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砂轮划片机在砷化镓材料切割中的应用研究 被引量：1
1
作者 郎小虎 张玮琪 +1 位作者 孙彬 闫启亮 《电子工业专用设备》 2014年第4期12-14,53,共4页
针对有关脆性材料的磨削模式研究进行了总结,从砷化镓材料的特性出发,通过不同磨粒的砂轮刀片进行砷化镓材料切割的实验研究,探索获得良好的划切质量的方法。
关键词 砷化镓 脆性材料 解理面 磨削模式
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