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氟碳法合成CF_(4)反应器结构及工艺条件优化的研究
1
作者 阙祥育 《当代化工研究》 2023年第5期152-154,共3页
针对氟碳法合成CF_(4)因反应剧烈、放热量大而存在的安全隐患及反应收率较低的问题,以氟碳反应器为研究对象,对影响反应器安全高效性的内部结构和影响反应收率的工艺参数进行了研究。根据现有反应器的结构缺陷对其进行改进,研究新型反... 针对氟碳法合成CF_(4)因反应剧烈、放热量大而存在的安全隐患及反应收率较低的问题,以氟碳反应器为研究对象,对影响反应器安全高效性的内部结构和影响反应收率的工艺参数进行了研究。根据现有反应器的结构缺陷对其进行改进,研究新型反应器的安全生产条件。结果表明,新型反应器可以在不使用抑爆剂的条件下实现安全高效生产,极大地降低了能耗和设备成本。通过单因素试验,研究了反应温度、反应压力和氟气流量对反应收率的影响。基于单因素试验结果和因素间的交互作用,进行了两因素三水平三重复试验和方差分析,以提升反应收率为目标对工艺参数进行优化,筛选出最优的工艺参数组合。以筛选出的最优工艺参数组合进行验证性试验,结果表明使用该工艺参数组合的反应收率为94.87%,单台反应器的CF_(4)产能为13.73kg·h^(-1)、每小时电耗为242.63kW·h,具有极高的经济价值。 展开更多
关键词 cf_(4) 氟碳法合成 反应器结构 工艺条件
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射频碳氟等离子提升环氧树脂沿面耐电性能的研究
2
作者 王晨旭 吴锡鹏 +5 位作者 刘孝平 郭前鑫 高春阳 谢坤 李文栋 张冠军 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期133-141,共9页
在绝缘系统中复合界面的沿面耐电强度远低于固体、气体或真空侧的击穿场强,这严重限制了电力设备的整体绝缘性能。表面氟化被证明是提升绝缘材料沿面耐电性能的有效手段,其中利用碳氟等离子体对绝缘材料进行表面氟化展现出独特的优势。... 在绝缘系统中复合界面的沿面耐电强度远低于固体、气体或真空侧的击穿场强,这严重限制了电力设备的整体绝缘性能。表面氟化被证明是提升绝缘材料沿面耐电性能的有效手段,其中利用碳氟等离子体对绝缘材料进行表面氟化展现出独特的优势。文中采用CF_(4)射频电容耦合等离子体(capacitively coupled plasma,CCP)对环氧树脂进行表面改性以提升其表面绝缘性能。利用单反相机和光谱仪诊断CCP的放电模式和活性粒子,建立一维流体仿真模型对其电子能量和密度进行分析。通过原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、表面电位衰减测量平台、表面电位扫描平台及真空闪络试验平台来评估样品的表面物理化学特性和沿面耐电性能。结果表明,CF_(4)CCP表面处理能在环氧树脂表面引入碳氟基团并促进表面形貌重整。经10 min处理后,样品的真空闪络电压可提高27.6%,C-F的强电负性和表面粗糙度的增加不仅有助于增加表面陷阱密度,抑制二次电子发射雪崩的发展,而且减轻了表面电荷积累,最终提高了环氧树脂的闪络电压。 展开更多
关键词 四氟化碳 射频电容耦合等离子体 表面改性 沿面耐电性能
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基于神经网络的高寒地区CF_(4)和SF_(6)/CF_(4)检测 被引量:1
3
作者 马汝括 董杰 +3 位作者 王雅湉 伊国鑫 丁祥浩 马乐 《中国电力》 CSCD 北大核心 2024年第3期103-112,共10页
高寒地区须携带多台仪器以满足3种不同量级SF_(6)气体中CF_(4)气体浓度的检测需求,现场运维效率低且仪器购置成本高。为此,首先设计了一种基于热释电检测技术的SF_(6)气体中CF_(4)气体浓度检测仪器,可自动选择不同的放大电阻以实现多量... 高寒地区须携带多台仪器以满足3种不同量级SF_(6)气体中CF_(4)气体浓度的检测需求,现场运维效率低且仪器购置成本高。为此,首先设计了一种基于热释电检测技术的SF_(6)气体中CF_(4)气体浓度检测仪器,可自动选择不同的放大电阻以实现多量程切换。然后提出了BP和PSO-BP2种神经网络温度-压力协同补偿模型,并通过搭建高效模拟实验平台为模型预测提供数据支撑,预测结果表明,PSO-BP神经网络优于BP神经网络。最后将PSO-BP神经网络温度-压力协同补偿模型内置于多量程检测仪器CF_(4)气体浓度检测仪器。模拟实验结果表明,该检测仪器在不同温度和压力下,小量程和大量程检测误差和重复性分别不超过±2%和1.6%,混合比量程下误差和重复性分别不超过±0.5%和0.2%,对高寒地区电网运维检修具有重要作用。 展开更多
关键词 cf_(4)气体浓度检测 热释电检测技术 高寒地区 三量程 PSO-BP神经网络模型 温度-压力协同补偿
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温度对SF_(6)/CF_(4)混合气体尖板放电特性的影响
4
作者 陈远东 郑宇 +3 位作者 孟辉 沈腾达 梁建 周文俊 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期61-68,共8页
