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钛酸锶钡(BST)铁电移相器材料的研究现状 被引量:27
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作者 金宇龙 周洪庆 +3 位作者 吴洪忠 刘敏 蒋微波 黄志文 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期38-40,共3页
钛酸锶钡(BST)材料被普遍认为是最有前途的铁电移相器材料。BST作为铁电移相器材料的研究已有多年,到目前为止取得了不少突破性的进展。综述了国内外研究人员在BST体材、厚膜以及薄膜方面所做的工作及获得的一些成果。
关键词 钛酸锶钡 BST 铁电移相器 相控阵天线
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钛酸锶钡(BST)薄膜的制备与应用研究进展 被引量:15
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作者 符春林 杨传仁 +2 位作者 陈宏伟 胡文成 李文远 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期47-50,共4页
介绍了钛酸锶钡(BST)薄膜的四种制备方法(脉冲激光沉积、磁控溅射、溶胶–凝胶、金属有机化学气相沉积)及BST薄膜在介质移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器、H2探测器中的应用等方面的研究进展。提出了需进一步开展的研究课题如... 介绍了钛酸锶钡(BST)薄膜的四种制备方法(脉冲激光沉积、磁控溅射、溶胶–凝胶、金属有机化学气相沉积)及BST薄膜在介质移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器、H2探测器中的应用等方面的研究进展。提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 铁电薄膜 制备技术 BST 应用
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钛酸锶钡的铁电相变与晶胞体积的关联 被引量:15
3
作者 张磊 钟维烈 +1 位作者 彭毅萍 王玉国 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第7期1371-1376,共6页
考察了BaμSr1-μTiO3 (BST)的TC 对晶格参数γ的依赖关系 .并对BST的依赖关系与BaTiO3 和SrTiO3 的相应依赖关系进行了比较 .得到了一个观点 :BST的TC 的变化可归因于晶胞体积效应 .还从体积效应的观点对BST相变的弥散性和级进行了讨论... 考察了BaμSr1-μTiO3 (BST)的TC 对晶格参数γ的依赖关系 .并对BST的依赖关系与BaTiO3 和SrTiO3 的相应依赖关系进行了比较 .得到了一个观点 :BST的TC 的变化可归因于晶胞体积效应 .还从体积效应的观点对BST相变的弥散性和级进行了讨论 .BST的晶胞体积效应可归因于BST中Ba和Sr的离子化现象 . 展开更多
关键词 铁电性 钛酸锶钡 晶胞体积效应 铁电体
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钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3)陶瓷制备及其介电性能的研究 被引量:11
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作者 王疆瑛 姚熹 张良莹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期212-213,217,共3页
 采用乙酸钡、乙酸锶和钛酸丁酯为原料的溶胶凝胶方法制备了BaxSr1-xTiO3(x=0.6)超细粉体,将BST超细粉体压制成型,进行烧结,得到(Ba0.6Sr0.4)TiO3陶瓷。通过热分析(DSC/TG)、X射线衍射(XRD)分析(Ba0.6Sr0.4)TiO3粉体合成过程及其相结...  采用乙酸钡、乙酸锶和钛酸丁酯为原料的溶胶凝胶方法制备了BaxSr1-xTiO3(x=0.6)超细粉体,将BST超细粉体压制成型,进行烧结,得到(Ba0.6Sr0.4)TiO3陶瓷。通过热分析(DSC/TG)、X射线衍射(XRD)分析(Ba0.6Sr0.4)TiO3粉体合成过程及其相结构变化。采用扫描电子显微镜(SEM)描述(Ba0.6Sr0.4)TiO3烧结体的相结构和显微组织结构变化。阻抗分析仪测量(Ba0.6Sr0.4)TiO3陶瓷的-50~100℃介电温谱。实验结果表明BaxSr1-xTiO3粉体的相结构为立方相钙钛矿结构,其合成温度及烧结温度分别为800℃及1250℃,均低于传统工艺的相应温度。(Ba0.6Sr0.4)TiO3陶瓷在-50~100℃温度范围内,其电容率随着烧结温度升高而增大,介电损耗tgδ在-50~100℃温度范围内,随温度的增加而降低。1250℃的(Ba0.6Sr0.4)TiO3陶瓷烧结体样品存在介电峰弥散化。 展开更多
