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一种下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏装置 被引量：11
1
作者 卢耀文 李得天 +6 位作者 齐京 董云宁 王欢 闫睿 杨传森 延峰 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期1-5,共5页
为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s... 为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-15)Pa·m^3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12～5×10^(-16)Pa·m^3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%～13%。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏 累积比较法 标准气体流量 非线性
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超灵敏度真空检漏技术进展 被引量：1
2
作者 董云宁 闫睿 +11 位作者 梁进智 魏萌萌 余荣 崔健 崔玉妹 佟亚珍 王欢 王汐月 陈俊儒 杨传森 齐京 卢耀文 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期647-653,共7页
文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限... 文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限等因素的限制,其实际检漏下限一般为10-11 Pa·m^(3)/s量级,采用软件修正后显示的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^(3)/s量级。为了解决对微小漏率的超高灵敏度检测,国际上自上世纪60年代开始相关技术研究,主要围绕检漏下限的延伸和检漏精度的提高两方面开展工作。国内突破了多项技术难题,最新研制出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的超灵敏度真空检漏仪,并将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内。 展开更多
关键词 超灵敏度真空检漏 累积比较法 检漏下限 检漏精度 真空器件
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万安水库泥沙淤积分析 被引量：3
3
作者 李明辉 周俐俐 +1 位作者 詹寿根 胡苑成 《江西水利科技》 2011年第3期191-194,201,共5页
依据万安水库库区9个断面历年实测大断面资料以及万安水库坝址上下游5个水文站实测泥沙资料,分别采用地形对比法和沙量平衡法对库区泥沙淤积情况进行了分析计算,提出了万安水库泥沙淤积形态、淤积量、分布等结论.
关键词 万安水库 泥沙淤积 地形对比法 沙量平衡法
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基于选择性抽气原理的超灵敏检漏方法分析 被引量：1
4
作者 冯天佑 成永军 +3 位作者 陈联 赵澜 孙雯君 丁栋 《真空与低温》 2020年第2期120-124,共5页
随着科研生产对仪器设备精密程度与长寿命要求的不断提高,对超灵敏检漏需求的不断增加,氦质谱检漏仪已无法完全满足要求。利用超高真空材料处理降低本底氦信号,采用非蒸散型吸气剂泵选择性抽气实现静态真空的维持,运用静态累积比较法放... 随着科研生产对仪器设备精密程度与长寿命要求的不断提高,对超灵敏检漏需求的不断增加,氦质谱检漏仪已无法完全满足要求。利用超高真空材料处理降低本底氦信号,采用非蒸散型吸气剂泵选择性抽气实现静态真空的维持,运用静态累积比较法放大被检件的氦信号,实现了对10-13~10-15 Pa·m3/s极小漏率的检测。依据改进方案设计的超灵敏检漏仪和极小气体流量校准装置,为航空航天、核工业等多家单位的产品提供了可靠性保证。 展开更多
关键词 超灵敏检漏 超高真空材料处理 选择性抽气 静态累积比较法
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矿山多备采矿区厂址选择优化研究 被引量：2
5
作者 杨珊 郭宏斌 廖桂生 《矿业工程研究》 2011年第2期71-76,共6页
分析了矿山厂址选择需考虑的因素,探讨厂址选择的基本原则与主要方法,并以某堆积型铝土矿为实例,采用方案比较法进行多备采矿区单独建厂和联合建厂方案的比较计算,确定其联合建厂方案最优.计算结果对于保证该矿山矿产资源的可持续利用... 分析了矿山厂址选择需考虑的因素,探讨厂址选择的基本原则与主要方法,并以某堆积型铝土矿为实例,采用方案比较法进行多备采矿区单独建厂和联合建厂方案的比较计算,确定其联合建厂方案最优.计算结果对于保证该矿山矿产资源的可持续利用与提高矿山企业的经济效益有重要的意义. 展开更多
关键词 多备采矿区 厂址选择 堆积型铝土矿 方案比较法
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