气体绝缘电气设备使用SF_(6)/CF_(4)混合气体可以避免SF_(6)气体液化,适合在极寒地区应用。为获得设备内部存在尖端放电缺陷时SF_(6)/CF_(4)混合气体的绝缘性能受温度的影响,采用尖板电极模拟缺陷尖端放电,开展SF_(6)/CF_(4)混合气体在0... 气体绝缘电气设备使用SF_(6)/CF_(4)混合气体可以避免SF_(6)气体液化,适合在极寒地区应用。为获得设备内部存在尖端放电缺陷时SF_(6)/CF_(4)混合气体的绝缘性能受温度的影响,采用尖板电极模拟缺陷尖端放电,开展SF_(6)/CF_(4)混合气体在0.1~0.7 MPa气压范围和-50~20℃温度范围的工频放电实验。结果表明,不同温度下SF_(6)/CF_(4)混合气体的击穿电压随气压升高均出现先升高—再降低—再升高的驼峰趋势;但随着温度降低,驼峰峰值处的击穿电压随温度降低出现降低趋势,而在非驼峰峰值处的击穿电压随温度降低而基本不变。通过分析温度对电晕空间电荷的影响,解释了SF_(6)/CF_(4)混合气体的击穿电压在不同气压下受温度的影响机制。 展开更多
关键词 SF_(6)/cf_(4) 驼峰曲线 尖端放电 绝缘缺陷 温度效应
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电力环保型混合绝缘气体配气方法优化
5
作者 董杰 杨博 +2 位作者 伊国鑫 何海川 马乐 《中国电力》 CSCD 北大核心 2024年第6期102-109,共8页
目前电力系统环保型SF_(6)/CF_(4)混合绝缘气体在GIS设备上的配气成本较高,现场选择过充SF_(6)气体以保证其绝缘和灭弧性能,不符合使用该混合气体以实现环保和防液化的目的。为此,提出了基于单一质量流量控制器的环保型SF_(6)/CF_(4)混... 目前电力系统环保型SF_(6)/CF_(4)混合绝缘气体在GIS设备上的配气成本较高,现场选择过充SF_(6)气体以保证其绝缘和灭弧性能,不符合使用该混合气体以实现环保和防液化的目的。为此,提出了基于单一质量流量控制器的环保型SF_(6)/CF_(4)混合绝缘气体分时段交替配气优化方法。通过分时段交替配气即时混匀技术,分析并优化了源于共用气路管道残余气体导致的配气误差,研究了SF_(6)气体输出时间修正技术及最末时段时间再分配方法,进一步降低了充入气体混合比误差。模拟实验表明,该方法的即时混合比与24 h后混合比相对于目标值偏差均小于±0.5个百分点,符合DL/T 2243—2021标准要求。 展开更多
关键词 SF_(6)/cf_(4)混合气体 分时段交替配气 混合比误差控制 即时混匀
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温度对SF_(6)/CF_(4)气体间隙工频放电特性的影响 被引量:6
6
作者 陈远东 郑宇 +3 位作者 孟辉 李儒璋 梁建 周文俊 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期4169-4176,共8页
SF_(6)/CF_(4)混合气体具有低液化温度和高绝缘强度,主要应用于低温环境GIS等设备中,有必要研究低温环境下温度对SF_(6)/CF_(4)混合气体的工频放电的影响。为此开展了SF_(6)/CF_(4)混合气体在−50~20℃温度范围内的工频放电试验,得到了... SF_(6)/CF_(4)混合气体具有低液化温度和高绝缘强度,主要应用于低温环境GIS等设备中,有必要研究低温环境下温度对SF_(6)/CF_(4)混合气体的工频放电的影响。为此开展了SF_(6)/CF_(4)混合气体在−50~20℃温度范围内的工频放电试验,得到了稍不均匀电场中击穿电压随温度的变化,以及极不均匀电场中局放起始电压和击穿电压随温度的变化。在稍不均匀电场中,0.7 MPa 20%SF_(6)/80%CF_(4)混合气体的击穿电压随温度降低出现先下降再上升的变化趋势,而0.7 MPa 50%SF_(6)/50%CF_(4)混合气体的击穿电压随温度降低基本保持不变。在极不均匀电场中,0.7 MPa 20%SF_(6)/80%CF_(4)混合气体的尖端缺陷局放起始电压随温度降低而轻微降低,放电量和放电次数随温度降低呈增大趋势,但击穿电压随温度降低基本保持不变。研究结果对于指导SF_(6)/CF_(4)混合气体在低温下的绝缘设计具有参考意义。 展开更多
关键词 气体绝缘 气体放电 击穿特性 温度影响 SF_(6)/cf_(4)混合气体
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CF_(4)-GMET和G-PT处理对AR+AF涂层耐磨性能的影响
7
作者 陈立 郑学军 +3 位作者 贺楚才 黄乐 彭井泉 左滨槐 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期104-117,共14页
目的在兼顾涂层抗反射性和疏水性的前提下,通过强化抗反射(AR)多层复合膜系与抗指纹(AF)涂层之间的黏附力,提升复合涂层的机械耐久性能。方法采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积AR多层复合膜系,首创性地采用CF_(4)气体微刻蚀(CF_(4)-Gas Mi... 目的在兼顾涂层抗反射性和疏水性的前提下,通过强化抗反射(AR)多层复合膜系与抗指纹(AF)涂层之间的黏附力,提升复合涂层的机械耐久性能。方法采用磁控溅射法在玻璃衬底上沉积AR多层复合膜系,首创性地采用CF_(4)气体微刻蚀(CF_(4)-Gas Micro-etching Treatment,CF_(4)-GMET)与石墨等离子体(Graphite Plasma Treatment,G-PT),依次对AR膜系表面进行处理后,将AF试剂蒸镀附于AR层表面并冷却,即可得到具有超强耐磨性的AF/CF_(4)-GMET&G-PT SiO_(2)/AR抗反射疏水涂层。结果CF_(4)-GMET对AR表层SiO_(2)处理后,其表面“柱状尖峰”消失,得到低粗糙度针状表面,并增大了SiO_(2)与AF涂层的接触比表面积。G-PT处理大幅提高了表层SiO_(2)亲水性,从而使得SiO_(2)表面黏附功增大。经2道工艺处理后,SiO_(2)表面粗糙度降低,黏附功先降后升为最大值,蒸镀AF疏水涂层后界面结合最为稳定,耐磨性能显著增强。在负载为1000 g的钢丝绒摩擦10000次后,抗反射疏水涂层的水接触角(WCA)从117.7°下降至113.6°,磨损率仅为3.4%,耐磨性能极佳。结论对AR膜系表层SiO_(2)进行CF_(4)-GMET和G-PT处理,能显著提高抗反射疏水涂层的耐磨性能,而对光学透过率基本无影响。 展开更多
