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自动阻抗调配器的校准技术探讨 被引量：2
1
作者 吴爱华 刘晨 +3 位作者 栾鹏 孙晓颖 梁法国 郑延秋 《宇航计测技术》 CSCD 2013年第5期19-22,共4页
自动阻抗调配器在微电子行业应用越来越广泛,但是目前国内还没有计量技术机构开展该类仪器的计量校准工作,本文介绍了其机械结构、工作原理,设计了控制模型,组建了校准系统,实现了主要参数矢量重复性、驻波比和插入损耗的校准工作。
关键词 阻抗调配器 矢量重复性 驻波比 插入损耗
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