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Ti_2AlNb基合金表面磁控溅射Al/Al_2O_3薄膜及扩散处理对其抗高温氧化性能的影响
被引量：
3
1
作者
崔世宇
缪强
+3 位作者
梁文萍
徐一
杨晶晶
张志刚
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期47-50,8,共4页
为提高Ti2Al Nb合金的抗高温氧化性能,在Ti2AlNb合金表面磁控溅射Al/Al2O3薄膜,于真空退火炉内对其进行600℃,1 h扩散处理后,分别在650,750,850℃下氧化100 h。利用XRD,SEM,EDS技术对基体和扩散试样的相组成、微观形貌进行了分析;研究了...
为提高Ti2Al Nb合金的抗高温氧化性能,在Ti2AlNb合金表面磁控溅射Al/Al2O3薄膜,于真空退火炉内对其进行600℃,1 h扩散处理后,分别在650,750,850℃下氧化100 h。利用XRD,SEM,EDS技术对基体和扩散试样的相组成、微观形貌进行了分析;研究了Al/Al2O3薄膜扩散层的抗高温氧化性能及扩散处理对Al/Al2O3薄膜氧化动力学曲线的影响。结果表明:Al/Al2O3薄膜扩散层的氧化行为受氧离子渗入薄膜运动过程的控制,在高温条件下表层形成连续致密的Al2O3膜,使薄膜扩散层的氧化系数远低于基体,并且次表层的富铝相能有效阻止氧离子扩散通道的形成,减少基体与氧化性气体接触,从而显著提高Ti2Al Nb基合金的抗高温氧化性能。
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关键词
磁控溅射
al
/
al
2
o
3薄膜
扩散处理
抗高温氧化性能
氧化系数
下载PDF
职称材料
2 kW射频板条CO_2激光器电极表面膜特性研究
被引量：
3
2
作者
杨卫红
张雪
李建东
《应用激光》
CSCD
北大核心
2019年第1期136-142,共7页
国内高功率射频板条CO_2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率。针对以上问题,课题组研制了Al+Al_2O_3混合波导介质膜,对该电极膜层进行了成分分析,...
国内高功率射频板条CO_2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率。针对以上问题,课题组研制了Al+Al_2O_3混合波导介质膜,对该电极膜层进行了成分分析,测试了抗电子溅射能力,检测了膜层表面对CO_2光波反常色散特性。结果表明,镀膜层主要成分为Al和O,原子数Al∶O远大于2∶3,膜层结构为Al+Al_2O_3,满足电极镀膜层结构设计。测试了不同角度下的反射率,在掠入射角为10°～170°时,Al_2O_3膜层对波长10.6μm CO_2光波的最高反射率为85%。Al_2O_3镀膜电极2 kW射频板条CO_2激光器,电光转换效率平均为10.4%;裸铜电极2 kW射频板条CO_2激光器,平均电光转换效率为6.5%。
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关键词
射频板条C
o
2
激光器
al
+
al
2
o
3波导介质膜
受激光电子溅射
激光损伤
波导损耗
原文传递
磁控共溅射沉积Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能
被引量：
1
3
作者
王凯亮
孙勇
+2 位作者
郭中正
段永华
孙国琪
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期184-189,共6页
用直流(DC)和射频(RF)磁控共溅射法在硅衬底上制备Al-Al_2O_3复合膜,用射频磁控溅射Al_2O_3膜作对比。通过XPS、XRD、HRTEM、FESEM和SPM研究了Al-Al_2O_3复合膜和纯Al_2O_3膜的微观结构和表面形貌,用纳米压痕仪和材料表面性能测试仪测...
用直流(DC)和射频(RF)磁控共溅射法在硅衬底上制备Al-Al_2O_3复合膜,用射频磁控溅射Al_2O_3膜作对比。通过XPS、XRD、HRTEM、FESEM和SPM研究了Al-Al_2O_3复合膜和纯Al_2O_3膜的微观结构和表面形貌,用纳米压痕仪和材料表面性能测试仪测试了样品的显微硬度和抗摩擦磨损性能。结果表明,当射频功率PRF恒定时,Al-Al_2O_3复合膜中Al相的含量和晶粒尺寸与直流功率PDC呈正比关系,Al的加入使Al-Al_2O_3复合膜中非晶态的Al_2O_3颗粒细化,相比纯Al_2O_3膜,表面粗糙度明显降低,并对复合膜力学性能产生影响。Al-Al_2O_3复合膜的硬度高于纯Al_2O_3膜,并具有更加优异的抗摩擦磨损性。直流功率PDC=50 W时,Al-Al_2O_3复合膜综合性能最佳,硬度达到14.4 GPa,摩擦因数低至0.15。
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关键词
磁控共溅射
al
-
al
2
o
3复合膜
微观结构
表面形貌
显微硬度
抗摩擦磨损性能
原文传递
题名
Ti_2AlNb基合金表面磁控溅射Al/Al_2O_3薄膜及扩散处理对其抗高温氧化性能的影响
被引量：
3
1
作者
崔世宇
缪强
梁文萍
徐一
杨晶晶
张志刚
机构
南京航空航天大学材料科学与技术学院
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期47-50,8,共4页
基金
国家自然科学基金面上项目(51174119)
航空科学基金(2012ZF52071)
南京航空航天大学博士学位论文创新与创优基金(BCXJ-1411)资助
文摘
