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生瓷片打孔机控制系统设计
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作者 司志宁 郝靖飞 《电子工业专用设备》 2024年第3期44-48,共5页
为了满足微电子核心设备日益迫切的国产化替代需求,同时达到降本增效的目的,提出了一种以某国产运动控制卡为核心的打孔机控制系统的设计方法,通过硬件结构设计、控制系统选型、控制软件设计和系统调试等多个方面提升运动控制效果,综合... 为了满足微电子核心设备日益迫切的国产化替代需求,同时达到降本增效的目的,提出了一种以某国产运动控制卡为核心的打孔机控制系统的设计方法,通过硬件结构设计、控制系统选型、控制软件设计和系统调试等多个方面提升运动控制效果,综合对比使用成本、软件控制、运行速度、打孔精度等多方面因素,验证了国产化控制系统方案的合理性。 展开更多
关键词 打孔机 共烧陶瓷 运动控制
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陶瓷共烧结极限电流氧气传感器 被引量:3
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作者 周明军 程迎国 +2 位作者 李慧颖 李凯 武强 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第8期97-99,共3页
利用陶瓷共烧结技术研制了一种极限电流氧气传感器。这种传感器为一体式结构,制作工艺与传统工艺相比,无需玻璃封接工艺,就能实现良好的性能,提高了产品的可靠性,并大大降低了制作成本。所制得的传感器敏感芯体尺寸为4mm×7 mm,厚... 利用陶瓷共烧结技术研制了一种极限电流氧气传感器。这种传感器为一体式结构,制作工艺与传统工艺相比,无需玻璃封接工艺,就能实现良好的性能,提高了产品的可靠性,并大大降低了制作成本。所制得的传感器敏感芯体尺寸为4mm×7 mm,厚度仅为0.4 mm,并形成一个厚度约为50μm的内腔室,扩散孔直径约10μm。传感器性能通过实验验证,功耗可以达到1.8 W以下,能够测量体积分数为0%~90%的氧气,响应时间低于10 s,测量误差在0.8%以内。 展开更多
关键词 氧气传感器 极限电流 陶瓷共烧结 扩散孔
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共烧陶瓷多层基板表面缺陷视觉检测方法研究 被引量:1
3
作者 颜学龙 李艳 《电子与封装》 2006年第12期13-16,共4页
介绍了共烧陶瓷多层基板自动光学检测系统中的计算机视觉检测识别的研究,重点介绍了基板图像的采集、预处理、缺陷图像的提取和分类识别方法等文中提出了一种基于多模板比较和链码跟踪识别的缺陷分类识别算法。实验表明,该算法运算简单... 介绍了共烧陶瓷多层基板自动光学检测系统中的计算机视觉检测识别的研究,重点介绍了基板图像的采集、预处理、缺陷图像的提取和分类识别方法等文中提出了一种基于多模板比较和链码跟踪识别的缺陷分类识别算法。实验表明,该算法运算简单,运行速度较快,故障识别率高。 展开更多
关键词 共烧陶瓷 视觉检测 图像采集 数学形态法 链码跟踪
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低温共烧结陶瓷(LTCC):特点、应用及问题 被引量:46
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作者 钟慧 张怀武 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2003年第4期33-35,42,共4页
与传统的封装技术相比,LTCC技术因其具有优良的高频特性、小线宽和低阻抗而倍受瞩目,现已迅速发展并应用于各领域。LTCC技术是将四大无源器件(电感L、电阻R、变压器T、电容C)和有源器件(晶体管、IC电路模块、功率MOS)集成在一起的混合... 与传统的封装技术相比,LTCC技术因其具有优良的高频特性、小线宽和低阻抗而倍受瞩目,现已迅速发展并应用于各领域。LTCC技术是将四大无源器件(电感L、电阻R、变压器T、电容C)和有源器件(晶体管、IC电路模块、功率MOS)集成在一起的混合集成技术。LTCC技术的应用可以取代目前的PCB板,使系统趋于小型化和稳定化。本文介绍LTCC技术的发展历史、研究现状、应用前景等,并着重介绍LTCC技术的分类、市场情况,也分析了LTCC技术的局限性。 展开更多
关键词 低温共烧结陶瓷(LTCC) 片式无源器件
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低温烧结Ca[(Li_(0.33)Nb_(0.67))_(0.7)Ti_(0.3)]O_(3-δ)陶瓷及其微波介电性能 被引量:20
