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基于Sagnac干涉仪的保偏光子晶体光纤氢气传感器 被引量：13
1
作者 杨远洪 王欢 +5 位作者 杨福铃 刘齐荣 刁训刚 张毅 庄志 毛勇建 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期77-81,共5页
提出了一种基于Sagnac干涉仪的保偏光子晶体光纤（PM-PCF）氢气传感器,建立了传感模型并进行了实验研究和验证。采用对靶磁控溅射技术将钯银（Pd/Ag）合金快速均匀地沉积在保偏光子晶体光纤侧面,并利用Pd吸收氢气后的形变调制保偏光子... 提出了一种基于Sagnac干涉仪的保偏光子晶体光纤（PM-PCF）氢气传感器,建立了传感模型并进行了实验研究和验证。采用对靶磁控溅射技术将钯银（Pd/Ag）合金快速均匀地沉积在保偏光子晶体光纤侧面,并利用Pd吸收氢气后的形变调制保偏光子晶体光纤的双折射,通过测量Sagnac干涉仪输出光谱峰值的变化实现氢气浓度的测量。实验结果表明该传感器可检测的氢气浓度范围为0%～4%,且具有良好的重复性。室温下对低浓度氢气具有较高的灵敏度,氢气浓度由0%变化到1%时的波长偏移量达1.307nm。采用双折射温度不敏感的保偏光子晶体光纤,可很好地抑制外界温度变化对传感器的干扰。 展开更多
关键词 光纤光学 氢气传感器 光子晶体光纤 对靶磁控溅射 Pd ag合金膜
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不同银含量的Pd-Ag复合膜微结构光栅光纤氢气传感特性 被引量：7
2
作者 周贤 杨沫 +3 位作者 明兴祖 邬国秀 张文 戴玉堂 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期83-91,共9页
研究了不同钯银合金原子比例复合膜对微结构光纤光栅氢气传感特性的影响.使用飞秒激光在布拉格光栅光纤包层加工螺旋微结构,将磁控溅射方法制备的不同钯银原子比例的合金膜镀在螺旋微结构表面,研制优化钯银合金比例的新型微结构布拉格... 研究了不同钯银合金原子比例复合膜对微结构光纤光栅氢气传感特性的影响.使用飞秒激光在布拉格光栅光纤包层加工螺旋微结构,将磁控溅射方法制备的不同钯银原子比例的合金膜镀在螺旋微结构表面,研制优化钯银合金比例的新型微结构布拉格光栅光纤氢气传感器.采用扫描电子显微镜和能谱仪对Pd-Ag薄膜进行表征和分析,对三种不同钯银原子含量(Pd∶Ag=2∶1,4∶1,6∶1)的微结构布拉格光栅光纤探头进行氢气传感测试.在室温条件下,钯银原子比例为4∶1的微结构探头具有最佳的氢气传感性能,钯银原子比例为2∶1的微结构探头响应速度最快,但是灵敏度最低.在4%氢气浓度下,螺旋微结构传感器的漂移量达到107pm,对比同类型布拉格光栅光纤氢气传感器,具有更高的灵敏度和更快响应速度. 展开更多
关键词 氢气传感器 飞秒激光 Pd-ag合金膜 微结构 布拉格光栅光纤
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脉冲激光沉积Pd/Ag膜的工艺研究 被引量：3
3
作者 胡畔 童杏林 +4 位作者 胡巍 蔡婷 郭倩 王坤 赵敏利 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2015年第1期238-243,共6页
脉冲激光沉积(PLD)镀膜法是一种制备光纤氢气传感器的潜在方法,利用脉冲准分子激光低温沉积技术,在光纤法布里-珀罗(F-P)腔的敏感膜片上制备了钯/银(Pd/Ag)合金薄膜,X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征显示在较高的脉冲激光能量和... 脉冲激光沉积(PLD)镀膜法是一种制备光纤氢气传感器的潜在方法,利用脉冲准分子激光低温沉积技术,在光纤法布里-珀罗(F-P)腔的敏感膜片上制备了钯/银(Pd/Ag)合金薄膜,X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征显示在较高的脉冲激光能量和低温下可以获得结晶度好的Pd/Ag合金薄膜。将该F-P腔封装在限制Pd/Ag膜层吸氢后膨胀方向的套管结构中,利用Pd/Ag膜层吸氢后膨胀导致F-P腔腔长改变的特性制备了氢气传感探头来测试该Pd/Ag膜的氢气敏感特性,实验结果表明,该传感器可以用来检测氢气浓度的变化。 展开更多
关键词 材料 薄膜 传感器 Pd/ag合金膜 脉冲激光沉积 真空镀膜
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Pd-Ag合金膜拉锥光纤H_2敏传感器研究 被引量：1
4
作者 胡建东 林志立 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期310-313,共4页
采用熔融拉锥机,制作了具有均匀腰锥的H2敏传感器结构。拉锥长度设定为9000μm,拉锥速度0.1mm/s,火焰高度为3mm,拉锥后光纤的腰锥体处的均匀直径为30μm。用电子束蒸发装置在拉锥光纤均匀锥段表面上生长H2敏Pd-Ag合金薄膜,镀膜室内真空... 采用熔融拉锥机,制作了具有均匀腰锥的H2敏传感器结构。拉锥长度设定为9000μm,拉锥速度0.1mm/s,火焰高度为3mm,拉锥后光纤的腰锥体处的均匀直径为30μm。用电子束蒸发装置在拉锥光纤均匀锥段表面上生长H2敏Pd-Ag合金薄膜,镀膜室内真空度为2.9×10-3Pa,束流为0.35A/s,沉积时间为10min,膜厚为50nm。设计了拉锥光纤H2敏传感器的实验装置,测试数据表明:Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器能够精确检测低于4%的H2浓度,适合于单点或多点分布式H2泄漏探测。 展开更多
关键词 拉锥光纤传感器 H2传感器 Pd-ag合金膜
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