关键词 疏水性 cf_(4)气体微刻蚀 石墨等离子体处理 抗反射疏水涂层 耐磨性
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微水条件下SF6/CF_(4)混合气体中的低温沿面放电特性 被引量:1
8
作者 陶子林 郑宇 +1 位作者 周文俊 董旭柱 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期27-34,共8页
为了探究微水条件下SF_(6)/CF_(4)混合气体中的环氧树脂低温沿面闪络特性,开展0.2 MPa与0.4 MPa两个气压下50%SF_(6)/50%CF_(4)混合气体在不同温度和微水含量条件下的环氧树脂沿面放电试验。文中利用板—板电极模拟切向电场为主的准均... 为了探究微水条件下SF_(6)/CF_(4)混合气体中的环氧树脂低温沿面闪络特性,开展0.2 MPa与0.4 MPa两个气压下50%SF_(6)/50%CF_(4)混合气体在不同温度和微水含量条件下的环氧树脂沿面放电试验。文中利用板—板电极模拟切向电场为主的准均匀电场,通过计算和实验探究了微水含量的选取和控制方法,研究了温度和微水含量对50%SF_(6)/50%CF_(4)混合气体中准均匀电场沿面闪络的影响,研究发现:沿面闪络电压随温度降低呈先减小后稳定的变化规律,仅当试验气压为0.2 MPa且含水量为3000 ppm(1 ppm=1×10^(-6))时,沿面闪络电压随温度降低呈先增大后减小的规律;微水含量在300~3000 ppm范围内时,微水含量对气压为0.2 MPa和0.4 MPa的50%SF_(6)/50%CF_(4)混合气体中沿面闪络击穿场强的影响不大。试验可为低温下的GIS等设备的状态评估提供参考。 展开更多
关键词 SF6/cf_(4)混合气体 微水 低温 沿面闪络
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SF_(6)/CF_(4)混合绝缘气体局放后分解产物检测与分析
9
作者 程海飞 俞起 +3 位作者 陈皓哲 许晓艺 章言鼎 李雪琪 《安徽电气工程职业技术学院学报》 2023年第1期10-15,共6页
文章介绍了SF_(6)/CF_(4)混合气体和SF_(6)气体的局部放电试验,检测试验后的分解产物,通过分析分解产物组分和浓度的变化规律,初步得出了分解产物与局放故障之间的关系,为进一步开展混合气体分解产物特征组分变化与设备故障类型关系研... 文章介绍了SF_(6)/CF_(4)混合气体和SF_(6)气体的局部放电试验,检测试验后的分解产物,通过分析分解产物组分和浓度的变化规律,初步得出了分解产物与局放故障之间的关系,为进一步开展混合气体分解产物特征组分变化与设备故障类型关系研究奠定了基础。 展开更多
关键词 SF_(6)/cf_(4)混合气体 分解产物 特征组分
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低温SF_(6)/CF_(4)混气中绝缘子闪络电压的概率分布 被引量:2
10
作者 陈远东 郑宇 +4 位作者 孟辉 李儒璋 张海龙 梁建 周文俊 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期229-236,共8页
SF_(6)/CF_(4)混合气体主要应用于低温环境下的气体绝缘电气设备中,气固交界面是设备的绝缘薄弱环节,有必要研究低温环境下SF_(6)/CF_(4)混合气体中的绝缘子沿面闪络特性。文中首先分析了SF_(6)/CF_(4)混合气体的基本绝缘和液化特性,据... SF_(6)/CF_(4)混合气体主要应用于低温环境下的气体绝缘电气设备中,气固交界面是设备的绝缘薄弱环节,有必要研究低温环境下SF_(6)/CF_(4)混合气体中的绝缘子沿面闪络特性。文中首先分析了SF_(6)/CF_(4)混合气体的基本绝缘和液化特性,据此选择0.7 MPa 50%SF_(6)/50%CF_(4)混合气体进行-50~20℃温度范围内的圆柱形绝缘子沿面闪络试验,同时开展了0.5 MPa SF_(6)气体在-35~20℃温度范围内的对照试验。其次采用威布尔分布分析了沿面闪络电压的概率分布特性。发现SF_(6)/CF_(4)混合气体中的绝缘子沿面闪络电压服从威布尔分布,利用威布尔分布可反映不同累积概率下的闪络电压及其分散性,其特征闪络电压随温度降低呈先下降再上升最后再下降的变化趋势。建议0.7 MPa 50%SF_(6)/50%CF_(4)混合气体的最低使用温度不低于-40℃,该值低于0.5 MPa SF_(6)气体的最低使用温度建议值-35℃,研究结果对SF_(6)/CF_(4)混合气体在低温下的应用具有参考意义。 展开更多
关键词 SF_(6)/cf_(4) 气体绝缘 气体放电 沿面闪络 概率分布
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热态SF_(6)/CF_(4)击穿特性研究 被引量:3
11
作者 孙广雷 林莘 +4 位作者 夏亚龙 徐建源 庚振新 钟建英 赵晓民 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期65-70,共6页
