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基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C∶TiO2薄膜性能的影响研究
1
作者
岳天峰
刘嘉琪
+3 位作者
文峰
马艳平
丁春华
姜宏
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期6088-6094,共7页
采用射频磁控溅射法,选择CO2气相提供反应溅射时的碳和氧源,通过改变基底负偏压制备得到系列C掺杂TiO2(C∶TiO2)薄膜.紫外G可见分光光度计测定薄膜的透射率并用tauc作图法得到薄膜的带隙宽度,发现基底负偏压的增加有助于带隙宽度的窄化...
采用射频磁控溅射法,选择CO2气相提供反应溅射时的碳和氧源,通过改变基底负偏压制备得到系列C掺杂TiO2(C∶TiO2)薄膜.紫外G可见分光光度计测定薄膜的透射率并用tauc作图法得到薄膜的带隙宽度,发现基底负偏压的增加有助于带隙宽度的窄化.拉曼光谱、X射线光电子能谱表征了C∶TiO2薄膜的结构和成分及元素化学键合态,分析表明,C∶TiO2薄膜主要为金红石相,C元素替代氧元素与Ti结合形成TiC键实现了C元素的掺杂.对甲基橙的光催化降解实验表明通过气相CO2制备得到的C∶TiO2薄膜具有较好的光催化活性,且随着基底负偏压值的增加,C∶TiO2薄膜对甲基橙的光催化降解效率会达到一个相对峰值后开始下降.测试了薄膜表面3种标准液体的接触角并分别计算了表面能各分量,结果发现,C∶TiO2薄膜受到紫外光照射后表面能中路易斯酸性分量有显著增加,这将有利于促进电子G空穴的有效分离.
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关键词
射频溅射
c
掺杂
tio
2
薄膜
表面能
带隙宽度
光催化
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职称材料
题名
基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C∶TiO2薄膜性能的影响研究
1
作者
岳天峰
刘嘉琪
文峰
马艳平
丁春华
姜宏
机构
海南大学材料科学与工程学院
海南省特种玻璃重点实验室
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期6088-6094,共7页
基金
海南省自然科学基金资助项目(518MS024)
国家自然科学基金资助项目(51461015)
国家重点研发计划资助项目(2016YFC0700804)
文摘
采用射频磁控溅射法,选择CO2气相提供反应溅射时的碳和氧源,通过改变基底负偏压制备得到系列C掺杂TiO2(C∶TiO2)薄膜.紫外G可见分光光度计测定薄膜的透射率并用tauc作图法得到薄膜的带隙宽度,发现基底负偏压的增加有助于带隙宽度的窄化.拉曼光谱、X射线光电子能谱表征了C∶TiO2薄膜的结构和成分及元素化学键合态,分析表明,C∶TiO2薄膜主要为金红石相,C元素替代氧元素与Ti结合形成TiC键实现了C元素的掺杂.对甲基橙的光催化降解实验表明通过气相CO2制备得到的C∶TiO2薄膜具有较好的光催化活性,且随着基底负偏压值的增加,C∶TiO2薄膜对甲基橙的光催化降解效率会达到一个相对峰值后开始下降.测试了薄膜表面3种标准液体的接触角并分别计算了表面能各分量,结果发现,C∶TiO2薄膜受到紫外光照射后表面能中路易斯酸性分量有显著增加,这将有利于促进电子G空穴的有效分离.
关键词
射频溅射
c
掺杂
tio
2
薄膜
表面能
带隙宽度
光催化
Keywords
radio
frequen
c
y
sputtering
c
doped
tio
2
film
surfa
c
e
energy
band
gap
width
photo
c
atalysis
分类号
O430.15 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C∶TiO2薄膜性能的影响研究
岳天峰
刘嘉琪
文峰
马艳平
丁春华
姜宏
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
0
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职称材料
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