关键词 钛酸锶钡陶瓷 制备 介电性能 乙酸钡 乙酸锶 钛酸丁酯 溶胶-凝胶
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纳米(Ba,Sr)TiO_3粉体材料的制备 被引量:11
5
作者 杨文 常爱民 杨邦朝 《中国粉体技术》 CAS 2002年第2期22-24,共3页
采用溶胶 -凝胶工艺制备了 (Ba ,Sr)TiO3凝胶 ,并利用微波烧结技术对凝胶进行合成和烧结。结果表明 ,获得的 (Ba ,Sr)TiO3粉体颗粒较细 ,与传统固相反应合成法相比 ,其钙钛矿相的合成温度由 110 0℃降至 90 0℃ ;粉体的颗粒尺寸在 5
关键词 制备 钛酸锶钡 纳米粉体 微波烧结 陶瓷 溶胶-凝胶法
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钛酸锶钡(BST)薄膜的组成、结构与性能研究进展 被引量:12
6
作者 符春林 杨传仁 陈宏伟 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第4期255-263,共9页
钛酸锶钡 (BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用 ,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等方面作了重点讨论 。
关键词 钛酸锶钡 铁电薄膜 基片 电极 晶界 界面 介电性能
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溶胶凝胶法制备钛酸锶钡(Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3陶瓷及其介电性能的研究 被引量:13
7
作者 王疆瑛 姚熹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期389-392,共4页
采用硝酸钡、硝酸锶、钛酸丁酯和柠檬酸为原料的配合物溶胶凝胶方法制备了(Ba1-xSrx)TiO3(BST)陶瓷。实验结果表明,BST粉体合成温度及烧结温度分别为700及1250℃,均低于传统工艺的相应温度。Sr含量x≥0.40,(Ba1-xSrx)TiO3陶瓷的相结构... 采用硝酸钡、硝酸锶、钛酸丁酯和柠檬酸为原料的配合物溶胶凝胶方法制备了(Ba1-xSrx)TiO3(BST)陶瓷。实验结果表明,BST粉体合成温度及烧结温度分别为700及1250℃,均低于传统工艺的相应温度。Sr含量x≥0.40,(Ba1-xSrx)TiO3陶瓷的相结构为立方钙钛矿相;Sr含量x<0.40,(Ba1-xSrx)TiO3陶瓷的相结构为四方钙钛矿型。(Ba1-xSrx)TiO3(0.5≤x≤0.70)陶瓷的电容率随温度变化曲线,说明存在由铁电四方相到顺电立方相的相变。且随锶(Sr)的摩尔量x的增加,(Ba1-xSrx)TiO3陶瓷样品的相变温度向低温方向移动,相变温度Tc的移动关系为Tc=394.1-272.6x(K)。 展开更多
关键词 钛酸锶钡陶瓷 溶胶凝胶 介电性能 相变
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钛酸锶钡基高压陶瓷电容器材料的研究 被引量:14
8
作者 王平 吴思华 +2 位作者 李之锋 王科超 李学帅 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期336-340,共5页
钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO3)材料既具有钛酸钡(BaTiO3)的高介电常数和低介质损耗,又具有钛酸锶(SrTiO3)结构稳定的特点,是非常理想的高压陶瓷电容器材料。本论文采用常规陶瓷电容器制备工艺,利用正交设计实验法研究了配方对Ba1-xSrxTiO3基... 钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO3)材料既具有钛酸钡(BaTiO3)的高介电常数和低介质损耗,又具有钛酸锶(SrTiO3)结构稳定的特点,是非常理想的高压陶瓷电容器材料。本论文采用常规陶瓷电容器制备工艺,利用正交设计实验法研究了配方对Ba1-xSrxTiO3基高压陶瓷电容器介电性能的影响,得到了影响该系统陶瓷介电性能的主次因素以及各因素水平影响其性能的趋势,并讨论了Bi2O3.3TiO2、CaZrO3、Nb2O5和MgO改性添加物对材料性能的影响。通过正交实验得到了综合性能较好的钛酸锶钡基陶瓷配方,结果表明,在Ba1-xSrxTiO3(当x=0.4时)中加入8%Bi2O3.3TiO2、6%CaZrO3、0.6%Nb2O5和0.5%MgO时,其介电常数ε为3785、介质损耗tgδ为23×10-4、耐压强度Eb为11kV/mm;而在Ba1-xSrxTiO3(当x=0.4时)中加入8%Bi2O3.3TiO2、10%CaZrO3、0.2%Nb2O5和1%MgO时,其ε为3416、tgδ为30×10-4、Eb为13.5kV/mm。 展开更多