热态介质折合临界击穿场强是判断开关设备弧后介质是否发生重击穿的依据,获取热态SF_(6)/CF_(4)的折合临界击穿场强,对于评估和优化SF_(6)/CF_(4)高压开关设备开断特性具有重要意义。文中采用质量作用定律计算压强为0.1~1.6 MPa下SF_(6)... 热态介质折合临界击穿场强是判断开关设备弧后介质是否发生重击穿的依据,获取热态SF_(6)/CF_(4)的折合临界击穿场强,对于评估和优化SF_(6)/CF_(4)高压开关设备开断特性具有重要意义。文中采用质量作用定律计算压强为0.1~1.6 MPa下SF_(6)/CF_(4)等离子体粒子组分含量,分析300~4000 K温度范围内混合气体50%SF_(6)/50%CF_(4)随温度变化过程。采用两项近似法求解玻尔兹曼方程,计算不同压强下热态SF_(6)/CF_(4)折合临界击穿场强(E/N)_(cr)随温度的变化关系。结果表明:温度低于1500 K时,(E/N)_(cr)几乎不变,约为268.3 Td(1 Td=1×10^(-21)Vm^(2));温度高于2000 K时,由于CF_(4)分解产物CF_(x)(x=1,2,3)的影响,混合气体(E/N)_(cr)高于纯SF_(6);随着温度的进一步升高,(E/N)_(cr)稳定在40 Td左右。最后计算了0.7 MPa下不同比例冷态SF_(6)/CF_(4)有效电离反应系数,并与文献值进行对比,验证文中计算方法和参数的有效性。 展开更多
关键词 热态SF_(6)/cf_(4) 质量作用定律 粒子组分 玻尔兹曼方程 折合临界击穿场强
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The current pulses characteristics of the negative corona discharge in SF_(6)/CF_(4)mixtures
12
作者 高青青 王小华 +4 位作者 Kazimierz ADAMIAK 杨爱军 刘定新 纽春萍 张嘉伟 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第2期119-130,共12页
This paper presents the results of numerical investigation of the current pulses characteristics in SF_(6)/CF_(4)mixtures for the negative point-plane corona discharge.The pressure and the temperature of gas mixtures ... This paper presents the results of numerical investigation of the current pulses characteristics in SF_(6)/CF_(4)mixtures for the negative point-plane corona discharge.The pressure and the temperature of gas mixtures are 0.4 MPa and 300 K,respectively.The CF_(4)content varies from20%to 80%.The 2D axisymmetric geometry with point-plane electrodes is investigated,and the three drift-diffusion equations are solved to predict the characteristics of the negative corona discharge.In addition,Poisson’s equation is coupled with the above three continuity equations to calculate the electric field.In order to calculate the electron impact coefficients,including the Townsend ionization and attachment coefficients,as well as the mobilities and diffusion coefficients for electrons,the two-term Boltzmann equation is solved.The characteristics of three ionic species at five stages of the first current pulse in 60%SF_(6)-40%CF_(4)and20%SF_(6)-80%CF_(4)mixtures are selected to discuss the development mechanism of current pulses.Moreover,the reduced electric field strengths at the corresponding time instants are presented to help understand the discharge process.The current waveform and the total number of three species are compared in all the cases to analyze the effects of the CF_(4)content on the discharge.The reduced electric field strength is also helpful in understanding the effects of CF_(4)content.When the CF_(4)content increases to 80%,the discharge is more intensive and the pulse frequency also increases. 展开更多