为提高Ti2Al Nb合金的抗高温氧化性能,在Ti2AlNb合金表面磁控溅射Al/Al2O3薄膜,于真空退火炉内对其进行600℃,1 h扩散处理后,分别在650,750,850℃下氧化100 h。利用XRD,SEM,EDS技术对基体和扩散试样的相组成、微观形貌进行了分析;研究了Al/Al2O3薄膜扩散层的抗高温氧化性能及扩散处理对Al/Al2O3薄膜氧化动力学曲线的影响。结果表明:Al/Al2O3薄膜扩散层的氧化行为受氧离子渗入薄膜运动过程的控制,在高温条件下表层形成连续致密的Al2O3膜,使薄膜扩散层的氧化系数远低于基体,并且次表层的富铝相能有效阻止氧离子扩散通道的形成,减少基体与氧化性气体接触,从而显著提高Ti2Al Nb基合金的抗高温氧化性能。
关键词
磁控溅射
al
/
al
2
o
3薄膜
扩散处理
抗高温氧化性能
氧化系数
Keywords
magnetr
o
n
sputtering
al
/
al
2
o
3
film
diffusi
o
n
treatment
high-temperature
o
xidati
o
n
resistance
o
xidati
o
n
c
o
efficient
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
2 kW射频板条CO_2激光器电极表面膜特性研究
被引量：
3
2
作者
杨卫红
张雪
李建东
机构
文华学院机械与电气工程学部
武昌理工学院信息工程学院
天津市蓟州区下营医院
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2019年第1期136-142,共7页
基金
博士基金资助项目(项目编号:2014AAA02)
文摘
国内高功率射频板条CO_2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率。针对以上问题,课题组研制了Al+Al_2O_3混合波导介质膜,对该电极膜层进行了成分分析,测试了抗电子溅射能力,检测了膜层表面对CO_2光波反常色散特性。结果表明,镀膜层主要成分为Al和O,原子数Al∶O远大于2∶3,膜层结构为Al+Al_2O_3,满足电极镀膜层结构设计。测试了不同角度下的反射率,在掠入射角为10°～170°时,Al_2O_3膜层对波长10.6μm CO_2光波的最高反射率为85%。Al_2O_3镀膜电极2 kW射频板条CO_2激光器,电光转换效率平均为10.4%;裸铜电极2 kW射频板条CO_2激光器,平均电光转换效率为6.5%。
关键词
射频板条C
o
2
激光器
al
+
al
2
o
3波导介质膜
受激光电子溅射
激光损伤
波导损耗
Keywords
RF
slab
C
o
2
laser
al
+
al
2
o
3
waveguide
dielectric
film
laser
electr
o
n
sputtering
laser
damage
waveguide
l
o
ss
分类号
TG456.7 [金属学及工艺—焊接]
原文传递
题名
磁控共溅射沉积Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能
被引量：
1
3
作者
王凯亮
孙勇
郭中正
段永华
孙国琪
机构
昆明理工大学材料科学与工程学院
昆明理工大学云南省新材料制备与加工重点实验室
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期184-189,共6页
基金
国家自然科学基金(51201079)
文摘
用直流(DC)和射频(RF)磁控共溅射法在硅衬底上制备Al-Al_2O_3复合膜,用射频磁控溅射Al_2O_3膜作对比。通过XPS、XRD、HRTEM、FESEM和SPM研究了Al-Al_2O_3复合膜和纯Al_2O_3膜的微观结构和表面形貌,用纳米压痕仪和材料表面性能测试仪测试了样品的显微硬度和抗摩擦磨损性能。结果表明,当射频功率PRF恒定时,Al-Al_2O_3复合膜中Al相的含量和晶粒尺寸与直流功率PDC呈正比关系,Al的加入使Al-Al_2O_3复合膜中非晶态的Al_2O_3颗粒细化,相比纯Al_2O_3膜,表面粗糙度明显降低,并对复合膜力学性能产生影响。Al-Al_2O_3复合膜的硬度高于纯Al_2O_3膜,并具有更加优异的抗摩擦磨损性。直流功率PDC=50 W时,Al-Al_2O_3复合膜综合性能最佳,硬度达到14.4 GPa,摩擦因数低至0.15。
关键词
磁控共溅射
al
-
al
2
o
3复合膜
微观结构
表面形貌
显微硬度
抗摩擦磨损性能
Keywords
magnetr
o
n
c
o
-sputtering
al
-
al
2
o
3
c
o
mp
o
site
film
micr
o
structure
surface
m
o
rph
o
l
o
gies
micr
o
hardness
fricti
o
n
wear
resistance
分类号
TB333 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ti_2AlNb基合金表面磁控溅射Al/Al_2O_3薄膜及扩散处理对其抗高温氧化性能的影响
崔世宇
缪强
梁文萍
徐一
杨晶晶
张志刚
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
下载PDF
职称材料
2
2 kW射频板条CO_2激光器电极表面膜特性研究
杨卫红
张雪
李建东
《应用激光》
CSCD
北大核心
2019
3
原文传递
3
磁控共溅射沉积Al-Al_2O_3复合膜的结构与性能
王凯亮
孙勇
郭中正
段永华
孙国琪
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
原文传递
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