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作者 童建喜 张启龙 +2 位作者 朱玉良 徐红梅 杨辉 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期859-861,共3页
采用锌硼硅玻璃作为烧结助剂实现了Ca[(Li0 33Nb0 6 7) 0 7Ti0 3]O3-δ陶瓷的低温烧结 ,研究了锌硼硅玻璃添加量对Ca[(Li0 33Nb0 6 7) 0 7Ti0 3]O3-δ陶瓷的烧结特性、微观结构和微波介电性能的影响。研究表明 :随着锌硼硅玻璃... 采用锌硼硅玻璃作为烧结助剂实现了Ca[(Li0 33Nb0 6 7) 0 7Ti0 3]O3-δ陶瓷的低温烧结 ,研究了锌硼硅玻璃添加量对Ca[(Li0 33Nb0 6 7) 0 7Ti0 3]O3-δ陶瓷的烧结特性、微观结构和微波介电性能的影响。研究表明 :随着锌硼硅玻璃添加量的增加 ,陶瓷体密度和介电常数迅速增加 ,而Q·f值下降。在 910℃的温度下 ,通过掺入 8wt%的锌硼硅玻璃 ,获得了介电性能较好的低温共烧陶瓷 ,其εr=36 94 ,Q·f=4 380GHz(3 35GHz)。 展开更多
关键词 锌硼硅玻璃 介电性能 低温共烧陶瓷 液相烧结
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低温共烧陶瓷技术及其应用 被引量:22
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作者 王睿 王悦辉 +1 位作者 周济 杜波 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期125-130,共6页
低温共烧陶瓷(low temperature co-fired ceramic,LTCC)技术是实现电子元件小型化、片式化的一种理想的封装技术,已成为电子元件集成的主要工艺方式,引起了人们的广泛关注。本文详细叙述了LTCC技术的特点、LTCC材料体系、国内外发展现... 低温共烧陶瓷(low temperature co-fired ceramic,LTCC)技术是实现电子元件小型化、片式化的一种理想的封装技术,已成为电子元件集成的主要工艺方式,引起了人们的广泛关注。本文详细叙述了LTCC技术的特点、LTCC材料体系、国内外发展现状以及LTCC技术在电子元件集成中的应用。认为利用LTCC技术来实现电源、有源和无源器件的一体化将是今后信息功能陶瓷发展的一个重要方向。我国应该抓住LTCC技术所面临的前所未有的发展机遇,大力开发具有自主知识产权的LTCC技术,整体提升我国在电子集成领域的技术水平和国际竞争力。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 电子元件集成 应用
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陶瓷基板研究现状及新进展 被引量:21
7
作者 陆琪 刘英坤 +2 位作者 乔志壮 刘林杰 高岭 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第4期257-268,共12页
近年来,电力机车、电动汽车和微波通信等行业发展迅速,系统所用的电子器件具有大功率、小尺寸、高集成和高频率等特点。为满足电子器件散热、密封和信号传输优良的需求,陶瓷基板以较高的热导率、与半导体材料相匹配的热膨胀系数、致密... 近年来,电力机车、电动汽车和微波通信等行业发展迅速,系统所用的电子器件具有大功率、小尺寸、高集成和高频率等特点。为满足电子器件散热、密封和信号传输优良的需求,陶瓷基板以较高的热导率、与半导体材料相匹配的热膨胀系数、致密的结构和较高的机械强度等特性得到广泛的应用。首先综述了不同陶瓷基板材料的性能、发展历史和新进展,分析了各自的优缺点;然后综述了陶瓷基板的制备工艺,对多层共烧陶瓷技术进行了详细介绍,并简述了陶瓷基板的应用;最后指出了陶瓷基板的研究方向和面临的挑战。 展开更多
关键词 电子封装 陶瓷材料 陶瓷基板 低温共烧陶瓷(LTCC) 高温共烧陶瓷(HTCC)
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低温共烧陶瓷(LTCC)工艺的研究 被引量:19
8
作者 吕琴红 李俊 《电子工业专用设备》 2009年第10期22-25,共4页
低温共烧陶瓷(LTCC)技术是近年发展起来的令人瞩目的整合组件技术,已经成为无源集成的主流技术,成为无源元件领域的发展方向和新的元件产业的经济增长点。叙述了低温共烧陶瓷技术(LTCC)的制备工艺以及未来应用前景。
关键词 低温共烧陶瓷 LTCC工艺 基板
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基于LTCC技术的蓝牙巴伦设计 被引量:18
9
作者 吴国安 徐勤芬 +1 位作者 汤清华 刘浩斌 《微波学报》 CSCD 北大核心 2007年第4期55-57,共3页