关键词 SF_(6)/cf_(4)mixtures negative corona discharge current pulses
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SF_(6)/CF_(4)气体绝缘设备气体泄漏率准确测试方法分析 被引量:2
13
作者 杨文良 王振中 +2 位作者 王琰 王琼 刘卓 《内蒙古电力技术》 2021年第2期28-31,共4页
针对目前气体绝缘设备气体泄漏率检测常用的扣罩法和局部包扎法存在检测准确度低、安装难度大、无法带电作业等问题,本文提出了一种适用于SF_(6)/CF_(4)气体绝缘设备气体泄漏率准确测试方法,在设备充气接口处安装检测元件,实时测取设备... 针对目前气体绝缘设备气体泄漏率检测常用的扣罩法和局部包扎法存在检测准确度低、安装难度大、无法带电作业等问题,本文提出了一种适用于SF_(6)/CF_(4)气体绝缘设备气体泄漏率准确测试方法,在设备充气接口处安装检测元件,实时测取设备内部的压力值和温度值,计算气体密度和泄漏率。该方法可有效排除气温和气室体积因素的干扰,提高气体泄漏率检测的准确度,且操作简单、拆卸方便,可作为日常监测方式,对SF_(6)/CF_(4)气体绝缘设备运行状态进行故障预测和报警。 展开更多
关键词 SF_(6)/cf_(4)气体 气体绝缘设备 气体泄漏率 精准检测
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Interface engineering of plasmonic induced Fe/N/C-F catalyst with enhanced oxygen catalysis performance for fuel cells application 被引量:2
14
作者 Xue Yin Ligang Feng +6 位作者 Wen Yang Yuanxi Zhang Haiyan Wu Le Yang Lei Zhou Lin Gan Shaorui Sun 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2022年第3期2138-2146,共9页
The low intrinsic activity of Fe/N/C oxygen catalysts restricts their commercial application in the fuel cells technique;herein,we demonstrated the interface engineering of plasmonic induced Fe/N/C-F catalyst with pri... The low intrinsic activity of Fe/N/C oxygen catalysts restricts their commercial application in the fuel cells technique;herein,we demonstrated the interface engineering of plasmonic induced Fe/N/C-F catalyst with primarily enhanced oxygen reduction performance for fuel cells applications.The strong interaction between F and Fe-N4 active sites modifies the catalyst interfacial properties as revealed by X-ray absorption structure spectrum and density functional theory calculations,which changes the electronic structure of Fe-N active site resulting from more atoms around the active site participating in the reaction as well as super-hydrophobicity from C–F covalent bond.The hybrid contribution from active sites and carbon support is proposed to optimize the three-phase microenvironment efficiently in the catalysis electrode,thereby facilitating efficient oxygen reduction performance.High catalytic performance for oxygen reduction and fuel cells practical application catalyzed by Fe/N/C-F catalyst is thus verified,which offers a novel catalyst system for fuel cells technique. 展开更多
