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影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题
被引量：
1
1
作者
孙振路
张平伟
+2 位作者
吴晓波
胡红彦
刘秀军
《超硬材料工程》
CAS
2008年第4期11-13,共3页
直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用。文章通过研究金刚石膜的质量、衬底与膜的结合力、以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素。
关键词
cvd
金刚石膜
完整性
膨胀系数
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职称材料
题名
影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题
被引量：
1
1
作者
孙振路
张平伟
吴晓波
胡红彦
刘秀军
机构
河北省激光研究所
出处
《超硬材料工程》
CAS
2008年第4期11-13,共3页
文摘
直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用。文章通过研究金刚石膜的质量、衬底与膜的结合力、以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素。
关键词
cvd
金刚石膜
完整性
膨胀系数
Keywords
cvd
diamond
film
,
integrity
,
expansion coefficient
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题
孙振路
张平伟
吴晓波
胡红彦
刘秀军
《超硬材料工程》
CAS
2008
1
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