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MgO缓冲层上钡铁氧体(BaFe_(12)O_(19))薄膜的制备与性能研究
被引量:
1
1
作者
丁关凤
朱俊
+2 位作者
王水力
张菲
罗文博
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1130-1133,共4页
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0006)取向的蓝宝石基片上,通过MgO缓冲层诱导生长了BaFe12O19(BaM)薄膜,研究了沉积温度对BaM薄膜的晶体结构和磁性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在激光脉冲频率6Hz、激光能量180mJ、MgO缓冲...
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0006)取向的蓝宝石基片上,通过MgO缓冲层诱导生长了BaFe12O19(BaM)薄膜,研究了沉积温度对BaM薄膜的晶体结构和磁性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在激光脉冲频率6Hz、激光能量180mJ、MgO缓冲层的厚度50nm和沉积温度为750℃的条件下,制得的BaM薄膜c轴取向最好,其(0008)面的ω摇摆曲线半高宽(FWHM)仅为0.289°。扫描电子显微镜(SEM)结果显示此时薄膜的晶粒已有部分呈六角片状。振动样品磁强计(VSM)测试表明,在750℃时沉积的BaM薄膜面外饱和磁化强度为190A/m,剩磁比0.82,薄膜磁性能良好。
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关键词
脉冲激光沉积(PLD)
bam
薄膜
MgO缓冲层
面外磁性能
下载PDF
职称材料
溅射功率对M型钡铁氧体薄膜磁性能的影响
被引量:
1
2
作者
朱光伟
余忠
+3 位作者
孙科
许志勇
张霞
兰中文
《磁性材料及器件》
北大核心
2013年第3期4-7,共4页
采用射频磁控溅射法制备了c轴垂直膜面取向的M型钡铁氧体(BaM)薄膜,研究了溅射功率对BaM薄膜取向及磁性能的影响。结果表明,在溅射功率为80W、110W、140W和170W时所制备的BaM薄膜均具有一定程度的c轴垂直膜面取向,但溅射功率的增高会造...
采用射频磁控溅射法制备了c轴垂直膜面取向的M型钡铁氧体(BaM)薄膜,研究了溅射功率对BaM薄膜取向及磁性能的影响。结果表明,在溅射功率为80W、110W、140W和170W时所制备的BaM薄膜均具有一定程度的c轴垂直膜面取向,但溅射功率的增高会造成薄膜内晶粒取向混乱,导致薄膜磁晶各向异性降低;当溅射功率为140W时,薄膜具有最高饱和磁化强度(Ms)303kA/m和最小面外方向矫顽力(Hc⊥)191kA/m;适当低的溅射功率更有利于制得磁晶各向异性强的薄膜。
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关键词
bam
薄膜
射频磁控溅射
溅射功率
C轴取向
磁性能
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职称材料
柠檬酸对Sol-Gel法制备BaFe_(12)O_(19)薄膜性能的影响
3
作者
李慧
苏晓东
《苏州大学学报(自然科学版)》
CAS
2009年第3期58-62,共5页
用硝酸铁和硝酸钡作起始原料,柠檬酸作螯合剂,采用溶胶凝胶工艺(Sol-Gel)在S i(100)基片上制备出具有c轴取向的BaFe12O19铁氧体(BaM)薄膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和振动样品磁强计(VSM)对薄膜样品的成相、表面形貌及磁...
用硝酸铁和硝酸钡作起始原料,柠檬酸作螯合剂,采用溶胶凝胶工艺(Sol-Gel)在S i(100)基片上制备出具有c轴取向的BaFe12O19铁氧体(BaM)薄膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和振动样品磁强计(VSM)对薄膜样品的成相、表面形貌及磁性进行了分析,研究了配胶过程中所加入柠檬酸的量对薄膜磁学性能的影响,发现适量的柠檬酸的加入对BaM相的形成、晶粒的形状以及薄膜取向至关重要.
