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题名脉动压力测试传感器模拟及振动干扰机理分析
被引量：1
- 1
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作者
李文明
陈春俊
周建容
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机构
西南交通大学机械工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第12期10-13,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51475387)
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文摘
微压阻式传感器在高速动车组脉动压力测试中由于压力幅值低、振动冲击等干扰大,导致测试信号信噪比低,难以有效提取出脉动压力。通过分析微压阻式传感器信号测试过程及结构受力原理,采用结构-电耦合有限元方法建立了一种梁膜岛式的传感器模型,能有效提高传感器的灵敏度;通过振动信号对传感器模型进行激扰,得到传感器模型的振动干扰输出;通过密闭模型车体振动试验,利用EMD分解得出传感器的振动气压总输出,分离出传感器振动干扰,即可得到车体振动引起的流场脉动压力;通过CFD软件建立车体模型,加载相同振动干扰得到流场脉动压力进行验证。结果表明:两种方法提取出的脉动压力趋势及幅值一致,证明了振动干扰机理分析的正确性,并为脉动压力提取提供了理论指导。
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关键词
脉动压力
振动干扰
有限元
微压阻式传感器
梁膜岛
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Keywords
Pulse Pressure
Vibration Disturbance
Finite Element
Piezoresistive Sensor
beam-membrane-island
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名用于大气数据系统的硅谐振压力传感器
被引量：1
- 2
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作者
胡宗达
彭鹏
李奇思
杨劼立
苏晓晓
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机构
航空工业成都凯天电子股份有限公司预研中心
航空工业成都凯天电子股份有限公司传感器事业部
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第3期160-163,共4页
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文摘
设计了一种用于机载大气数据系统的高精度微机电系统(MEMS)硅谐振压力传感器。采用了多层硅—硅键合技术、阳极键合技术以获得高稳定性的频率信号输出和圆片级真空封装,其具有高精度、高Q值的特点。芯片采用复合谐振梁—膜—硅岛结构作为谐振器部分,以减小面外谐振模态带来的性能影响。测试结果表明:在量程范围为3~130 kPa,温度范围为-55~85℃,该谐振压力传感器的全温全压精度高达0.01%FS。
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关键词
硅谐振压力传感器
复合谐振梁—膜—硅岛结构
高精度
微机电系统
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Keywords
silicon resonant pressure sensor
composite resonant beam-membrane-silicon island structure
high precision
micro-electro-mechanical system(MEMS)
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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