关键词 陶瓷电容器 钛酸锶钡 介电性能
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钛酸锶钡压电陶瓷超细粉体的水热法合成 被引量:6
9
作者 苗鸿雁 周耀辉 朱刚强 《无机盐工业》 CAS 北大核心 2005年第5期15-17,共3页
采用水热工艺制备不同组成的BaxSr1-xTiO3(BST),利用FT-IR,XRD,TEM等技术分析了水热反应转变机理及相结构转变情况,同时对影响合成的工艺参数以及不同组成材料的居里温度变化进行了研究.结果表明:获得的BST粉体颗粒粒度较细,粒径为20~4... 采用水热工艺制备不同组成的BaxSr1-xTiO3(BST),利用FT-IR,XRD,TEM等技术分析了水热反应转变机理及相结构转变情况,同时对影响合成的工艺参数以及不同组成材料的居里温度变化进行了研究.结果表明:获得的BST粉体颗粒粒度较细,粒径为20~40nm.其最佳的工艺参数为n(Ba)/n(Ti)=3,n(Sr)/n(Ti)=1/4或者n(Ba)/n(Ti)=1/3,n(Sr)/n(Ti)=4/5,cKOH=1.5~2 mol/L.制得不同组成粉体的居里温度呈规律性变化. 展开更多
关键词 钛酸锶钡 红外探测 钛酸锶 钛酸钡
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Ba_xSr_(1-x)TiO_3精细结构的第一性原理研究 被引量:8
10
作者 薛卫东 李言荣 杨春 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第2期179-182,共4页
为了研究钛酸锶(SrTiO3,ST)中随Ba的掺入,其晶体从顺电相到铁电相的变化过程及四方相钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)的铁电性.在广义梯度近似下,利用超软赝势平面波方法计算了不同Ba/Sr摩尔比BST的总能量,确定了BST的精细结构.结果表明,在... 为了研究钛酸锶(SrTiO3,ST)中随Ba的掺入,其晶体从顺电相到铁电相的变化过程及四方相钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)的铁电性.在广义梯度近似下,利用超软赝势平面波方法计算了不同Ba/Sr摩尔比BST的总能量,确定了BST的精细结构.结果表明,在钛酸锶晶体中,随着Ba的掺入,晶胞体积膨胀, c/a比值增大,有利于晶体结构中正负离子的分离和自发极化的产生.在四方相Ba0. 8Sr0. 2TiO3 中, Ti离子沿[001]方向发生了8pm的偏心位移,从而表现出四方相BST的铁电性. 展开更多
关键词 钛酸锶钡 精细结构 铁电性
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钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能机理研究进展 被引量:10
11
作者 符春林 杨传仁 +2 位作者 陈宏伟 胡文成 李文远 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期187-194,共8页
钛酸锶钡 (BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍BST薄膜的制备方法和应用 ,重点讨论BST薄膜的极化、电压非线性、漏电流的机理、表征及影响因素 ,并综述了铁电薄膜的疲劳机制和消除疲劳... 钛酸锶钡 (BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍BST薄膜的制备方法和应用 ,重点讨论BST薄膜的极化、电压非线性、漏电流的机理、表征及影响因素 ,并综述了铁电薄膜的疲劳机制和消除疲劳措施等方面的研究进展 。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 铁电薄膜 极化 电压非线性 漏电流 疲劳
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Sr掺杂对BaTiO_3陶瓷结构与介电性能的影响 被引量:11
12
作者 李翔 严彪 董刚 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期23-25,43,共4页
以BaCO3、SrCO3和TiO2为原料,通过固相烧结方法制备了Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、以及阻抗分析仪分别分析Ba1-xSrxTiO3相结构、显微组织和测量介温谱。结果表明,Sr的掺杂没有改变BaTiO3的晶体结构,Ba... 以BaCO3、SrCO3和TiO2为原料,通过固相烧结方法制备了Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、以及阻抗分析仪分别分析Ba1-xSrxTiO3相结构、显微组织和测量介温谱。结果表明,Sr的掺杂没有改变BaTiO3的晶体结构,Ba1-xSrxTiO3(0≤x≤1)固溶体为完全互溶固溶体,为单一的立方相,但随着锶含量的增加,居里点逐渐降低。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 固溶体 介电性能
