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题名用微波有源传感测量塑料薄膜厚度
被引量：2
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作者
钟茂声
张照明
肖芬
吕文选
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机构
厦门大学
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出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
1993年第1期34-39,共6页
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文摘
频带反射腔控耿氏振荡器具有单调谐的特性,适于作为电量或非电量的有源传感器.本文介绍一种用于测量塑料薄膜厚度的腔控振荡器,频带反射腔用圆柱TE_(011)腔,工作在三公分波段,对于ε’_r≥2.0以上塑料薄膜,测量厚度的分辨率为±0.1μm,精度±0.75μm(开机半小时后,不进行零点校正),测量范围0～200μm.且可实现无接触测量,适于检验应用.
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关键词
有源传感
腔控振荡器
薄膜厚度
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Keywords
Active sensor
cavity controlled oscillator
Film thickness
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分类号
TM215.306
[一般工业技术—材料科学与工程]
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