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AuGe/Au与GaAs退火处理特性研究
被引量：
2
1
作者
肖和平
朱迪
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期730-735,共6页
AuGe合金具有接触电阻低与GaAs衬底粘附性好等特点,广泛应用于金属/半导体(M/S)器件中以形成欧姆接触.在GaAs表面蒸镀AuGe/Au材料,经不同温度快速热退火后,使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)和X射线衍射仪对样品欧...
AuGe合金具有接触电阻低与GaAs衬底粘附性好等特点,广泛应用于金属/半导体(M/S)器件中以形成欧姆接触.在GaAs表面蒸镀AuGe/Au材料,经不同温度快速热退火后,使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)和X射线衍射仪对样品欧姆接触的界面特性进行了分析。随着退火温度的升高,接触电阻呈现V型趋势,AuGe部分分解,Au、Ge向GaAs界面扩散,Ga、As向金属层扩散,金属表层出现暗灰色孔状物,主要成分为AuGa、AuGaAs等,此外Ge、Ga的结合能增加0.3～0.6 eV, Ga^(3+)、Ge^(4+)高价态的占比增加,Ge含量为10%的材料作为n-GaAs接触电极,退火温度在380～420℃之间可使其形成良好的欧姆接触.
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关键词
光电子学
auge
合金
GAAS
退火处理
欧姆接触
结合能
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职称材料
水平连铸AuGe12合金的组织及偏析
被引量：
3
2
作者
朱勇
阳岸恒
+3 位作者
张济祥
邓志明
谢宏潮
孔建稳
《特种铸造及有色合金》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期1077-1079,共3页
采用水平连铸制备了AuGe12合金,重点考察了铸造过程中氮气量对铸锭合金组织和偏析的影响。结果表明,连铸过程中随着氮气通入量的增加,搅拌作用增强,使得熔融的Au-Ge合金晶枝细化,晶枝间距变短,逐步演变为等轴晶。且随着氮气通入量的增加...
采用水平连铸制备了AuGe12合金,重点考察了铸造过程中氮气量对铸锭合金组织和偏析的影响。结果表明,连铸过程中随着氮气通入量的增加,搅拌作用增强,使得熔融的Au-Ge合金晶枝细化,晶枝间距变短,逐步演变为等轴晶。且随着氮气通入量的增加,AuGe12合金的偏析程度明显改善。
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关键词
auge
12
合金
水平连铸
组织
偏析
原文传递
题名
AuGe/Au与GaAs退火处理特性研究
被引量：
2
1
作者
肖和平
朱迪
机构
扬州乾照光电有限公司
出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期730-735,共6页
文摘
AuGe合金具有接触电阻低与GaAs衬底粘附性好等特点,广泛应用于金属/半导体(M/S)器件中以形成欧姆接触.在GaAs表面蒸镀AuGe/Au材料,经不同温度快速热退火后,使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)和X射线衍射仪对样品欧姆接触的界面特性进行了分析。随着退火温度的升高,接触电阻呈现V型趋势,AuGe部分分解,Au、Ge向GaAs界面扩散,Ga、As向金属层扩散,金属表层出现暗灰色孔状物,主要成分为AuGa、AuGaAs等,此外Ge、Ga的结合能增加0.3～0.6 eV, Ga^(3+)、Ge^(4+)高价态的占比增加,Ge含量为10%的材料作为n-GaAs接触电极,退火温度在380～420℃之间可使其形成良好的欧姆接触.
关键词
光电子学
auge
合金
GAAS
退火处理
欧姆接触
结合能
Keywords
optoelectronics
auge
alloy
GaAs
annealing treatment
Ohmic contact
bonding energy
分类号
O472 [理学—半导体物理]
下载PDF
职称材料
题名
水平连铸AuGe12合金的组织及偏析
被引量：
3
2
作者
朱勇
阳岸恒
张济祥
邓志明
谢宏潮
孔建稳
机构
贵研铂业股份有限公司
出处
《特种铸造及有色合金》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期1077-1079,共3页
基金
国家科技支撑计划资助项目(2012BAE06B05)
文摘
采用水平连铸制备了AuGe12合金,重点考察了铸造过程中氮气量对铸锭合金组织和偏析的影响。结果表明,连铸过程中随着氮气通入量的增加,搅拌作用增强,使得熔融的Au-Ge合金晶枝细化,晶枝间距变短,逐步演变为等轴晶。且随着氮气通入量的增加,AuGe12合金的偏析程度明显改善。
关键词
auge
12
合金
水平连铸
组织
偏析
Keywords
auge
12 Alloy
Horizontal Continuous Casting
Microstructure
Segregation
分类号
TG249.7 [金属学及工艺—铸造]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AuGe/Au与GaAs退火处理特性研究
肖和平
朱迪
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018
2
下载PDF
职称材料
2
水平连铸AuGe12合金的组织及偏析
朱勇
阳岸恒
张济祥
邓志明
谢宏潮
孔建稳
《特种铸造及有色合金》
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
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