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原位制备钛酸锶钡/铌酸锶钡复相陶瓷的研究 被引量:5
13
作者 周宗辉 程新 杜丕一 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第6期873-878,F009,共7页
Composite ceramics of 0.7BaO·0.3SrO·(1-y)TiO2·yNb2O5 (BSTN) with coexistence of barium strontium titanate, Ba1-xSrxTiO3 (BST), and strontium barium niobate, SrxBa1-xNb2O6 (SBN) phases were successfully ... Composite ceramics of 0.7BaO·0.3SrO·(1-y)TiO2·yNb2O5 (BSTN) with coexistence of barium strontium titanate, Ba1-xSrxTiO3 (BST), and strontium barium niobate, SrxBa1-xNb2O6 (SBN) phases were successfully prepared in situ by controlling excess components according to a specially designed formula of 0.7BaO·0.3SrO·(1-y)TiO2·yNb2O5 and by using a traditional ceramic process. X-ray diffractometry (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersion spectrometer (EDS) were used to characterize the phase composition, morphology and the micro-area chemical composition of the composite ceramics. The results showed that the SBN tungsten bronze phase appeared and coexisted stably with the BST perovskite phase when the excess content of Nb2O5 was >6mol%, whereas the BST perovskite phase formed and coexisted stably with the SBN tungsten bronze phase when the excess content of TiO2 was >5.3mol%. In the case of the two phases being equivalent to each other in BSTN composite ceramics, Nb2O5 was hard to be resolved into the perovskite phase, however, a few of TiO2 was easy to be resolved in the tungsten bronze phase. The microstructure of the composite ceramics were consisted of two kinds of grains. The smaller polygonal grains were belonged to the BST phase, and the larger ones to the SBN phase. The coexistence of the two phases inhibited the growth of the BST crystal. The density of microstructure of the composite ceramic was higher than that of both the pure BST and SBN calcined at the same temperature for the same time. 展开更多
关键词 BSTN复相陶瓷 钛酸锶钡 铌酸锶钡 原位复合法 制备 驰豫型铁电陶瓷 晶体结构
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钛表面原位生长钛酸锶钡陶瓷膜 被引量:7
14
作者 姜兆华 李延平 +3 位作者 李文旭 辛世刚 闫久春 李益民 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期859-861,共3页
