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连苯三酚缩二乙烯基苯树脂活性醚化物的合成与成像应用
1
作者
沙栩正
庞玉莲
邹应全
《高分子学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1448-1458,共11页
通过乙烯基乙醚和连苯三酚缩二乙烯基苯树脂(PDVB resin)的羟基加成,合成了具有缩醛结构的活性醚化物,并对该活性醚化物的合成条件进行优化.这种具有缩醛结构的活性醚化物具有常温酸解和热解性能,作为阻溶促溶剂可用于常温化学增幅阳图...
通过乙烯基乙醚和连苯三酚缩二乙烯基苯树脂(PDVB resin)的羟基加成,合成了具有缩醛结构的活性醚化物,并对该活性醚化物的合成条件进行优化.这种具有缩醛结构的活性醚化物具有常温酸解和热解性能,作为阻溶促溶剂可用于常温化学增幅阳图感光成像和阳图热敏成像中.用于阳图热敏CTP感热成像配方中,使得版材具有高感度、高抗碱性、高稳定性;用于阳图CTcP感光成像配方中,使得该版材的综合成像性能优良;用于正性光致抗蚀剂成像配方中,使得该正性光致抗蚀剂具有高感度和高分辨率。
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关键词
活性醚化物
阻溶促溶剂
阳图热敏CTP版
阳图CTcP版
正性抗蚀剂
原文传递
题名
连苯三酚缩二乙烯基苯树脂活性醚化物的合成与成像应用
1
作者
沙栩正
庞玉莲
邹应全
机构
北京师范大学化学学院
出处
《高分子学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1448-1458,共11页
文摘
通过乙烯基乙醚和连苯三酚缩二乙烯基苯树脂(PDVB resin)的羟基加成,合成了具有缩醛结构的活性醚化物,并对该活性醚化物的合成条件进行优化.这种具有缩醛结构的活性醚化物具有常温酸解和热解性能,作为阻溶促溶剂可用于常温化学增幅阳图感光成像和阳图热敏成像中.用于阳图热敏CTP感热成像配方中,使得版材具有高感度、高抗碱性、高稳定性;用于阳图CTcP感光成像配方中,使得该版材的综合成像性能优良;用于正性光致抗蚀剂成像配方中,使得该正性光致抗蚀剂具有高感度和高分辨率。
关键词
活性醚化物
阻溶促溶剂
阳图热敏CTP版
阳图CTcP版
正性抗蚀剂
Keywords
active
ether
compounds
Inhibitational/accelerational
reagents
Positive
thermal
CTP
plates
Positive
CTcP
plates
Positive
photoresist
分类号
TS804 [轻工技术与工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
连苯三酚缩二乙烯基苯树脂活性醚化物的合成与成像应用
沙栩正
庞玉莲
邹应全
《高分子学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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已选择
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参考文献
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