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新型氮化铝AlN晶体高温压电振动传感器 被引量:6
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作者 陈丽洁 徐兴烨 +3 位作者 雷亚辉 杨月 朴胜春 张丽 《中国电子科学研究院学报》 北大核心 2020年第12期1212-1218,共7页
AlN的禁带宽度可达6.2 eV,并具有直接带隙,是重要的蓝光和紫外发光材料;同时AlN具有热导率高,熔点高,电阻率高,击穿场强大,介电系数小等多种优异性能,是优异的高温、高频和大功率器件用电子材料;沿c轴取向的AlN还具有非常好的压电性和... AlN的禁带宽度可达6.2 eV,并具有直接带隙,是重要的蓝光和紫外发光材料;同时AlN具有热导率高,熔点高,电阻率高,击穿场强大,介电系数小等多种优异性能,是优异的高温、高频和大功率器件用电子材料;沿c轴取向的AlN还具有非常好的压电性和声表面波高速传播性能,是一种优异的压电材料。由于AlN属于宽禁带材料,因此具有很好的稳定性。据此本文提出采用AlN晶体作为压电传感器新型敏感元件设计制作耐高温传感器新的技术路线与方法。为证明AlN晶体可以在传感器技术方面发挥独特的作用,文中以振动传感器为例开展AlN新型振动传感器设计研究,并与常规压电陶瓷振动传感器进行比对测试试验验证研究工作。分别采用AlN晶体和压电陶瓷敏感材料设计制作振动传感器比对样品,通过在振动台上进行比对标定测试,验证了用AlN晶体设计制作的振动传感器可以获得很好的灵敏度特性和频率响应特性;通过在150℃范围内进行的升、降温过程中对传感器的灵敏度频率特性标定测试试验,可初步确认采用AlN晶体作为压电敏感材料设计制作的振动传感器具有优于压电陶瓷振动传感器的温度灵敏度稳定性。因此,AlN晶体有望成为支撑更高温度振动测量传感器的核心关键敏感材料和研发其它可耐受高温环境压电传感器可行的技术路线之一,值得后续深入开展相关技术与工艺的研究工作。 展开更多
关键词 aln晶体 压电陶瓷 高温 振动 灵敏度 频率响应
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三元层状陶瓷M-Al-N(M=Ti,Zr,Hf)的结构及力学性质的第一性原理模拟 被引量:4
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作者 彭军辉 《计算物理》 EI CSCD 北大核心 2020年第5期603-611,共9页
基于第一性原理方法,探索M-Al-N(M=Ti,Zr,Hf)结构的稳定性,计算其力学性质.计算M-Al-N化合物的能量,发现除实验已知的结构Ti2AlN和Ti4AlN3、Zr2AlN、Hf2AlN外,还存在两种新的热力学稳定结构Zr4AlN3、Hf4AlN3.弹性常数和声子谱的计算,表... 基于第一性原理方法,探索M-Al-N(M=Ti,Zr,Hf)结构的稳定性,计算其力学性质.计算M-Al-N化合物的能量,发现除实验已知的结构Ti2AlN和Ti4AlN3、Zr2AlN、Hf2AlN外,还存在两种新的热力学稳定结构Zr4AlN3、Hf4AlN3.弹性常数和声子谱的计算,表明这两个结构是力学稳定和晶格动力学稳定的.计算M2AlN和M4AlN3的力学性质,发现它们具有高的体模量、剪切模量、弹性模量、维氏硬度等;分析其力学性质随组分比例、组成元素的变化规律,为该类材料的选择和应用提供理论依据.最后计算M2AlN和M4AlN3的电子态密度和分态密度、电子密度分布、Mulliken群分析等. 展开更多
关键词 M-al-n(M=Ti Zr Hf) 第一性原理 晶体结构 力学性能
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VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应 被引量:2
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作者 孔明 董云杉 +2 位作者 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1758-1762,共5页
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,V... 采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,VN/(Ti,Al)N纳米多层膜沿薄膜生长方向呈现出具有面心立方(111)晶面择优取向的共格外延生长结构.由于存在晶格错配,在共格界面作用下,VN和(Ti,Al)N调制层分别受到拉、压应力,在多层膜中产生以调制周期为周期的交变应力场.这种应力场大大阻碍了薄膜中位错穿过界面的运动,从而导致薄膜产生硬度和弹性模量异常升高的超硬效应,并在调制周期为5.6 nm时,达到硬度和弹性模量的最高值38.4GPa和421 GPa.进一步增加调制周期,两调制层之间产生非共格界面,破坏了薄膜中的交变应力场,薄膜的硬度和弹性模量也随之降低. 展开更多