关键词 interface engineering Fe/N/C catalyst cf_(4)plasma treatment three-phase microenvironment proton exchange membrane fuel cells
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基于金刚石钝化散热的栅区微纳尺度刻蚀研究
15
作者 李义壮 郭怀新 +2 位作者 郁鑫鑫 孔月婵 陈堂胜 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第3期309-314,共6页
片内热积累效应严重制约GaN器件向高功率密度应用发展,金刚石钝化散热结构的GaN器件热管控技术已成为目前研究重点,而金刚石栅区高精度刻蚀和控制是实现该热管理技术应用的关键工艺难点。因此,本文采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术,... 片内热积累效应严重制约GaN器件向高功率密度应用发展,金刚石钝化散热结构的GaN器件热管控技术已成为目前研究重点,而金刚石栅区高精度刻蚀和控制是实现该热管理技术应用的关键工艺难点。因此,本文采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术,以氮化硅作为刻蚀掩膜,对纳米金刚石薄膜进行栅区微纳尺度刻蚀工艺研究,系统分析了刻蚀气体、组分占比、射频功率等工艺参数对刻蚀速率的影响。结果表明,ICP源功率与氧气流量对刻蚀速率有增强作用,Ar与CF_(4)的加入对刻蚀过程具有调控作用。最终提出了基于等离子体刻蚀技术的高精度微纳尺度金刚石钝化薄膜刻蚀方法,对金刚石集成GaN器件热管理和金刚石高精度刻蚀技术具有重要的指导意义。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 ICP刻蚀 O_(2)/Ar/cf_(4) 刻蚀速率 热管理
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Enhancement of output power density in a modified polytetrafluoroethylene surface using a sequential O_(2)/Ar plasma etching for triboelectric nanogenerator applications
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作者 Teerayut Prada Viyada Harnchana +6 位作者 Anthika Lakhonchai Artit Chingsungnoen Phitsanu Poolcharuansin Narong Chanlek Annop Klamchuen Prasit Thongbai Vittaya Amornkitbamrung 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2022年第1期272-279,共8页
In this work,the surface modification using a two-steps plasma etching has been developed for enhancing energy conversion performance in polytetrafluoroethylene(PTFE)triboelectric nanogenerator(TENG).Enhancing surface... In this work,the surface modification using a two-steps plasma etching has been developed for enhancing energy conversion performance in polytetrafluoroethylene(PTFE)triboelectric nanogenerator(TENG).Enhancing surface area by a powerful O_(2) and Ar bipolar pulse plasma etching without the use of CF_(4) gas has been demonstrated for the first time.TENG with modified surface PTFE using a sequential two-step O_(2)/Ar plasma has a superior power density of 9.9 W·m^(-2),which is almost thirty times higher than that of a pristine PTFE TENG.The synergistic combination of high surface area and charge trapping sites due to chemical bond defects achieved from the use of a sequential O_(2)/Ar plasma gives rise to the intensified triboelectric charge density and the enhancement of power output of PTFE-based TENG.The effects of plasma species and plasma etching