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无定形a—Si:F:H的特点及其微观分析
1
作者
郑儒嘉
《上海工程技术大学学报》
CAS
1994年第2期16-19,共4页
本文叙述用辉光放电分解SiF_2和H_2的混合物形成无定形a-Si:F:H薄膜。这种薄膜具有高电导率,高载流子寿命,高热稳定性以及低杂质扩散等优点,并试从结构上加以初步分析。
关键词
无定形硅
薄膜
微观分析
下载PDF
职称材料
题名
无定形a—Si:F:H的特点及其微观分析
1
作者
郑儒嘉
机构
上海工程技术大学纺织学院
出处
《上海工程技术大学学报》
CAS
1994年第2期16-19,共4页
文摘
本文叙述用辉光放电分解SiF_2和H_2的混合物形成无定形a-Si:F:H薄膜。这种薄膜具有高电导率,高载流子寿命,高热稳定性以及低杂质扩散等优点,并试从结构上加以初步分析。
关键词
无定形硅
薄膜
微观分析
Keywords
amorphous
silicon
thin
films
charge
carriers
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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作者
出处
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1
无定形a—Si:F:H的特点及其微观分析
郑儒嘉
《上海工程技术大学学报》
CAS
1994
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