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Ag-Cu/Ti双层膜复合体系结合强度测试方法研究 被引量:5
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作者 石广田 石宗利 +2 位作者 俞焕然 李重庵 王彦平 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期48-53,共6页
用粘结法和划痕法测试了 Ag- Cu/Ti双层膜复合体系的结合强度 ,并对其实验结果进行了分析、对比和讨论 .结果表明 :由于受胶结合强度的限制 ,粘结法只适用于中低结合强度的测试 ;划痕法适用于软金属薄膜结合强度的测试 ,尤其对高结合强... 用粘结法和划痕法测试了 Ag- Cu/Ti双层膜复合体系的结合强度 ,并对其实验结果进行了分析、对比和讨论 .结果表明 :由于受胶结合强度的限制 ,粘结法只适用于中低结合强度的测试 ;划痕法适用于软金属薄膜结合强度的测试 ,尤其对高结合强度的薄膜特别有效 ,而且能测出双层膜或多层膜中薄膜之间的结合强度和膜基界面的结合强度 . 展开更多
关键词 Ag-Cu/ti双层膜 结合强度 粘结测试法 划痕测试法
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