在Si(001)基片上制备了CoFe2O4(CFO)薄膜,对样品进行不同温度的快速退火处理,并采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、振动样品磁强计(VSM)对薄膜进行微结构与磁性能分析。结果表明,薄膜退火温度在450℃及以上时生成无择尤取向的单一尖晶石相。随着退火温度上升,薄膜的晶化程度增高,Ms增大。650℃左右退火薄膜晶粒达到单畴临界尺寸,导致Hc随着退火温度的继续上升而逐渐下降。EDS分析表明,成膜后的化学计量比偏移很小。 展开更多
关键词 cofe2o4薄膜 溶胶-凝胶法 结构 磁性 成分
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CoFe2O4薄膜的制备及磁性研究
6
作者 吴钰涵 《科技尚品》 2016年第4期42-,共1页
采用溶胶凝胶旋涂法在LaNiO3-Si(100)衬底上制备不同厚度的CoFe2O4薄膜.分别用XRD、SEM和VSM对其结构和磁性进行分析.结果表明,随着厚度的增加,饱和磁化强度逐渐增强,n=8的样品饱和磁化强度达到了750emu/cm3.
关键词 cofe2o4薄膜 磁性
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