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题名MEMS低频水声电容传感器的设计
被引量：3
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作者
王雁
刘梦然
张国军
李静
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
北方自动控制技术研究所
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第1期19-22,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(61127008)
国家重点研发计划(2016YFC0101900)
+1 种基金
山西省应用基础研究项目(201601D011035)
山西省研究生教育创新项目(2016BY122)
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文摘
针对低频水声信号的探测需求,设计了一种MEMS低频水声电容传感器。为适应水下工作环境,改善振膜的承压性,将电容敏感结构整体置于硅油中,同时在振膜上开设6个对称均匀分布的小孔,以降低硅油压膜阻尼。文中介绍了MEMS低频水声电容传感器的工作原理,通过机械建模结合ANSYS Workbench有限元仿真分析,确定了电容敏感结构的结构参数及性能指标。电容敏感单元采用了C-SOI加工工艺方法,传感器振膜和空腔分别定义在SOI片和硅片上。MEMS低频水声电容传感器的谐振频率为5 498.6 Hz,灵敏度为-148.4 d B。
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关键词
水声电容传感器
压膜阻尼
ANSYS
WORKBENcH
c-soi加工工艺
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Keywords
acoustic capacitance sensor
squeeze-film damping
ANSYS Workbench
c-soi method
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分类号
TP272
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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