关键词 Vn/(Ti al)n纳米多层膜 晶体生长 共格界面 力学性能
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氮分压对反应溅射(Ti,Al)N薄膜微结构与力学性能的影响 被引量:2
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作者 梅芳华 邵楠 +1 位作者 魏仑 李戈扬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期61-64,共4页
采用Ti Al复合靶在不同氮分压下制备了一系列 (Ti,Al)N薄膜 ,用EDS、XRD、TEM和微力学探针表征了薄膜的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能。结果表明 ,氮分压对 (Ti,Al)N薄膜影响显著 :合适的氮分压可以得到化学计量比的(Ti,Al)N薄... 采用Ti Al复合靶在不同氮分压下制备了一系列 (Ti,Al)N薄膜 ,用EDS、XRD、TEM和微力学探针表征了薄膜的沉积速率、化学成分、微结构和力学性能。结果表明 ,氮分压对 (Ti,Al)N薄膜影响显著 :合适的氮分压可以得到化学计量比的(Ti,Al)N薄膜 ,薄膜为单相组织 ,并呈现 (111)择优取向 ,最高硬度和弹性模量分别达到 34.4GPa和 392GPa ;过低的氮分压不但会造成薄膜贫氮 ,而且薄膜中的Al含量偏低 ,硬度不高 ;过高的氮分压下 ,由于存在”靶中毒”现象 ,尽管薄膜的成分无明显变化 ,但会大大降低其沉积速率 ,并使薄膜形成纳米晶或非晶态结构 ,薄膜的硬度也较低。 展开更多
关键词 (TI al)n 薄膜 力学性能 硬度 力学探针 相组织 EDS 分压 反应溅射 微结构
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渗碳钢20Cr混晶控制工艺实践
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作者 王磊 《南钢科技与管理》 2017年第3期5-10,共6页
渗碳钢20Cr Ф34mm热轧圆钢,车削加工成零件后进行渗碳处理,存在严重混晶现象。为解决这一问题,通过对影响渗碳钢20Cr本质晶粒度相关因素进行分析,采取调整钢中N、Al含量及其比值以及优化轧钢加热制度等方法,混晶现象得到解决。对实验... 渗碳钢20Cr Ф34mm热轧圆钢,车削加工成零件后进行渗碳处理,存在严重混晶现象。为解决这一问题,通过对影响渗碳钢20Cr本质晶粒度相关因素进行分析,采取调整钢中N、Al含量及其比值以及优化轧钢加热制度等方法,混晶现象得到解决。对实验结果进行可重复性验证,均能控制混晶现象发生,因此新工艺可行、可靠,具有可推广价值。 展开更多
关键词 渗碳钢 混晶 al/n比值
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蓝色离子型陶瓷墨水的制备及其发色机理的探究
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作者 江超 余开明 +1 位作者 张优 余少华 《中国陶瓷》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期50-56,共7页
采用EDTA络合法,以可溶性金属盐作为主要原料,形成的金属络合物作为发色体,可制备出无沉淀、发色稳定的蓝色墨水。研究了不同n(Al)/n(Co)比和不同烧成温度对离子型蓝色墨水呈色的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、热重差热分析仪(TG-DTA)、... 采用EDTA络合法,以可溶性金属盐作为主要原料,形成的金属络合物作为发色体,可制备出无沉淀、发色稳定的蓝色墨水。研究了不同n(Al)/n(Co)比和不同烧成温度对离子型蓝色墨水呈色的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、热重差热分析仪(TG-DTA)、紫外-可见光吸收光谱(UV-vis)、傅里叶红外光谱仪(FT-IR)等手段表征了离子型蓝色墨水。结果表明:当n(Al)/n(Co)为2∶0.65时,色度值为L*=45.64,a*=-0.22,b*=-46.67,样品呈现亮蓝色,呈色最佳。对六组不同n(Al)/n(Co)比配制的墨水进行理化性能的测试,其黏度范围在10~30 mPa·s,表面张力在50~65 mN/m,pH值在7.27~7.76之间,墨水静置5个月后,无沉淀且均一、稳定,符合GB/T38985-2020要求。 展开更多
关键词 离子型墨水 金属络合物 n(al)/n(Co)比 无沉淀 EDTA络合法 Coal2O4尖晶石晶体
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