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关键词
bam
薄膜
柠檬酸
C轴取向
磁性
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职称材料
题名
MgO缓冲层上钡铁氧体(BaFe_(12)O_(19))薄膜的制备与性能研究
被引量:
1
1
作者
丁关凤
朱俊
王水力
张菲
罗文博
机构
电子科技大学
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期1130-1133,共4页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(61363)
国家自然科学基金资助项目(50772019)
文摘
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(0006)取向的蓝宝石基片上,通过MgO缓冲层诱导生长了BaFe12O19(BaM)薄膜,研究了沉积温度对BaM薄膜的晶体结构和磁性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明,在激光脉冲频率6Hz、激光能量180mJ、MgO缓冲层的厚度50nm和沉积温度为750℃的条件下,制得的BaM薄膜c轴取向最好,其(0008)面的ω摇摆曲线半高宽(FWHM)仅为0.289°。扫描电子显微镜(SEM)结果显示此时薄膜的晶粒已有部分呈六角片状。振动样品磁强计(VSM)测试表明,在750℃时沉积的BaM薄膜面外饱和磁化强度为190A/m,剩磁比0.82,薄膜磁性能良好。
关键词
脉冲激光沉积(PLD)
bam
薄膜
MgO缓冲层
面外磁性能
Keywords
pulsed laser deposition
bam
thin film
MgO buffer
out of plane magnetic properties
分类号
TN385 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
溅射功率对M型钡铁氧体薄膜磁性能的影响
被引量:
1
2
作者
朱光伟
余忠
孙科
许志勇
张霞
兰中文
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《磁性材料及器件》
北大核心
2013年第3期4-7,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51101028)
中央高校基金资助项目(E022050205)
文摘
采用射频磁控溅射法制备了c轴垂直膜面取向的M型钡铁氧体(BaM)薄膜,研究了溅射功率对BaM薄膜取向及磁性能的影响。结果表明,在溅射功率为80W、110W、140W和170W时所制备的BaM薄膜均具有一定程度的c轴垂直膜面取向,但溅射功率的增高会造成薄膜内晶粒取向混乱,导致薄膜磁晶各向异性降低;当溅射功率为140W时,薄膜具有最高饱和磁化强度(Ms)303kA/m和最小面外方向矫顽力(Hc⊥)191kA/m;适当低的溅射功率更有利于制得磁晶各向异性强的薄膜。
关键词
bam
薄膜
射频磁控溅射
溅射功率
C轴取向
磁性能
Keywords
bam
film
RF magnetron sputtering
sputtering power
c-axis orientation~ magnetic property
分类号
TM277 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
柠檬酸对Sol-Gel法制备BaFe_(12)O_(19)薄膜性能的影响
3
作者
李慧
苏晓东
机构
苏州大学物理科学与技术学院
出处
《苏州大学学报(自然科学版)》
CAS
2009年第3期58-62,共5页
文摘
用硝酸铁和硝酸钡作起始原料,柠檬酸作螯合剂,采用溶胶凝胶工艺(Sol-Gel)在S i(100)基片上制备出具有c轴取向的BaFe12O19铁氧体(BaM)薄膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和振动样品磁强计(VSM)对薄膜样品的成相、表面形貌及磁性进行了分析,研究了配胶过程中所加入柠檬酸的量对薄膜磁学性能的影响,发现适量的柠檬酸的加入对BaM相的形成、晶粒的形状以及薄膜取向至关重要.
关键词
bam
薄膜
柠檬酸
C轴取向
磁性
Keywords
bam
film
citric
c-axis texture
magnetic property
分类号
TM27 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MgO缓冲层上钡铁氧体(BaFe_(12)O_(19))薄膜的制备与性能研究
丁关凤
朱俊
王水力
张菲
罗文博
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
下载PDF
职称材料
2
溅射功率对M型钡铁氧体薄膜磁性能的影响
朱光伟
余忠
孙科
许志勇
张霞
兰中文
《磁性材料及器件》
北大核心
2013
1
下载PDF
职称材料
3
柠檬酸对Sol-Gel法制备BaFe_(12)O_(19)薄膜性能的影响
李慧
苏晓东
《苏州大学学报(自然科学版)》
CAS
2009
0
下载PDF
职称材料
已选择
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