介绍了一种新型贴片式多层陶瓷巴伦。该巴伦是基于LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic,低温共烧陶瓷)技术设计的新型多层结构巴伦,采用独特的螺旋线宽边耦合带状线结构(SBCS),并且增加了端电容,极大地缩小了巴伦尺寸。设计... 介绍了一种新型贴片式多层陶瓷巴伦。该巴伦是基于LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic,低温共烧陶瓷)技术设计的新型多层结构巴伦,采用独特的螺旋线宽边耦合带状线结构(SBCS),并且增加了端电容,极大地缩小了巴伦尺寸。设计的巴伦频率范围为2.4~2.5GHz,具有尺寸小、插损低、平衡度好等优点,并且工艺敏感度低,可应用于蓝牙通讯系统。文章讨论了其小型化思路与方案,描述了所设计巴伦的3D结构,给出了设计仿真结果与实验结果,两者吻合较好。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷(LTCC) 巴伦 多层陶瓷 蓝牙
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LTCC多层微波互连基板布局布线设计及制造技术 被引量:13
10
作者 姜伟卓 严伟 谢廉忠 《电子工艺技术》 2000年第2期81-83,90,共4页
采用低温共烧陶瓷 (LTCC)技术制造多层微波互连基板 ,可以研制出高密度的T/R组件。讨论了多层基板中微带线和带状线的结构及其优化设计技术 ,介绍了制造工艺流程和关键工艺难点。
关键词 低温共烧陶瓷 微波互连基板 微带线 带状线
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小型化层叠式三维T/R组件 被引量:14
11
作者 万涛 王耀召 《太赫兹科学与电子信息学报》 2016年第5期758-762,共5页
三维收发(T/R)组件具有小型化、重量轻和可扩充等特点,成为T/R组件技术的重要发展方向之一。本文对一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的Ku波段小型化三维T/R组件进行了研究,通过分析优化组件的垂直微波互连技术、电路布局优化及无源等效模型,... 三维收发(T/R)组件具有小型化、重量轻和可扩充等特点,成为T/R组件技术的重要发展方向之一。本文对一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的Ku波段小型化三维T/R组件进行了研究,通过分析优化组件的垂直微波互连技术、电路布局优化及无源等效模型,设计出具有优良电性能(输出功率≥24.5 d Bm,接收增益大于≥25 d B,接收噪声系数≤3.5 d B)的小型化三维T/R组件。该组件利用LTCC高密度布线、球栅阵列(BGA)高密度连接优点,把组件设计成三层层叠结构,并且把部分芯片集成于"多功能芯片",进一步缩小了尺寸,单个组件尺寸为9.5 mm×9.5 mm×3.8 mm,有效实现了T/R组件的小型化。 展开更多
关键词 三维 T/R组件 层叠式 低温共烧陶瓷
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LTCC技术简介及其发展现状 被引量:14
12
作者 侯旎璐 汪洋 刘清超 《电子产品可靠性与环境试验》 2017年第1期50-55,共6页
低温共烧陶瓷(LTCC)是一种在低温条件(低于1 000℃)下将低电阻率的金属导体(如银、铜等)和陶瓷基体材料共同烧结而成的多层结构。LTCC技术最大的特点之一就是其实现了利用不同层来制作3D结构的可能性。随着技术的发展,对电子元器件和组... 低温共烧陶瓷(LTCC)是一种在低温条件(低于1 000℃)下将低电阻率的金属导体(如银、铜等)和陶瓷基体材料共同烧结而成的多层结构。LTCC技术最大的特点之一就是其实现了利用不同层来制作3D结构的可能性。随着技术的发展,对电子元器件和组件的性能和功能的要求越来越高,而对于产品的尺寸却要求其越来越小,LTCC技术恰好能满足这两方面的要求,因而其在微电子领域得到了广泛的应用。对LTCC的工艺流程、技术特点、应用领域和市场前景进行了介绍,以期对相关技术人员更加全面地了解LTCC技术有所帮助。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 艺流程 技术特点 应用领域
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低温共烧陶瓷——一种理想的微波材料 被引量:7
13
作者 李泊 潘凤娥 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第11期71-75,共5页
