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温度对浮法在线APCVD法生产的TiO_2薄膜结构与性能的影响 被引量：1
1
作者 莫建良 《玻璃》 2010年第12期3-5,共3页
通过模拟浮法在线APCVD法生产TiO镀膜玻璃工艺,详细研究了玻璃基板温度对TiO薄膜膜层结构、形貌、光催化性能的影响。研究发现,基板温度影响TiO薄膜中各种晶相的相对比例,而不同晶相组成的膜层结构对膜层表面形貌和光催化性能有很大的... 通过模拟浮法在线APCVD法生产TiO镀膜玻璃工艺,详细研究了玻璃基板温度对TiO薄膜膜层结构、形貌、光催化性能的影响。研究发现,基板温度影响TiO薄膜中各种晶相的相对比例,而不同晶相组成的膜层结构对膜层表面形貌和光催化性能有很大的影响。 展开更多
关键词 apcvd tio2薄膜 结构 形貌 光催化
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