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石墨烯晶圆的制备:从高品质到规模化 被引量：2
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作者 姜蓓 孙靖宇 刘忠范 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2022年第2期3-15,共13页
石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景。实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备。可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)... 石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景。实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备。可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法,是高品质石墨烯晶圆规模化制备的首选方法。本文将综述石墨烯晶圆的CVD制备进展:首先探讨石墨烯晶圆的制备需求,从实用牵引和应用场景出发,提出石墨烯晶圆的制备品质等级;随后重点介绍石墨烯的晶圆级制备方法和石墨烯晶圆材料的规模化制备技术;最后,对石墨烯晶圆可行的制备路线进行总结,并展望未来可能的发展方向。 展开更多
关键词 石墨烯晶圆 化学气相沉积 高品质 规模化制备
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流化氮化工艺制备氮化钼的影响因素分析
2
作者 王洪发 郭瓦力 +1 位作者 王欢 刘立新 《化工生产与技术》 CAS 2006年第6期21-24,共4页
采用溶胶凝胶法制备了负载型γ-Mo2N催化剂的前驱体。以氢氮混合气为氮化剂,采用流化床反应器、三级脱水、循环未反应氮化剂的流化氮化新工艺实现了高比表面积氮化钼的批量合成,利用XRD和SEM等对合成的纯相γ-Mo2N和负载型γ-Mo2N及其... 采用溶胶凝胶法制备了负载型γ-Mo2N催化剂的前驱体。以氢氮混合气为氮化剂,采用流化床反应器、三级脱水、循环未反应氮化剂的流化氮化新工艺实现了高比表面积氮化钼的批量合成,利用XRD和SEM等对合成的纯相γ-Mo2N和负载型γ-Mo2N及其前驱体进行了表征。研究发现氮化剂中水含量、空速、氮化终温、升温速率、氢氮体积比对高比表面积γ-Mo2N/SiO2的形成均有影响,且影响显著性依次降低。结果表明:以流化床反应器为核心的流化氮化新工艺合成条件温和、原料成本低、效果好。 展开更多
关键词 氮化钼 γ-Mo2N 程序升温反应 溶胶凝腔 批量合成
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新型催化材料氮化钼的批量制备与结构表征 被引量：2
3
作者 王洪发 郭瓦力 +2 位作者 吴剑华 王欢 刘立新 《化工时刊》 CAS 2006年第12期16-19,共4页
环境法规关于硫、氮含量的严格规定要求对燃料进行深度脱硫脱氮,氮化钼作为一种催化材料具有良好的脱硫脱氮活性和较高的选择性。但其制备条件苛刻,为加快其应用进程,采用溶胶—凝胶法制备了负载型氮化钼的前驱体,采用流化床反应器、三... 环境法规关于硫、氮含量的严格规定要求对燃料进行深度脱硫脱氮,氮化钼作为一种催化材料具有良好的脱硫脱氮活性和较高的选择性。但其制备条件苛刻,为加快其应用进程,采用溶胶—凝胶法制备了负载型氮化钼的前驱体,采用流化床反应器、三级脱水、循环未反应氮化剂的流化氮化新工艺实现了氮化钼的批量合成。采用正交实验的方法确定了最优氮化条件:空速7 000 h-1、H2/N2为4、升温速率为1.2℃/min、氮化终温为650℃,活性组分含量为10%。并采用BET、XRD、SEM等对制备的氮化钼及其前驱体进行了结构表征。 展开更多
关键词 氮化钼 程序升温反应 批量合成
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