重点介绍了目前LTCC技术状态,MCM封装技术的发展,及低温陶瓷性能。使用Au,Ag,Cu等较低电阻率金属材料作导电材料,可以极大地降低插入损耗,并且介电常数比高温共烧陶瓷(HTCC)低,因此可以提高微波信号传输速率,减小信号延迟时间。在提高... 重点介绍了目前LTCC技术状态,MCM封装技术的发展,及低温陶瓷性能。使用Au,Ag,Cu等较低电阻率金属材料作导电材料,可以极大地降低插入损耗,并且介电常数比高温共烧陶瓷(HTCC)低,因此可以提高微波信号传输速率,减小信号延迟时间。在提高材料性能方面提出了一些建议和方法。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 微波材料 TCC技术 MCM封装
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多传输零点LTCC带通滤波器的设计与实现 被引量:12
14
作者 黄小晖 吴国安 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期957-961,共5页
提出了一种阻带具有多个传输零点的带通滤波器设计方法,基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术实现,可满足移动通信用滤波器小型化、高性能的要求。在电路设计中,通过改进滤波器谐振器结构,分别在阻带的低端近端、高端远端引入传输零点以提高带外... 提出了一种阻带具有多个传输零点的带通滤波器设计方法,基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术实现,可满足移动通信用滤波器小型化、高性能的要求。在电路设计中,通过改进滤波器谐振器结构,分别在阻带的低端近端、高端远端引入传输零点以提高带外抑制。借助三维仿真软件,进行指标、结构的仿真优化,设计并制作了一款尺寸为6 mm×3 mm×2 mm的LTCC滤波器,其中心频率f0=2.25 GHz,0.5 dB带宽不小于100 MHz,通带内损耗不大于1.8 dB,在1.33,1.78 GHz和二次谐波处均有传输零点。实测结果表明,该滤波器在阻带低端和二次谐波处有较好的抑制,因此其在移动通信系统中会有广泛应用。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 带通滤波器 传输零点 谐波抑制 移动通信系统
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LTCC工艺技术研究 被引量:10
15
作者 张丽华 张金利 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期810-812,共3页
叙述了LTCC技术的起源、特点及未来发展趋势。介绍了LTCC产品的种类、优越性及广阔的应用领域,对LTCC工艺技术中高精度金属化印刷技术和陶瓷高温共烧技术进行了深入研究,剖析了影响金属化印刷精度、导体表面粗糙度、LTCC基板翘曲度和陶... 叙述了LTCC技术的起源、特点及未来发展趋势。介绍了LTCC产品的种类、优越性及广阔的应用领域,对LTCC工艺技术中高精度金属化印刷技术和陶瓷高温共烧技术进行了深入研究,剖析了影响金属化印刷精度、导体表面粗糙度、LTCC基板翘曲度和陶瓷强度的工艺因素。并分析了如何根据产品布线特点来设计和优化印刷工艺参数、如何根据基板结构特点来设计和优化排胶曲线。通过大量的工艺试验和数据测试,结果表明,印刷压力影响金属化导体精度和表面粗糙度、烧结曲线排胶段升温速率影响LTCC基板翘曲度和陶瓷强度。 展开更多
关键词 低温共烧陶瓷 基板 印刷 烧结
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LTCC多层互连基板工艺及优化 被引量:10
16
作者 王浩勤 曾志毅 +1 位作者 尉旭波 徐自强 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期50-53,共4页
低温共烧陶瓷(LTCC)多层互连基板,具有可内埋无源元件、高频特性优良、IC封装基板、小型化等优点,在军事、宇航、汽车、微波与射频通信等领域得到了广泛应用,其制造技术,是MCM技术中的关键技术。该文介绍了LTCC基板的制造工艺、关键技... 低温共烧陶瓷(LTCC)多层互连基板,具有可内埋无源元件、高频特性优良、IC封装基板、小型化等优点,在军事、宇航、汽车、微波与射频通信等领域得到了广泛应用,其制造技术,是MCM技术中的关键技术。该文介绍了LTCC基板的制造工艺、关键技术及其优化。通过对关键工艺进行优化,获得了一套适合带腔体LTCC多层互连基板制作的工艺参数。并已成功研制出满足T/R组件微波电路性能要求的LTCC多层互连基板。 展开更多
关键词 互连电路 低温共烧陶瓷 多层 工艺优化 通孔填充
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表贴式MMIC高密度封装外壳微波特性设计 被引量:9
17
作者 徐利 曹坤 +1 位作者 李思其 王子良 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期152-156,196,共6页
