期刊文献+
共找到30篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
高温退火对非晶CN_x薄膜场发射特性的影响 被引量:4
1
作者 李俊杰 郑伟涛 +5 位作者 卞海蛟 吕宪义 姜志刚 白亦真 金曾孙 赵永年 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期1797-1801,共5页
采用射频磁控溅射方法在纯N2 气氛中沉积了非晶CNx 薄膜样品 ,并在真空中退火至 90 0℃ .对高温退火引起的CNx 薄膜化学成分、键合结构及其场发射特性方面的变化进行研究 .用傅里叶变换红外光谱和x射线光电子能谱分析样品的内部成分及... 采用射频磁控溅射方法在纯N2 气氛中沉积了非晶CNx 薄膜样品 ,并在真空中退火至 90 0℃ .对高温退火引起的CNx 薄膜化学成分、键合结构及其场发射特性方面的变化进行研究 .用傅里叶变换红外光谱和x射线光电子能谱分析样品的内部成分及键合结构的变化 ,其中sp2 键及薄膜中N的含量与薄膜的场发射特性密切相关 .退火实验的结果表明高温退火可以导致CNx 薄膜中N含量大量损失 ,并在薄膜中形成大量sp2 键 ,这些化学成分及键合结构上的变化将直接影响CNx 薄膜的场发射特性 .与其他温度退火样品相比 ,75 0℃退火的样品具有最低的阈值电场 。 展开更多
关键词 非晶CNx薄膜 场发射特性 高温退火 射频磁控溅射方法 场致电子发射 化学键合
原文传递
Chemical Synthesis and Characterization of Flaky h-BCN at High Pressure and High Temperature 被引量:2
2
作者 杨大鹏 李英爱 +5 位作者 杨旭昕 杜勇慧 吉晓瑞 宫希亮 苏作鹏 张铁臣 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2007年第4期1088-1091,共4页
Hexagonal boron carbonitrogen (h-BCN) compound is synthesized from a mixture of boron powder and CNH compound prepared by pyrolysis of melamine (CaH6N6) under high temperature (1400-1500℃) and high pressure (5... Hexagonal boron carbonitrogen (h-BCN) compound is synthesized from a mixture of boron powder and CNH compound prepared by pyrolysis of melamine (CaH6N6) under high temperature (1400-1500℃) and high pressure (5.0-5.5 GPa). X-ray photoelectron spectroscopy, Fourier transform infrared spectroscopy and Raman spec- troscopy are used to determine the chemical composition and bonds of the product. The results show that the product has composition of B0.18C0.64N0.16 (near BC4N) and atomic-level hybrid. X-ray diffraction analysis indicates that the powder has a hexagonal network structure. Scanning and transmission electron microscopy results suggest that h-BCN compound morphology is mainly flaky in width about 1 μm and thickness 200nm. 展开更多
关键词 carbon nitride films THIN-films B-N BORON BC2N DEPOSITION STATE
下载PDF
等离子体技术在碳氮膜制备中的应用 被引量:3
3
作者 李建 刘艳红 +1 位作者 俞世吉 马腾才 《真空》 CAS 北大核心 2004年第2期8-13,共6页
β-C3N4是Cohen等人从理论上预言的一种可能比金刚石更硬的物质,含有β-C3N4的碳氮膜具有优异的电学、光学和机械特性,在很多领域有应用前景。人们已经应用多种方法进行碳氮膜的制备。本文将对等离子体技术在碳氮膜制备中的应用进行综述... β-C3N4是Cohen等人从理论上预言的一种可能比金刚石更硬的物质,含有β-C3N4的碳氮膜具有优异的电学、光学和机械特性,在很多领域有应用前景。人们已经应用多种方法进行碳氮膜的制备。本文将对等离子体技术在碳氮膜制备中的应用进行综述,并在成膜速率、成膜质量等方面,对以往工作成果进行论述;最后将讨论沉积过程中几个参量对碳氮膜沉积速率、膜结构等的影响。 展开更多
关键词 等离子体技术 碳氮膜 制备工艺 β-C3N4 弹性模量 射频磁控溅射
下载PDF
CNx薄膜的摩擦学性能研究进展 被引量:1
4
作者 毕凯 刘军 陈春 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期7-10,共4页
 CNx薄膜具有优异的机械与摩擦学性能,很适合作为理想的耐磨保护涂层以及固体润滑剂,具有十分广阔的应用前景。概述了不同学者制备的CNx薄膜的摩擦学性能,采用综合对比分析方法,在比较摩擦试验结果的同时,注意分析薄膜的磨损情况,并结...  CNx薄膜具有优异的机械与摩擦学性能,很适合作为理想的耐磨保护涂层以及固体润滑剂,具有十分广阔的应用前景。概述了不同学者制备的CNx薄膜的摩擦学性能,采用综合对比分析方法,在比较摩擦试验结果的同时,注意分析薄膜的磨损情况,并结合对薄膜与摩擦副以及磨屑的成分、显微结构、键合以及摩擦过程中相变等情况的分析与比较,形成对CNx薄膜摩擦过程的基本分析,对成分、结构、环境因素、摩擦试验参数等对CNx薄膜摩擦学行为的影响及相关机理进行了总结和讨论。研究表明CNx薄膜的摩擦学性能与其自身的成分、结构(键合类型)、环境因素以及试验参数等密切相关,在对CNx薄膜进行摩擦学性能评价分析时,需要注意这些因素的影响。 展开更多
关键词 CNX薄膜 摩擦学行为 磨损
下载PDF
磁控溅射非晶CN_x薄膜的热稳定性研究 被引量:3
5
作者 李俊杰 金曾孙 +5 位作者 吴汉华 林景波 金哲 李哲奎 顾广瑞 盖同祥 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第1期71-74,共4页
