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BP_xN_(1-x)薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响 被引量：1
1
作者 徐世友 祁英昆 +1 位作者 张溪文 韩高荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期335-338,共4页
本文从应用出发 ,选择光学石英为衬底 ,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1 -x薄膜 ,对样品进行了X射线衍射 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、紫外 可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态 ,表面形貌随时间变化 ,最终为胞状 ... 本文从应用出发 ,选择光学石英为衬底 ,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1 -x薄膜 ,对样品进行了X射线衍射 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、紫外 可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态 ,表面形貌随时间变化 ,最终为胞状 ;紫外 可见光光谱结果显示BPxN1 -x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动。因此 ,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整。另外 ,BPxN1 展开更多
关键词 bpxn1-x薄膜 制备 磷元素 掺杂 紫外液晶光阀 光学能隙 热丝辅助射频化学气相沉积 氮化硼
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