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题名微细光刻中部分相干系统成像研究
被引量：3
- 1
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作者
罗先刚
陈旭南
姚汉民
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第12期1703-1710,共8页
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基金
中国科学院"九五"应用研究与发展重大项目
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文摘
分析了投影光刻系统中部分相干成像的过程，结果表明部分相干成像的像强是相干成像的像强对光源上每一点互相干强度的权重和。得出了近年来改进照明条件提高分辨力的物理本质：部分相干成像系统是一个空间频率可变的系统，频率的调制是通过照明函数的变化来实现的。提出了进一步提高光刻分辨力的新途径。
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关键词
部分相干成像
二元光栅照明
光刻
微细光刻
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Keywords
partial coherent imagery, quadrupole illumination, annular illumination, binary grating illumination.
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名部分相干光倾斜照明成像研究
被引量：4
- 2
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作者
罗先刚
陈旭南
姚汉民
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机构
中国科学院光电技术研究所
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出处
《微细加工技术》
1997年第4期55-62,共8页
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文摘
本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理．建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟计算．对模拟结果作了分析比较。结果表明，用二元光栅照明较好，既能较大程度提高投影光刻曝光系统的分辨力及焦深，又能克服其他照明方式的能量利用率低等缺点。
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关键词
二元光栅照明
部分相干成像
VLSI
光刻机
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Keywords
binary grating illumination
Photolithographic resolution
Depth of focus
Partially coherent imagery
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分类号
TN470.57
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名二元光栅照明对光刻系统成象特性的影响
- 3
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作者
罗先刚
姚汉民
陈旭南
冯伯儒
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机构
中国科学院光电所技术研究微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
2000年第3期1-3,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目! ( 698760 41)
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文摘
针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾 ,详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响 .结果表明 ,二元光栅照明可显著提高光强的对比度 ,改善成象系统的频率传递函数 ,是一种比较理想的离轴照明技术。
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关键词
光刻系统
二元光栅照明
成象特性
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Keywords
Photolithographic systems
binary grating illumination
Imaging characteristics
Luminous intersity
Transfer functions
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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