为了研究非晶CNx薄膜的热稳定性,采用射频磁控溅射方法沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900℃,利用FTIR,Raman和XPS谱探讨了高温退火对CNx薄膜化学成分及键合结构的影响.研究表明:CNx薄膜样品中N原子分别与sp、sp2和sp3杂化状态... 为了研究非晶CNx薄膜的热稳定性,采用射频磁控溅射方法沉积了非晶CNx薄膜样品,并在真空中退火至900℃,利用FTIR,Raman和XPS谱探讨了高温退火对CNx薄膜化学成分及键合结构的影响.研究表明:CNx薄膜样品中N原子分别与sp、sp2和sp3杂化状态的C原子相结合,退火处理极大地影响了CN键合结构的稳定性;当退火温度低于600℃时,膜内N含量的损失较少,CNx薄膜的热稳定性较好,退火温度超过600℃时,将导致CNx膜中大多数C、N间的键合分离,造成N大量损失,膜的热稳定性下降;退火可促使膜内sp3型键向sp2型键转变,在膜中形成大量的sp2型C键,导致CNx膜的石墨化. 展开更多
关键词 磁控溅射 非晶CNx薄膜 热稳定性 真空退火 键合结构
下载PDF
氮化碳薄膜的红外光谱(FTIR)特性分析 被引量:3
6
作者 毕凯 刘军 陈春 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期81-83,共3页
对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析。结果表明,薄膜中含有C N键、C N键以及C—N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C比偏低。改变制备工艺条件,薄膜中原子的化学结合状况... 对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析。结果表明,薄膜中含有C N键、C N键以及C—N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C比偏低。改变制备工艺条件,薄膜中原子的化学结合状况会发生相应的变化。 展开更多
关键词 氮化碳薄膜 红外光谱 磁控溅射
下载PDF
辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜 被引量:3
7
作者 傅广生 于威 +3 位作者 王淑芳 李晓苇 张连水 韩理 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期2263-2268,共6页
利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段 ,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定 .结果表明 ,... 利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段 ,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定 .结果表明 ,沉积薄膜为含有非晶SiN和晶态氮化碳颗粒结构 ,晶态成分呈多晶态 ,主要为α C3N4 相、β C3N4 相 ,晶粒大小为 4 0— 60nm .碳氮之间主要以C N非极性共价键形式相结合 . 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 直流辉光放电 碳氮薄膜 等离子体 Si 薄膜生成 XECL准分子激光
原文传递
Correlation between structure and hardness of magnetron sputtering deposited CN_x films 被引量:1
8
作者 Weitao Zheng Haibo Li +1 位作者 Yuming Wang J. -E. Sundgren 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1999年第12期1149-1152,共4页
Carbon nitride films are deposited on Si (001) substrates by reactive dc magnetron sputtering graphite in a pure N2 discharge. The structure of carbon nitride films has been probed using Fourier transformation infrare... Carbon nitride films are deposited on Si (001) substrates by reactive dc magnetron sputtering graphite in a pure N2 discharge. The structure of carbon nitride films has been probed using Fourier transformation infrared, near edge X-ray absorption fine structure (NEXAFS) and high resolution electron microscopy (HREM), and the hardness has been evaluated in nanoin-dentation experiments. FTIR spectra show that N atoms are bound to sp1, sp2, and sp3 hybridized C atoms. C1s NEXAFS spectra show that the intensity of π* resonance is the lowest for the film grown at substrate temperature TS = 350℃, with a turbostratic-like structure and high hardness, while it is the highest for the film grown at TS = 100℃, with an amorphous structure and low hardness. The correlation between the structure and hardness of carbon nitride films has been discussed. 展开更多
关键词 carbon nitride films STRUCTURE hardness.