用微等离子体氧化法在钛金属基体上制备钛酸锶钡(BST)陶瓷膜。讨论了Ba/Sr的摩尔比对陶瓷膜相组成的影响,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和电子探针(EPMA)等测试手段对陶瓷膜的相组成、形貌特征和元素分布进行了分析。结果表明,... 用微等离子体氧化法在钛金属基体上制备钛酸锶钡(BST)陶瓷膜。讨论了Ba/Sr的摩尔比对陶瓷膜相组成的影响,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和电子探针(EPMA)等测试手段对陶瓷膜的相组成、形貌特征和元素分布进行了分析。结果表明,在所选定的工艺参数条件下可得到钛酸锶钡陶瓷膜,膜层由接近于纯相的钛酸锶钡构成,表面相对较为平整,各元素在陶瓷膜层中分布均匀,无梯度变化。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 原位生长 徽等离子体氧化
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(Ba,Sr)TiO_3纳米棒的反相微乳法制备与表征 被引量:6
15
作者 朱启安 陈万平 +1 位作者 宋方平 王树峰 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第5期470-474,共5页
在氢氧化钡和氢氧化锶水溶液/TritonX-100/环己烷/正己醇四元W/O型反相微乳液中制备了钛酸锶钡纳米棒,研究了ω0值(水与表面活性剂TritonX-100的物质的量之比)、反应物浓度、陈化时间对产品形貌和尺寸的影响,用TEM,SAED,SEM,EDS和XRD等... 在氢氧化钡和氢氧化锶水溶液/TritonX-100/环己烷/正己醇四元W/O型反相微乳液中制备了钛酸锶钡纳米棒,研究了ω0值(水与表面活性剂TritonX-100的物质的量之比)、反应物浓度、陈化时间对产品形貌和尺寸的影响,用TEM,SAED,SEM,EDS和XRD等技术对产品进行了表征.结果表明,所得Ba0.7Sr0.3TiO3纳米棒长约500~1200nm、直径约为50~120nm;具有立方相单晶结构.产品中钡、锶、钛的物质的量之比约为0.7∶0.3∶1. 展开更多
关键词 钛酸锶钡 反相微乳法 纳米棒
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Nb_2O_5/Co_2O_3加入量对(Ba,Sr)TiO_3基电容器陶瓷介电性能的影响 被引量:8
16
作者 黄新友 陈志刚 +1 位作者 李军 高春华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期623-626,634,共5页
研究了Nb2O5/Co2O3加入量[质量分数,Nb/Co(摩尔比)=0.8]不同对(Ba,Sr)TiO3(Barium strontiumtitanate,BST)铁电电容器陶瓷介电性能的影响,得到不同Nb2O5/Co2O3加入量与BST陶瓷性能的关系。借助扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究不同N... 研究了Nb2O5/Co2O3加入量[质量分数,Nb/Co(摩尔比)=0.8]不同对(Ba,Sr)TiO3(Barium strontiumtitanate,BST)铁电电容器陶瓷介电性能的影响,得到不同Nb2O5/Co2O3加入量与BST陶瓷性能的关系。借助扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究不同Nb2O5/Co2O3加入量对BST陶瓷显微结构和物相的影响,探讨了Nb2O5/Co2O3加入量对BST陶瓷性能影响机理。结果表明:当Nb2O5/Co2O3加入量为1.0%时,可得到满足Y5V特性、介电常数为3934、介质损耗为2.6%综合性能好的BST陶瓷。Nb2O5/Co2O3加入量对BST陶瓷性能的影响是通过细晶化、压抑展宽居里峰、改善介电常数温度特性、减少介电常数、形成杂相、形成“晶核-晶壳”结构等进行。 展开更多
关键词 氧化铌 氧化钴 电容器陶瓷 钛酸钡锶 陶瓷
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纳米钛酸锶钡粉体的熔盐法制备 被引量:8
17
作者 宛新武 黄焱球 +2 位作者 高兰芳 刘春凤 周飞 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期54-56,共3页
以TiO2、BaCO3和Sr(NO3)2为原料,KNO3和KOH为熔剂,利用熔盐法分别在650,750℃下,制备了钛酸锶钡(BaxSr1–xTiO3,简称BST)纳米粉体。研究了不同温度和不同熔盐的配比条件下BST粉体的生长特征。结果表明,熔盐配比和温度的影响显著。当ζ(K... 以TiO2、BaCO3和Sr(NO3)2为原料,KNO3和KOH为熔剂,利用熔盐法分别在650,750℃下,制备了钛酸锶钡(BaxSr1–xTiO3,简称BST)纳米粉体。研究了不同温度和不同熔盐的配比条件下BST粉体的生长特征。结果表明,熔盐配比和温度的影响显著。当ζ(KNO3∶KOH)为15∶1时,在750℃下反应3h可形成单一相的BST纳米粉体,晶粒度为42nm;当其为9∶1时,在650℃下反应5h便可形成单一相的BST粉体,晶粒度为89nm。 展开更多
