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面向宽温域功能器件的连续组分外延铁电薄膜
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作者 熊沛雨 倪壮 +7 位作者 林泽丰 柏欣博 刘天想 张翔宇 袁洁 王旭 石兢 金魁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期178-186,共9页
Ba_(x)Sr_(1–x)TiO_(3)(BST)铁电薄膜因为拥有高介电常数、强电场调谐性和较低的微波频段介电损耗可应用于微波可调谐器件.然而铁电材料中普遍存在的介电常数-温度依赖性使得常规单组分铁电薄膜的高可调率温区受制于相变温度,难以满足... Ba_(x)Sr_(1–x)TiO_(3)(BST)铁电薄膜因为拥有高介电常数、强电场调谐性和较低的微波频段介电损耗可应用于微波可调谐器件.然而铁电材料中普遍存在的介电常数-温度依赖性使得常规单组分铁电薄膜的高可调率温区受制于相变温度,难以满足宽温域适用性的需求.为研究可用于宽温域功能器件的铁电薄膜,采用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了单组分Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_(3)薄膜、Ba_(0.2)Sr_(0.8)TiO_(3)薄膜以及Ba_(0.2)Sr_(0.8)TiO_(3)/Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_(3)异质结构薄膜.通过对比其介电性能,发现垂直方向上Ba/Sr组分分布可有效改善BST薄膜的温度依赖性,然而异质结构的构建可能带来界面问题,同时也使其品质因子难以提升.本文提出采用独特的水平方向连续组分薄膜制备技术制备BST组合薄膜,有望在拓宽BST薄膜相变温区的同时避免界面控制的难题. 展开更多
关键词 ba_(x)sr_(1x)tio_(3)薄膜 可调谐微波器件 连续组分薄膜 温度依赖性
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非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器 被引量:8
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作者 唐军 程建功 褚君浩 《红外技术》 CSCD 北大核心 2001年第6期26-29,共4页
采用半导体微机械 (Micro Electro MechanicalSystem ,MEMS)技术制备了具有热隔离微桥的 8× 8元非致冷Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜红外探测器列阵原型器件。热释电性能优良的Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜是使用浓度为 0 .0 5M的前躯体溶液... 采用半导体微机械 (Micro Electro MechanicalSystem ,MEMS)技术制备了具有热隔离微桥的 8× 8元非致冷Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜红外探测器列阵原型器件。热释电性能优良的Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜是使用浓度为 0 .0 5M的前躯体溶液、采用Sol Gel制备的。在 5~ 30℃的温度范围内 ,Ba0 .8Sr0 .2 TiO3 薄膜的热释电系数大于 2 0nC cm2 K ,在 16 .8℃处达到最大值 4 1.3nC cm2 K。在 19℃的环境温度下 ,使用 5 0 0K黑体作为红外辐射源 ,测得 10Hz调制频率下 ,探测单元的探测率D 为 5 .9× 10 7cmHz1 2 W-1。 展开更多
关键词 铁电薄膜 红外探测器 非致冷钛酸锶钦
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