原文传递
新型超硬C-N薄膜材料 被引量:2
9
作者 张贵锋 杨振江 耿东生 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期48-53,共6页
C-N薄膜是目前国际上刚刚兴起的一种新型超硬材料。理论上,它的体模量和硬度比金刚石还要高。在半导体和抗磨涂层等领域有着广阔的应用前景。文中介绍了新型C-N薄膜材料的发展概况、几种典型的制备方法、结构及性能特点,分析了... C-N薄膜是目前国际上刚刚兴起的一种新型超硬材料。理论上,它的体模量和硬度比金刚石还要高。在半导体和抗磨涂层等领域有着广阔的应用前景。文中介绍了新型C-N薄膜材料的发展概况、几种典型的制备方法、结构及性能特点,分析了C-N膜的发展方向及其应用前景。 展开更多
关键词 碳氮簿膜 超硬材料 C-N簿膜 合成工艺 应用
下载PDF
氮化碳薄膜的X射线光电子谱 被引量:1
10
作者 莫少波 刘英 +1 位作者 杨业智 程宇航 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期734-737,共4页
用XPS研究射频-直流等离子体增强化学气相沉积(PECVD)获得的氮化碳(CN)薄膜的化学结构。C1s 和N1s芯能级电子谱分析表明:在CN膜中含有N-sp3 和N-sp2 两类化学结构,在高含N膜中还含有少量的N-sp... 用XPS研究射频-直流等离子体增强化学气相沉积(PECVD)获得的氮化碳(CN)薄膜的化学结构。C1s 和N1s芯能级电子谱分析表明:在CN膜中含有N-sp3 和N-sp2 两类化学结构,在高含N膜中还含有少量的N-sp 相,且代表N-sp3 结构的原子比为1.28,接近4∶3,证明此膜中存在类β-C3N4 相。且增加膜中含N 量有利于提高类β-C3 N4 相的含量。CN膜的化学结构在离子辐照下会发生轻微变化,结果表明,随离子剂量增加,N-sp3 /N-sp2 比增高。 展开更多
关键词 化学结构 XPS 离子辐照 氮化碳薄膜
下载PDF
Studies on Wear and Corrosion Resistances of Carbon Nitride Thin Films on Ti Alloy
11
作者 Li Jin\|chai, Guo Huai\|xi, Lu Xian\|feng, Zhang Zhi\|hong, Ye Ming\|sheng School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan 430072, Hubei, China 《Wuhan University Journal of Natural Sciences》 CAS 2003年第03A期821-824,共4页
CN x /SiCN composite films were prepared on titanium ( Ti ) alloy substrates by Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RF\|PECVD ). As a buffer layer, SiCN ensured the adhesion of the CN ... CN x /SiCN composite films were prepared on titanium ( Ti ) alloy substrates by Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RF\|PECVD ). As a buffer layer, SiCN ensured the adhesion of the CN x thin films on Ti substrates. X\|ray diffraction ( XRD) measurement revealed that the composite films possessed α\|C 3 N 4 structure. The microhardness of the films was 48 to 50 GPa. In order to test the characteristics of wear and corrosion resistances, we prepared Ti alloy samples with and without CN x /SiCN composite films. Also for strengthening the effect of wear and corrosion, the wear tests were carried out under high load (12 MPa) and in 0.9% NaCl solution. Results of the wear tests and the corrosive electrochemical measurements showed that the samples coated with CN x films had excellent characteristics of wear and corrosion resistances compared with Ti alloy substrate samples. 展开更多
