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题名应用于ATE的时间测量单元设计
被引量：1
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作者
刘士兴
李江晖
夏进
易茂祥
梁华国
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机构
合肥工业大学微电子学院
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出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
北大核心
2023年第6期86-92,共7页
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基金
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(62027815)资助。
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文摘
集成电路飞速发展对集成电路自动测试设备(ATE)中时间测量单元(TMU)的精度提出了更高的要求。针对这一问题,本文使用电子学引脚测试芯片MAX9979对数字IC施加激励和捕获响应,结合Xilinx Artix-7 FPGA内部固化的时间数字转换器(TDC)设计了一种高精度的时间测量单元。时间数字转换器采用粗、细计数结合的内插方法,粗计数由参考时钟为200 MHz的32位直接计数器实现;细计数由超前快速进位链(CARRY4)级联的延迟链构成,通过对CARRY4进行专用配置来减小其超前进位功能引起的测量误差,使用码密度校准法对延迟链进行校准。实验结果表明,TMU量程为21.475 s,平均分辨率为34.7 ps,DNL优于2.5 LSB,INL优于4.5 LSB,精度为39.7 ps。
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关键词
时间测量单元
时间数字转换器
数字ic交流参数测量
集成电路自动测试设备
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Keywords
time measurement unit
time to digital converter
ac parameter measurement for digital ic
automatic test equipment for ic
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分类号
TN791
[电子电信—电路与系统]
TN98
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