sequence on surface morphologies and surface chemical species were investigated by a field emission scanning electron microscopy(FESEM),atomic force microscopy(AFM),and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS).The correlation of surface morphology,chemical structure,and TENG performance was elucidated.In addition,the applications of mechanical energy harvesting for lighting,charging capacitors,keyboard sensing and operating a portable calculator were demonstrated. 展开更多
关键词 two-step plasma etching O_(2)and Ar plasma cf_(4)free triboelectric nanogenerator power output enhancement
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高寒地区高压断路器用SF_(6)/CF_(4)混合气体液化试验分析
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作者 杨文良 刘卓 +2 位作者 王振中 王琰 赵磊 《内蒙古电力技术》 2021年第3期28-31,共4页
内蒙古锡林郭勒地区某次气温骤降后,8台不同生产厂家的SF_(6)/CF_(4)混合气体断路器相继发生低气压告警或闭锁故障,现场开展了密封性能测试、SF_(6)分解物测试、密度表校验等诊断性试验,试验结果未见异常。之后对缺陷断路器进行了混合... 内蒙古锡林郭勒地区某次气温骤降后,8台不同生产厂家的SF_(6)/CF_(4)混合气体断路器相继发生低气压告警或闭锁故障,现场开展了密封性能测试、SF_(6)分解物测试、密度表校验等诊断性试验,试验结果未见异常。之后对缺陷断路器进行了混合气体组分测试,根据断路器参数,利用试验平台模拟了断路器在低温运行工况下发生低气压故障的过程。结果表明:充装SF_(6)/CF_(4)气体比例不正确、混合气体密度表参数不匹配、罐体内气压过高会造成SF_(6)/CF_(4)混合气体断路器在低温条件下发生低气压故障。提出了应在相关规程中增加对混合气体断路器开展现场混合气体组分测试、核对密度表参数、出厂时进行低温条件下密封性能检测等建议。 展开更多
关键词 高寒地区 SF_(6)/cf_(4)混合气体断路器 低气压 气体组分 密度表参数
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Decomposition of Potent Greenhouse Gases SF_6,CF_4 and SF_5CF_3 by Dielectric Barrier Discharge 被引量:2
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作者 张仁熙 王婧婷 +1 位作者 曹栩 侯惠奇 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第4期388-393,共6页
For their distinguished global warming potential(GWP100)and long atmosphere lifespan,CF_4,SF_6 and SF_5CF_3were significant in the field of greenhouse gas research.The details of discharging character and the optima... For their distinguished global warming potential(GWP100)and long atmosphere lifespan,CF_4,SF_6 and SF_5CF_3were significant in the field of greenhouse gas research.The details of discharging character and the optimal parameter were discussed by using a Dielectric Barrier Discharge(DBD)reactor to decompose these potent greenhouse gases in this work.The results showed that SF_6 could be decomposed by 92% under the conditions of 5 min resident time and3000 V applied voltage with the partial pressure of 2.0 k Pa,28.2 k Pa,and 1.8 k Pa for SF_6,air and water vapor,respectively.0.4 k Pa CF_4 could be decomposed by 98.2% for 4 min resident time with 30 k Pa Ar added.The decomposition of SF_5CF_3 was much more effective than that of SF_6 and CF_4and moreover,1.3 k Pa SF_5CF_3,discharged with 30 k PaO_2,Ar and air,could not be detected when the resident time was 80 s,40 s,and 120 s,respectively.All the results indicated that DBD was a feasible technique for the abatement of potent greenhouse gases. 展开更多