关键词 carbon nitride films RF PECVD wear resistance corrosion resistance
下载PDF
反应离化团束(RICB)法生长CN硬质薄膜 被引量:1
12
作者 谢俊清 冯嘉猷 郑毅 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1996年第5期525-528,共4页
用反应离化团束(RICB)法,以低分子量聚乙烯为蒸发材料,氨气为反应气体,在NaCl(100)和Si(100)衬底上淀积C—N薄膜。透射电子衍射(TEM)分析表明薄膜中含有β—C3N4晶粒,X射线光电子谱(XPS)和... 用反应离化团束(RICB)法,以低分子量聚乙烯为蒸发材料,氨气为反应气体,在NaCl(100)和Si(100)衬底上淀积C—N薄膜。透射电子衍射(TEM)分析表明薄膜中含有β—C3N4晶粒,X射线光电子谱(XPS)和红外吸收谱(IR)表明薄膜中存在C、N原子的化学键合。 展开更多
关键词 离化团束 C-N薄膜 薄膜
下载PDF
直流热阴极PCVD法间歇生长模式制备碳氮膜 被引量:1
13
作者 姜宏伟 黄海亮 +4 位作者 彭鸿雁 李聪 张辉霞 王丹 郑友进 《材料导报(纳米与新材料专辑)》 EI CAS 2015年第2期87-89,95,共4页
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(PCVD)法间歇生长模式,在(100)硅片上、CH_4+N_2+H_2气氛下生长了氮化碳薄膜。薄膜样品用XRD、SEM和Raman光谱仪进行了表征,其中XRD图谱显示,碳氮膜主要由β-C_3N_4晶相组成。实验表明,采用直流热阴... 采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(PCVD)法间歇生长模式,在(100)硅片上、CH_4+N_2+H_2气氛下生长了氮化碳薄膜。薄膜样品用XRD、SEM和Raman光谱仪进行了表征,其中XRD图谱显示,碳氮膜主要由β-C_3N_4晶相组成。实验表明,采用直流热阴极PCVD间歇生长工艺,并提供类似晶格结构作为生成C-N键的诱导,可以制备出具有β-C_3N_4晶相的纳米碳氮膜。 展开更多
关键词 碳氮膜 直流热阴极 间歇生长模式 纳米膜
下载PDF
高透钻面玻璃在线连续镀膜技术研究
14
作者 张忠义 徐日宏 +2 位作者 张振华 王琦 姜宏 《材料开发与应用》 CAS 2017年第4期107-112,共6页
使用立式连续直线镀膜生产线,采用真空磁控溅射技术在玻璃表面设计并镀制了Nb2O5/Si O2/Nb2O5/Si O2/CNx多层纳米硬质增透薄膜,并研究其透过率、硬度及理化性能。结果表明:通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,钻... 使用立式连续直线镀膜生产线,采用真空磁控溅射技术在玻璃表面设计并镀制了Nb2O5/Si O2/Nb2O5/Si O2/CNx多层纳米硬质增透薄膜,并研究其透过率、硬度及理化性能。结果表明:通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,钻面玻璃产品的表面硬度达994.8 HV,是普通玻璃的2倍以上;在可见光透过率≥94%,具有一定的增透效果;经过酸/碱/溶剂/热处理后的透过率衰减ΔT<0.1%,理化性能优良。 展开更多
关键词 氮化碳薄膜 磁控溅射 高透减反膜 钻面玻璃 超硬膜层
原文传递
高速钢上磁控溅射氮化碳薄膜的摩擦学性能研究
15
作者 毕凯 刘军 陈春 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期18-20,共3页
采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳(CNx/TiN)复合薄膜,并采用球-盘式摩擦试验法对其摩擦学性能进行了研究。通过分析薄膜的摩擦系数变化曲线,并辅之以薄膜摩擦表面形貌的显微观察分析以及EDS微区成分分析,对薄膜的摩擦学... 采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳(CNx/TiN)复合薄膜,并采用球-盘式摩擦试验法对其摩擦学性能进行了研究。通过分析薄膜的摩擦系数变化曲线,并辅之以薄膜摩擦表面形貌的显微观察分析以及EDS微区成分分析,对薄膜的摩擦学性能进行了表征。结果表明,CNx/TiN复合薄膜与对偶球(Si3N4)之间的摩擦系数约为0.3。具有较好的减摩性能,但复合薄膜的耐磨性能受制备工艺的影响较大。沉积合适的TiN/Ti过渡层可以显著提高薄膜的耐磨性能。薄膜的磨损机理主要为磨粒磨损与黏着磨损以及疲劳磨损相互结合。 展开更多
