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不同工艺线性稳压器电离辐射效应及退火特性 被引量：1
1
作者 孙江超 张小玲 +3 位作者 张彦秀 谢雪松 吕曼 吕长志 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期253-255,259,共4页
研究掺氯氧化+PE钝化、无氯氧化+PE钝化、掺氯氧化+BPSG钝化三种不同工艺线性稳压器的电离辐照响应及退火特性。实验结果发现,掺氯氧化+BPSG钝化工艺样品比其他两种工艺电离损伤明显减小,具有较强的抑制电离辐射损伤的能力。退火实验表... 研究掺氯氧化+PE钝化、无氯氧化+PE钝化、掺氯氧化+BPSG钝化三种不同工艺线性稳压器的电离辐照响应及退火特性。实验结果发现,掺氯氧化+BPSG钝化工艺样品比其他两种工艺电离损伤明显减小,具有较强的抑制电离辐射损伤的能力。退火实验表明,辐射感生的界面态是影响稳压器电离辐射性能的主要因素,减少界面态可大大提高器件抑制电离辐射损伤的能力。 展开更多
关键词 线性稳压器 电离辐射损伤 bpsg钝化 辐射加固
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