基于高温共烧陶瓷(HTCC)工艺,研制了一款32根引脚方形扁平无引线封装(CQFN)型微波外壳,外形尺寸仅为5mm×5mm×1.4mm。该外壳采用侧面挂孔的方式实现微波信号从基板底部到外壳内部带状线和键合区微带线的传输,底部增加了密集阵... 基于高温共烧陶瓷(HTCC)工艺,研制了一款32根引脚方形扁平无引线封装(CQFN)型微波外壳,外形尺寸仅为5mm×5mm×1.4mm。该外壳采用侧面挂孔的方式实现微波信号从基板底部到外壳内部带状线和键合区微带线的传输,底部增加了密集阵列接地过孔以消除高密度引脚间的耦合。对制作的外壳进行了微波性能测试,在C波段内的插入损耗小于0.5dB,驻波比小于1.3,隔离度大于30dB。该小型化表贴陶瓷外壳适用于C波段的微波单片集成电路(MMIC)的高品质气密封装,且便于批量化生产。 展开更多
关键词 高温共烧陶瓷 方形扁平无引线封装 微波外壳 高密度封装 微波单片集成电路
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ZnO-B_2O_3-SiO_2玻璃对硅酸锌陶瓷结构与微波介电性能的影响 被引量:9
18
作者 程吉霖 余洪滔 +2 位作者 张文博 刘敬松 徐光亮 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1219-1223,共5页
研究了不同添加量的ZnO-B2O3-SiO2(ZBS)玻璃作为烧结助剂对硅酸锌陶瓷的结构及微波介电性能的影响。研究结果表明:添加ZnO-B2O3-SiO2玻璃的陶瓷烧结后其主晶相仍呈硅锌矿结构,并且硅酸锌陶瓷的烧结温度从1300℃降低到900℃。随着玻璃添... 研究了不同添加量的ZnO-B2O3-SiO2(ZBS)玻璃作为烧结助剂对硅酸锌陶瓷的结构及微波介电性能的影响。研究结果表明:添加ZnO-B2O3-SiO2玻璃的陶瓷烧结后其主晶相仍呈硅锌矿结构,并且硅酸锌陶瓷的烧结温度从1300℃降低到900℃。随着玻璃添加量的增加,陶瓷的介电常数(εr)和品质因数(Qf)呈逐渐降低的趋势,当玻璃添加量为20 wt%时,900℃保温2 h所制备的陶瓷具有较优良的微波介电性能:εr=6.85,Qf=31690 GHz,τf=-28×10-6/℃,在低温共烧陶瓷领域有着潜在的应用价值。 展开更多
关键词 Zn2SiO4 ZnO-B2O3-SiO2玻璃 低温共烧陶瓷 介电性能
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谐振环测量低温共烧陶瓷介电常数研究 被引量:8
19
作者 李殷乔 纪建华 +1 位作者 费元春 周建明 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2009年第S1期35-39,共5页
介绍了微带谐振环法测量低温共烧陶瓷介电常数的原理和计算方法,通过软件仿真分析了不同的谐振环耦合间距,线宽和接地孔对谐振环法计算和仿真结果的影响,分析表明应该使用较小的耦合间距,阻抗适中的线宽和足够小的接地孔间距,只有这样... 介绍了微带谐振环法测量低温共烧陶瓷介电常数的原理和计算方法,通过软件仿真分析了不同的谐振环耦合间距,线宽和接地孔对谐振环法计算和仿真结果的影响,分析表明应该使用较小的耦合间距,阻抗适中的线宽和足够小的接地孔间距,只有这样才能保证测量的准确性.最后给出了实际制作的谐振环测试电路尺寸,并由实际测试结果计算出4.48 GHz和21.975 GHz两个频点的相应介电常数分别为5.82和6.066,符合厂商给出5.9±0.2的范围,证明了该方法的可行性和准确性. 展开更多
关键词 谐振环 温共烧陶瓷 介电常数测量
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基于LTCC技术超小型宽带巴伦的设计与实现 被引量:8
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作者 戴永胜 李旭 朱丹 《微波学报》 CSCD 北大核心 2014年第1期51-54,共4页
介绍了一种基于LTCC(低温共烧陶瓷)技术的超小型宽带巴伦的设计与实现。该巴伦由Marchand微带巴伦改进而来,综合采用LTCC多层立体三维集成结构,螺旋线宽边耦合带状线结构(SBCS)和带状线末端电容加载技术来实现宽带巴伦的小型化。最终设... 介绍了一种基于LTCC(低温共烧陶瓷)技术的超小型宽带巴伦的设计与实现。该巴伦由Marchand微带巴伦改进而来,综合采用LTCC多层立体三维集成结构,螺旋线宽边耦合带状线结构(SBCS)和带状线末端电容加载技术来实现宽带巴伦的小型化。最终设计出了一款频带0.9~2.3GHz,尺寸仅为1.8mm×1.2mm×1.0mm,插损小,幅度平坦度好,相位一致性高,各项性能均优的宽带巴伦。讨论了该款巴伦的设计思路、工作原理、三维结构,最后给出了该款巴伦的仿真和测试结果,两者一致性较好。 展开更多
关键词 巴伦 低温共烧陶瓷(LTCC) 超宽带 小型化
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