关键词 dielectric barrier discharge SF_5cf_3 cf_4 SF_6
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CF_4气体ICP等离子体中的双温电子特性 被引量:2
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作者 黄松 宁兆元 +1 位作者 辛煜 甘肇强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期3394-3397,共4页
使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4 气体感应耦合等离子体 (ICP)的放电特性 .结果表明 ,CF4 等离子体的电子呈现双温分布 :一类是密度低、能量高的快电子 ,另一类是密度高、能量低的慢电子 .快电子温度The、慢电子温度Tce以及它们的平均... 使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4 气体感应耦合等离子体 (ICP)的放电特性 .结果表明 ,CF4 等离子体的电子呈现双温分布 :一类是密度低、能量高的快电子 ,另一类是密度高、能量低的慢电子 .快电子温度The、慢电子温度Tce以及它们的平均电子温度Te 随射频输入功率的增加而下降 ;而它们的密度nhe,nce和ne 随功率的增加而上升 . 展开更多
关键词 电子温度 电子特性 粒子碰撞 感应耦合等离子体 气体 上升 平均 cf4 射频 放电特性
原文传递
INTROMISSION OF WATER-REPELLENT AND HYDROSCOPIC PROPERTIES SIMULTANEOUSLY TO PP BY PLASMA DISCHARGE METHOD
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作者 JieLiang Bi-qianLiu 《Chinese Journal of Polymer Science》 SCIE CAS CSCD 2005年第1期83-92,共10页
Plasma-induced surface graft copolymerization of acrylic acid on polypropylene non-woven fabric(PP-g-AA)andpolypropylene membrane were reported.The extents of grafting were controlled by the plasma and polymerizationc... Plasma-induced surface graft copolymerization of acrylic acid on polypropylene non-woven fabric(PP-g-AA)andpolypropylene membrane were reported.The extents of grafting were controlled by the plasma and polymerizationcondition.Hexadecyltrimethyl ammonium bromide was then coupled with the carboxyl group of PP-g-AA to obtain apolyion complex(PIC).At last,CF_4 plasma was used to give PICs hydrophobic property.The moisture regain and water-repellency of the processed PICs was investigated.The surfaces were characterized using ATR FT-IR and XPS.The resultindicates that the products have very high ability to adsorb moisture,even better than cotton fiber.At the same time,theproducts show excellent hydrophobic property,which can't be wetted by those reagents whose surface tensions were higherthan 327 mN/m. 展开更多
关键词 Polypropylene non-woven fabric Plasma-induced grafting Hexadecyltrimethyl ammonium bromide cf_4 plasma treatment Moisture sorption Hydrophobicity.
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