关键词 无机非金属材料 钛酸锶钡 熔盐法 纳米粉体
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掺杂氧化铌对钛酸锶钡铁电陶瓷材料显微结构和介电性能的影响 被引量:8
18
作者 许春来 周和平 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1572-1576,共5页
钛酸锶钡(barium strontium titanate,BST)铁电陶瓷材料的介电常数(ε)随外加直流电场的变化呈现非线性特性。纯BST材料由于较高的ε和较大的介电损耗(tanδ)不能满足移相器介质材料的要求。通过在BST中添加氧化铌(Nb2O5)来改善BST铁电... 钛酸锶钡(barium strontium titanate,BST)铁电陶瓷材料的介电常数(ε)随外加直流电场的变化呈现非线性特性。纯BST材料由于较高的ε和较大的介电损耗(tanδ)不能满足移相器介质材料的要求。通过在BST中添加氧化铌(Nb2O5)来改善BST铁电陶瓷材料的介电性能。结果表明:在BST体系中微量掺杂Nb2O5,Nb5+以取代Ti4+的方式存在于钙钛矿的晶格中,形成均匀的固溶体Ba0.5Sr0.5Ti1–xNbxO3。随Nb5+添加量的增加,Curie峰逐渐变宽,峰高逐渐降低,相变弥散效应增强。Nb5+的掺杂能显著降低并稳定BST陶瓷的tanδ,改善BST体系的介电性能。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 铁电陶瓷 介电损耗 移相器
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钛酸锶钡薄膜微细图形的制备 被引量:5
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作者 张卫华 赵高扬 +1 位作者 李莺 赵卫 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1590-1594,共5页
采用化学修饰的溶胶凝胶工艺,制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)溶胶及其凝胶薄膜.提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新方法,即以苯酰丙酮(BzAcH)为化学修饰剂,乙酸钡、氯化锶、钛酸丁酯为原料,甲醇为溶剂,乳酸为催化剂,... 采用化学修饰的溶胶凝胶工艺,制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)溶胶及其凝胶薄膜.提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新方法,即以苯酰丙酮(BzAcH)为化学修饰剂,乙酸钡、氯化锶、钛酸丁酯为原料,甲醇为溶剂,乳酸为催化剂,合成了具有螯合物结构的前驱溶胶体系.其螯合物的特征吸收峰在358nm附近,该溶胶及其凝胶薄膜在室温下有较好的化学稳定性;高压汞灯产生的紫外光照射可以分解薄膜中的螯合物结构,伴随着这种螯合物结构的分解,薄膜在乙醇中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性.利用这种光感应特性,采用紫外光通过掩膜照射薄膜,然后在乙醇中溶洗,获得了凝胶薄膜的微细图形,进一步通过600℃晶化热处理,最后得到了具有钙钛矿相结构和铁电特性的钛酸锶钡薄膜的微细图形. 展开更多
关键词 钛酸锶钡 铁电薄膜 微细图形 溶胶凝胶
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钛酸锶钡结构与制备工艺研究进展 被引量:7
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作者 单连伟 马成国 +3 位作者 吴泽 董丽敏 韩志东 张显友 《信息记录材料》 2011年第1期54-56,60,共4页
钛酸锶钡[(Ba,Sr)TiO3,SBT]是1种重要的电子陶瓷材料,具有高介电常数、低漏电流、高热释电系数,高的介电可调等特性,广泛用于动态随机存储器、热释电探测器、介质移相器等电子元件的制备。综述了钛酸锶钡[(Ba,Sr)TiO3,SBT]的结构和制备... 钛酸锶钡[(Ba,Sr)TiO3,SBT]是1种重要的电子陶瓷材料,具有高介电常数、低漏电流、高热释电系数,高的介电可调等特性,广泛用于动态随机存储器、热释电探测器、介质移相器等电子元件的制备。综述了钛酸锶钡[(Ba,Sr)TiO3,SBT]的结构和制备工艺研究进展,评述了制备工艺和掺杂等对钛酸锶钡的结构和性能的影响,并指出了钛酸锶钡尚待解决的问题。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 结构 制备工艺
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