关键词 氮化碳薄膜 磁控溅射 摩擦学性能 磨损机理 高速钢
下载PDF
非晶CN薄膜的制备及性质
16
作者 魏爱香 陈弟虎 +2 位作者 周友国 林励萍 彭少麒 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期523-526,共4页
采用磁过滤真空溅射离子沉积技术制备了一组非晶CN薄膜.利用红外光谱,紫外—可见吸收光谱和电导测量研究了其光学和电学性质,用X射线光电子能谱确定腹中N的原子百分比.结果表明:a-CN康有22001500和1350cm-1三个吸收带,表明C和N... 采用磁过滤真空溅射离子沉积技术制备了一组非晶CN薄膜.利用红外光谱,紫外—可见吸收光谱和电导测量研究了其光学和电学性质,用X射线光电子能谱确定腹中N的原子百分比.结果表明:a-CN康有22001500和1350cm-1三个吸收带,表明C和N是以化学共价键形式结合的.这种股有较宽的光能随4.14eV,极低的电导率10-15(Ω·cm)-1.腹中N的原子百分比最大为47%. 展开更多
关键词 碳氮薄膜 磁过滤溅射离子 非晶 薄膜 性质
下载PDF
碳氮膜的研究进展 被引量:3
17
作者 刘祖琴 晁晟 +1 位作者 王维洁 王天民 《微细加工技术》 EI 1997年第3期75-78,共4页
简要回顾了碳氮膜的发展历史,综述了碳氮膜研究的最新进展,并对这类膜的发展前景进行了展望。
关键词 碳氮膜 氢致碳氮膜 碳氮含量比 超硬材料
下载PDF
a-C:N膜的制备及结构分析 被引量:2
18
作者 张贵锋 张建宏 +2 位作者 耿东生 刘正堂 郑修麟 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期10-12,共3页
采用射频溅射法在锗衬底上沉积无定形碳氮膜 (a- C:N) ,用 X射线光电子谱 (XPS)、傅立叶变换红外光谱 (FT- IR)和喇曼光谱 (RS)分析了膜的成分与结构。结果表明 ,氮是以化学键的形式存在于膜中 ,且有三种不同的 C- N键合状态。随着反应... 采用射频溅射法在锗衬底上沉积无定形碳氮膜 (a- C:N) ,用 X射线光电子谱 (XPS)、傅立叶变换红外光谱 (FT- IR)和喇曼光谱 (RS)分析了膜的成分与结构。结果表明 ,氮是以化学键的形式存在于膜中 ,且有三种不同的 C- N键合状态。随着反应气体中氮气分压的增加 ,a- C:N膜中氮浓度增加 ,C≡N键的含量增加。 展开更多
关键词 射频溅射 无定形碳氮膜 结构
下载PDF
射频溅射制备碳氮薄膜及其结构分析
19
作者 彭军 崔敬忠 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期46-48,共3页
报道了用射频等离子体溅射的方法在高阻单昌硅衬底上制备碳氮非晶薄膜,并利用拉曼光谱和红外吸收谱对其进行的结构分析研究。分析结果表明该膜中氮主要以C≡N,C=N键形式与碳结合。
关键词 结构 退火 碳氮薄膜 射频浅射法
下载PDF
高速钢上氮化碳薄膜附着力及其影响因素的研究 被引量:10
20
作者 毕凯 刘军 陈春 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2005年第12期11-13,16,共4页
氮化碳(CNx)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,很适合用作耐磨保护涂层及固体润滑剂。采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳薄膜,并以划痕法对其附着力进行了研究。结果表明:有TiN中间层的CNx复合薄膜比无TiN中间层的附着... 氮化碳(CNx)薄膜具有优异的力学性能和摩擦学性能,很适合用作耐磨保护涂层及固体润滑剂。采用磁控溅射法在高速钢(HSS)基片上制备了氮化碳薄膜,并以划痕法对其附着力进行了研究。结果表明:有TiN中间层的CNx复合薄膜比无TiN中间层的附着性能有较大的提高。CNx/TiN复合薄膜附着性能较好的主要原因是:对基片严格的清洁处理,采用磁控溅射法对基片施加了合适的负偏压,沉积了合适的中间过渡层;工艺参数合理。 展开更多
关键词 磁控溅射 氮化碳薄膜 附着力 影响因素
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部